探针头及包括其的探针卡制造技术

在根据本发明专利技术的探针头及包括其的探针卡中，可提供一种探针卡的探针头，包括：上部引导板，配置有上部引导孔洞；下部引导板，配置有下部引导孔洞；以及中间部引导板，配置有中间部引导孔洞，且配置在所述上部引导板与所述下部引导板之间，多个探针依序贯通所述上部引导孔洞、所述中间部引导孔洞及所述下部引导孔洞，所述中间部引导板由阳极氧化膜材质形成。

【技术实现步骤摘要】
探针头及包括其的探针卡
本专利技术涉及一种探针头及包括其的探针卡，更具体而言涉及一种容易形成供探针贯通的引导孔洞的探针头及包括其的探针卡。
技术介绍
通常，半导体通过在晶片上形成图案的制造(fabrication)工艺、检查构成晶片的各个芯片的电特性的电管芯分选(ElectricalDieSorting，EDS)工艺以及由各个芯片组装形成有图案的晶片的装配(assembly)工艺制造而成。此处，执行EDS工艺以判别构成晶片的芯片中的不良芯片。在EDS工艺中，主要使用对构成晶片的芯片施加电信号并通过从施加的电信号检查的信号来判断不良的探针卡(probecard)。探针卡是连接半导体晶片(或半导体元件)与检查设备以检查半导体元件的动作的装置，起到如下作用：在将设置在探针卡上的探针连接到晶片的同时送电，根据此时进入的信号筛选不良的半导体芯片。用于半导体元件的电检查的探针卡可包括电路基板、中介层(interposer)、空间转换器、探针头及探针来构成。在这种探针卡中，通过电路基板、中介层、空间转换器及探针头的顺序来提供电路径，且本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡的探针头，其特征在于，包括：/n上部引导板，配置有上部引导孔洞；/n下部引导板，配置有下部引导孔洞；以及/n中间部引导板，配置有中间部引导孔洞，且配置在所述上部引导板与所述下部引导板之间，/n多个探针依序贯通所述上部引导孔洞、所述中间部引导孔洞及所述下部引导孔洞，/n所述中间部引导板由阳极氧化膜材质形成。/n

【技术特征摘要】
20200131 KR 10-2020-00118501.一种探针卡的探针头，其特征在于，包括：
上部引导板，配置有上部引导孔洞；
下部引导板，配置有下部引导孔洞；以及
中间部引导板，配置有中间部引导孔洞，且配置在所述上部引导板与所述下部引导板之间，
多个探针依序贯通所述上部引导孔洞、所述中间部引导孔洞及所述下部引导孔洞，
所述中间部引导板由阳极氧化膜材质形成。


2.根据权利要求1所述的探针卡的探针头，其特征在于，
在所述中间部引导板的上部或下部配置膜，
所述膜包括与所述上部引导孔洞、所述下部引导孔洞及所述中间部引导孔洞相同的孔。


3.根据权利要求2所述的探针卡的探针头，其特征在于，
所述膜为能够进行光刻的感光性膜。


4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：安范模，朴胜浩，边圣铉，
申请(专利权)人：普因特工程有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR