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本实用新型涉及一种蒸发源用组合隔热屏，属于蒸镀技术领域。隔热屏包括PBN层和金属层，PBN层和金属层交替设置，PBN的热导率为2‑3W/M.K，热导率低，隔热效果好。本实用新型适用于蒸发源，通过PBN层和金属层的组合达到良好的隔热效果。...
该专利属于山东国晶新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东国晶新材料有限公司授权不得商用。

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