【技术实现步骤摘要】
药液存储槽
本技术涉及半导体
,尤其涉及一种药液存储槽。
技术介绍
化工药液在工业生产中使用广泛,通常使用药液存储槽对化工药液进行储存。由于一些化工药液中含有难溶解的颗粒物,因此,在化工药液的储存过程中,难溶解的颗粒物会沉积在药液存储槽的底部并形成沉淀物,进而需要对药液存储槽进行定期清洗,费时费力。同时,由于难溶解的颗粒物在重力作用下沉积在药液存储槽的底部,导致该种物质在化工药液中不同液层的浓度不同,影响使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种药液存储槽,其可保证药液浓度和降低清洗成本。为达此目的,本技术采用以下技术方案:提供的一种药液存储槽,包括外壳、循环管道和搅拌装置,所述外壳具有用于容纳药液的容纳腔,所述循环管道的第一端设置于所述外壳靠近其顶部的一侧,所述循环管道的第二端设置于所述外壳靠近其底部的一侧,并使所述药液能够通过所述循环管道从所述容纳腔的底部流至所述容纳腔的顶部,所述搅拌装置设置于所述容纳腔的底部,所述搅拌装置用于搅拌位于所述容纳腔底部的所述药液。作为药液存 ...
【技术保护点】
1.一种药液存储槽,其特征在于,包括外壳、循环管道和搅拌装置,所述外壳具有用于容纳药液的容纳腔,所述循环管道的第一端设置于所述外壳靠近其顶部的一侧,所述循环管道的第二端设置于所述外壳靠近其底部的一侧,并使所述药液能够通过所述循环管道从所述容纳腔的底部流至所述容纳腔的顶部,所述搅拌装置设置于所述容纳腔的底部,所述搅拌装置用于搅拌位于所述容纳腔底部的所述药液。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种药液存储槽,其特征在于,包括外壳、循环管道和搅拌装置,所述外壳具有用于容纳药液的容纳腔,所述循环管道的第一端设置于所述外壳靠近其顶部的一侧,所述循环管道的第二端设置于所述外壳靠近其底部的一侧,并使所述药液能够通过所述循环管道从所述容纳腔的底部流至所述容纳腔的顶部,所述搅拌装置设置于所述容纳腔的底部,所述搅拌装置用于搅拌位于所述容纳腔底部的所述药液。
2.根据权利要求1所述的药液存储槽,其特征在于,所述搅拌装置为旋桨式搅拌器,所述旋桨式搅拌器到所述外壳顶部的距离大于所述循环管道的第二端到所述外壳顶部的距离。
3.根据权利要求1所述的药液存储槽,其特征在于,所述搅拌装置为涡轮式搅拌器,所述涡轮式搅拌器的扇叶与所述循环管道的第二端位于同一水平面上。
4.根据权利要求1所述的药液存储槽,其特征在于,所述循环管道的第一端位于所述药液的液面下侧。
技术研发人员:李奉喆,
申请(专利权)人:乐金显示光电科技中国有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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