曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法制造方法及图纸

一种曝光装置，借助投影光学系统向基板(P)照射照明光，相对于照明光相对地驱动基板(P)，分别对玻璃基板(P)的多个区域进行扫描曝光，该曝光装置包括：基板保持件(68)，其对基板(P)的第1区域进行悬浮支承；基板载具(70)，其保持由基板保持件(68)悬浮支承的玻璃基板(P)；X粗调台(40)，其对基板保持件(68)进行驱动；X音圈马达(84x)和Y音圈马达(84y)，二者对基板载具(70)进行驱动；以及控制装置，其在扫描曝光中对X粗调台(40)、X音圈马达(84x)等进行控制，以分别驱动基板保持件(68)和基板载具(70)。由此，能够提供一种物体位置控制性得到了提高的曝光装置。

【技术实现步骤摘要】
曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法本专利技术申请是国际申请日为2016年3月30日、国际申请号为PCT/JP2016/060551、进入中国国家阶段的国家申请号为201680020108.4、专利技术名称为“曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法”的专利技术申请的分案申请。
本专利技术涉及曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法，更具体来说，涉及相对于照明光对物体进行相对驱动并对物体进行扫描曝光的曝光装置及方法、以及使用了所述曝光装置或方法的平板显示器的制造方法及器件制造方法。
技术介绍
目前，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子器件(微型器件)的光刻工序中，使用步进扫描式曝光装置(所谓的扫描步进机(也被称为扫描仪))等,这种曝光装置使光罩或标线片(以下统称为“光罩”)、玻璃板或晶圆等(以下统称为“基板”)沿着规定的扫描方向同步移动，并使用能量束将在光罩上形成的图案转印到基板上。作为这种曝光装置，公知有为了在水平面内高速且高精度地进行基板定位，而沿着水平面内的三个自本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种曝光装置，其借助光学系统向物体照射照明光，相对于所述照明光相对地驱动所述物体，分别对所述物体的多个区域进行扫描曝光，其特征在于，/n该曝光装置包括：/n支承部，其对所述多个区域中的至少第1区域进行悬浮支承；/n保持部，其保持由所述支承部悬浮支承的所述物体；/n第1驱动系统，其对所述支承部进行驱动；/n第2驱动系统，其对所述保持部进行驱动；以及/n控制系统，其在与所述第1区域有关的扫描曝光中对所述第1驱动系统和所述第2驱动系统进行控制，以分别对所述支承部和所述保持部进行驱动。/n

【技术特征摘要】
20150331 JP 2015-0705951.一种曝光装置，其借助光学系统向物体照射照明光，相对于所述照明光相对地驱动所述物体，分别对所述物体的多个区域进行扫描曝光，其特征在于，
该曝光装置包括：
支承部，其对所述多个区域中的至少第1区域进行悬浮支承；
保持部，其保持由所述支承部悬浮支承的所述物体；
第1驱动系统，其对所述支承部进行驱动；
第2驱动系统，其对所述保持部进行驱动；以及
控制系统，其在与所述第1区域有关的扫描曝光中对所述第1驱动系统和所述第2驱动系统进行控制，以分别对所述支承部和所述保持部进行驱动。


2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，
所述控制系统在所述扫描曝光中对所述第1驱动系统和所述第2驱动系统进行控制，以相对于所述支承部相对地驱动所述保持部来调整所述物体相对于所述照明光的位置。


3.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，
能够沿着在进行所述扫描曝光时驱动所述物体的第1方向和与所述第1方向交叉的第2方向，相对于所述支承部相对地驱动所述保持部。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的曝光装置，其特征在于，
所述支承部对所述保持部进行悬浮支承。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，
所述控制系统分别对所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP