一种蒸发源用组合隔热屏制造技术

本实用新型专利技术涉及一种蒸发源用组合隔热屏，属于蒸镀技术领域。隔热屏包括PBN层和金属层，PBN层和金属层交替设置，PBN的热导率为2‑3W/M.K，热导率低，隔热效果好。本实用新型专利技术适用于蒸发源，通过PBN层和金属层的组合达到良好的隔热效果。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发源用组合隔热屏
本技术涉及一种蒸发源用组合隔热屏，属于蒸镀

技术介绍
现有蒸发源包括加热器和隔热屏，通过隔热屏达到热反射和阻止热传导的作用，阻止加热器的热损失，隔热屏采用多层金属组合，但金属本身具有高导热特性，其作为隔热屏使用时隔热效果较低，满足不了超高温蒸发源的需求，有鉴于此，研发一种隔热效果良好，适用于蒸发源的隔热屏是十分有必要的。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供一种蒸发源用组合隔热屏，通过PBN层和金属层的组合达到良好的隔热效果。本技术的技术方案如下：一种蒸发源用组合隔热屏，包括PBN层和金属层，PBN层和金属层交替设置，PBN的热导率为2-3W/M.K，热导率低，隔热效果好。优选的，靠近加热器的一层为金属层，对加热器起到热反射的作用。优选的，PBN层厚度为0.2mm-1mm。优选的，金属层厚度为0.2mm-1mm。优选的，PBN层设置1-4层。优选的，金属层设置2-5层。优选的，金属层材料选用钽、钼或不锈钢。隔热屏本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源用组合隔热屏，其特征在于，包括PBN层和金属层，PBN层和金属层交替设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源用组合隔热屏，其特征在于，包括PBN层和金属层，PBN层和金属层交替设置。


2.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏，其特征在于，靠近加热器的一层为金属层。


3.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏，其特征在于，PBN层厚度为0.2mm-1mm。


4.如权利要求1所述的蒸发源用组...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘汝强，王殿春，赵旭荣，
申请(专利权)人：山东国晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37