【技术实现步骤摘要】
一种柔性应变传感器及其制作方法
本专利技术涉及应变传感器领域，特别是指一种柔性应变传感器及其制作方法。
技术介绍
为了实现人体运动全面监测，许多应变传感器得到了广泛的研究。高灵敏度是检测人体生理活动如脉搏、心跳和呼吸频率等的必要条件，同时，良好的拉伸性是检测包括关节运动在内的大规模身体运动的基础。然而，传感器的拉伸性和高灵敏度是相互矛盾的，高的拉伸性需要一个明显的结构变化而高灵敏度则要求在大变形的情况下保持形态的完整性，因此能够同时满足这两个性能指标的要求是一个难题。一般来说，要满足大范围人体活动检测的基本要求，应变传感器必须同时具备55％以上的良好拉伸性和在全工作范围内大于100的高灵敏度。现有技术中的柔性传感器主要采用以下方式制备。1.使用接触印刷法利用半导体纳米线依附于柔性材料制作成场效应晶体管，其源电极通过压敏橡胶接地，外部压力导致压敏电阻的导电性变化，从而改变晶体管的性质，通过检测输出信号的改变获得相应的负载。2.利用碳纳米管喷涂于PDMS薄片形成矩形导电阵列制作了透明度良好的电容式...
【技术保护点】
1.一种柔性应变传感器，其特征在于：包括依次叠加的封装层、中间层和柔性基底；该中间层设有四组微通道，每组微通道内填充有液态金属构成电阻条，四个电阻条通过导线依次相连构成惠斯通电桥；封装层设有输入线路和输出线路，且分别与惠斯通电桥的输入端和输出端电性连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种柔性应变传感器，其特征在于：包括依次叠加的封装层、中间层和柔性基底；该中间层设有四组微通道，每组微通道内填充有液态金属构成电阻条，四个电阻条通过导线依次相连构成惠斯通电桥；封装层设有输入线路和输出线路，且分别与惠斯通电桥的输入端和输出端电性连接。
2.如权利要求1所述的一种柔性应变传感器，其特征在于：包括有第一电阻条、第二电阻条、第三电阻条和第四电阻条，该第一电阻条和第三电阻条横向平行设置，该第二电阻条和第四电阻条纵向平行设置且分别位于第一电阻条和第三电阻条两侧；第一电阻条两端分别与第二电阻条和第四电阻条一端相连，第三电阻条两端分别与第二电阻条和第四电阻条另一端相连。
3.如权利要求2所述的一种柔性应变传感器，其特征在于：所述第一电阻条或第三电阻条与所述第二电阻条和第四电阻条相垂直。
4.如权利要求1所述的一种柔性应变传感器，其特征在于：所述微通道包括若干长通道和若干连接通道，该若干长通道为平行间隔分布，该连接通道连通相邻的两长通道；所述液态金属填充于该长通道和连接通道内。
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