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一种硅片承载台升降驱动机构及转换装置制造方法及图纸
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下载一种硅片承载台升降驱动机构及转换装置的技术资料
文档序号:29552279
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本实用新型公开一种硅片承载台升降驱动机构及转换装置,该升降驱动机构包括机架、升降支架、硅片承载台和驱动装置,升降支架的顶部固定有硅片承载台,硅片承载台的两侧对应设置有若干个硅片卡槽,驱动装置包括电机、第一配重块、第二配重块和平面皮带,电机固...
该专利属于无锡泉一科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡泉一科技有限公司授权不得商用。
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