【技术实现步骤摘要】
一种硅片承载台升降驱动机构及转换装置
本技术属于半导体制造
，尤其涉及一种硅片承载台升降驱动机构及转换装置。
技术介绍
在半导体器件的实际生产中，根据需要有时只需选取硅片盒内的部分硅片，比如，于半导体生产过程中，较为常见的情况为，需对硅片盒内奇数卡槽内的硅片与偶数卡槽内的硅片分别进行不同的工艺流程，此时只需选取奇数卡槽内的硅片或只选取偶数卡槽内的硅片。为了提高选择效率，人们设计了能够自动选取指定硅片盒内的部分硅片的硅片转换装置，升降驱动机构是硅片转换装置的常用机构，用于驱动硅片承载台的升降动作。目前，现有硅片承载台的升降驱动机构普遍没有安全防护机构，升降过程中，硅片承载台上的硅片一旦碰到障碍物，升降驱动机构不能及时停止，就会使硅片受损，造成一定的经济损失。
技术实现思路
本技术的目的在于针对上述问题，提供一种硅片承载台升降驱动机构，以解决现有技术中硅片承载台的升降驱动机构存在安全防护性差的问题。本技术的另一目的在于针对上述问题，提供一种硅片转换装置，以解决现有技术中硅片转换装置存在安全防
【技术保护点】
1.一种硅片承载台升降驱动机构，其包括机架、升降支架、硅片承载台和驱动装置，所述机架上能升降地装配有升降支架，所述升降支架的顶部固定有硅片承载台，所述硅片承载台的两侧对应设置有若干个硅片卡槽，其特征在于：所述驱动装置包括电机、第一配重块、第二配重块和平面皮带，所述电机固定于机架上，所述第一配重块固定于升降支架的底部，所述电机的输出轴上安装有皮带轮，所述平面皮带的一端固定于第一配重块上，另一端绕过皮带轮并固定于第二配重块上，所述机架上安装有导向部件，所述第二配重块装配于所述导向部件上。/n
【技术特征摘要】
1.一种硅片承载台升降驱动机构，其包括机架、升降支架、硅片承载台和驱动装置，所述机架上能升降地装配有升降支架，所述升降支架的顶部固定有硅片承载台，所述硅片承载台的两侧对应设置有若干个硅片卡槽，其特征在于：所述驱动装置包括电机、第一配重块、第二配重块和平面皮带，所述电机固定于机架上，所述第一配重块固定于升降支架的底部，所述电机的输出轴上安装有皮带轮，所述平面皮带的一端固定于第一配重块上，另一端绕过皮带轮并固定于第二配重块上，所述机架上安装有导向部件，所述第二配重块装配于所述导向部件上。
2.根据权利要求1所述的硅片承载台升降驱动机构，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳小泉，
申请(专利权)人：无锡泉一科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。