激光装置以及利用激光装置的显示装置的制造方法制造方法及图纸

公开了一种激光装置以及利用激光装置的显示装置的制造方法。激光装置包括：腔室，在内部具有空间；第一激光产生器以及第二激光产生器，分别产生第一激光束以及第二激光束；第一工作台以及第二工作台，配置在第一激光束以及第二激光束的行进路径上；连接配管，配置在腔室的外部且与腔室连接，且在第一方向上延伸；第一集尘配管，与连接配管连接且形成有第一阀结构物；第二集尘配管，与连接配管连接且形成有第二阀结构物；第一集尘器，与第一集尘配管连接；以及第二集尘器，与第二集尘配管连接。

【技术实现步骤摘要】
激光装置以及利用激光装置的显示装置的制造方法
本专利技术涉及激光装置以及利用激光装置的显示装置的制造方法。更详细而言，本专利技术涉及包括集尘器的激光装置以及利用该激光装置的显示装置的制造方法。
技术介绍
用于制造显示装置的基板(例如，PI膜等)很难处理。因此，需要在PI膜固定于载体玻璃的状态下在PI膜上层叠各种元件或薄膜之后，从载体玻璃分离PI膜。通常的激光工序是利用准分子激光束来分离形成在基板上的薄膜的工序。通过执行该工序，可以在制造显示装置时从载体玻璃分离PI膜。此外，通过激光工序可以将基板切割成单元形状。另一方面，在激光工序中，在照射用于分离薄膜或者元件的准分子激光束的期间，可能会作为因激光束引起的热与基板之间的化学作用导致的副产物而生成大量的烟雾(fume)。烟雾可能会飞散至基板的上部而附着于激光装置。此外，可能会固定附着于正在支承基板的工作台，从而污染腔室的内部。因此，需要通过集尘器有效去除烟雾。
技术实现思路
对此，本专利技术的技术课题鉴于以上几点，本专利技术的目的在于提供一种包括集尘器的激光装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光装置，包括：/n腔室，在内部具有空间；/n第一激光产生器以及第二激光产生器，分别产生第一激光束以及第二激光束；/n第一工作台以及第二工作台，配置在所述第一激光束以及所述第二激光束的行进路径上；/n连接配管，配置在所述腔室的外部，且与所述腔室连接，并且在第一方向上延伸；/n第一集尘配管，与所述连接配管连接，且形成有第一阀结构物；/n第二集尘配管，与所述连接配管连接，且形成有第二阀结构物；/n第一集尘器，与所述第一集尘配管连接；以及/n第二集尘器，与所述第二集尘配管连接。/n

【技术特征摘要】
20200121 KR 10-2020-00076541.一种激光装置，包括：
腔室，在内部具有空间；
第一激光产生器以及第二激光产生器，分别产生第一激光束以及第二激光束；
第一工作台以及第二工作台，配置在所述第一激光束以及所述第二激光束的行进路径上；
连接配管，配置在所述腔室的外部，且与所述腔室连接，并且在第一方向上延伸；
第一集尘配管，与所述连接配管连接，且形成有第一阀结构物；
第二集尘配管，与所述连接配管连接，且形成有第二阀结构物；
第一集尘器，与所述第一集尘配管连接；以及
第二集尘器，与所述第二集尘配管连接。


2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，
在正在利用所述第一激光产生器以及所述第二激光产生器中的至少一个进行激光切割的情况下，所述第一集尘器以及所述第二集尘器中的至少一个正在集尘。


3.根据权利要求1所述的激光装置，其中，
在所述第一集尘器以及所述第二集尘器正在集尘的情况下，所述第一阀结构物以及所述第二阀结构物开启，
在所述第一集尘器以及所述第二集尘器不进行集尘的情况下，所述第一阀结构物以及所述第二阀结构物关闭。


4.根据权利要求1所述的激光装置，其中，
所述第一阀结构物包括：
固定轴，在所述第一集尘配管的内部，在与所述第一方向垂直的第二方向上延伸，且固定于所述第一集尘配管；以及
第一阀，与所述固定轴的第一部分可旋转地结合，且在与所述第一方向以及所述第二方向垂直的第三方向上延伸。


5.根据权利要求4所述的激光装置，其中，
所述第一阀结构物还包括：第二阀，与所述固定轴的和所述第一部分对置的第二部分可旋转地结合，且在与所述第三方向对置的第四方向上延伸。


6.根据权利要求1所述的激光装置，其中，
所述第二阀结构物包括：
固定轴，在与所述第一方向垂直的第二方向上延伸，且固定于所述第二集尘配管；以及
第一阀，与所述固定轴的第一部分可旋转地结合，且在与所述第一方向以及所述第二方向垂直的第三方向上延伸。


7.根据权利要求6所述的激光装置，其中，
所述第二阀结构物还包括：第二阀，与所述固定轴的和所述第一部分对置的第二部分可旋转地结合，且在与所述第三方向对置的第四方向上延伸。


8.根据权利要求1所述的激光装置，其中，
所述第一阀结构物以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：金钟协，林钟熙，韩相善，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR