【技术实现步骤摘要】
基于梯度折射率透镜的微型化工业样品检测装置和方法
本专利技术涉及光学精密测量
，更具体的说是涉及一种基于梯度折射率透镜的微型化工业样品检测装置和方法。
技术介绍
目前，随着现代科学技术的迅速发展，光学材料得到了广泛的应用，特别是工业、航空航天、国防、军工、信息、微电子与光电子等尖端科学方面成为一种不可缺少的重要材料。光学元件的应用日益广泛，对光学元件的表面质量提出的更高的要求，这就需要光学制造业具备超精密加工水平，尽可能保证光学元件的表面粗糙度和面型精度。但是，普通显微系统体积较大，在一些工业领域，无法直接使用。因此，如何减小显微镜的体积，提供一种基于梯度折射率透镜的微型化工业样品检测装置和方法是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种基于梯度折射率透镜的微型化工业样品检测装置和方法，解决了普通的显微镜体积较大问题，而且还可以降低观测成本。为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种基于梯度折射率透镜的微型化工业样品检测装置，...
【技术保护点】
1.一种基于梯度折射率透镜的微型化工业样品检测装置，其特征在于，包括：LED光源(1)、半球透镜(2)、分光片(3)、梯度折射率透镜(4)、被测样品(5)、聚焦透镜(6)和CCD相机(7)；/n其中所述LED光源(1)产生的光源信号依次通过所述半球透镜(2)、分光片(3)和梯度折射率透镜(4)传输到被测样品(5)表面形成照明光路；/n所述被测样品(5)的反射光依次通过梯度折射率透镜(4)、分光片(3)、聚焦透镜(6)传输到CCD相机(7)上形成检测光路；/n所述分光片(3)用来将光源信号反射至梯度折射率透镜(4)并将被测样品(5)表面的反射光透射至聚焦透镜(6)；/n所述梯...
【技术特征摘要】
1.一种基于梯度折射率透镜的微型化工业样品检测装置，其特征在于，包括：LED光源(1)、半球透镜(2)、分光片(3)、梯度折射率透镜(4)、被测样品(5)、聚焦透镜(6)和CCD相机(7)；
其中所述LED光源(1)产生的光源信号依次通过所述半球透镜(2)、分光片(3)和梯度折射率透镜(4)传输到被测样品(5)表面形成照明光路；
所述被测样品(5)的反射光依次通过梯度折射率透镜(4)、分光片(3)、聚焦透镜(6)传输到CCD相机(7)上形成检测光路；
所述分光片(3)用来将光源信号反射至梯度折射率透镜(4)并将被测样品(5)表面的反射光透射至聚焦透镜(6)；
所述梯度折射率透镜(4)用来将光源信号汇聚到被测样品(5)表面，并将被测样品(5)表面的反射光传输到分光片(3)；
所述的被测样品(5)为非透明平滑的工业样品；
所述的被测样品(5)、梯度折射率透镜(4)、分光片(3)、聚焦透镜(6)和CCD相机(7)位于同一竖直方向上。
2.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：李浩宇，丁旭旻，刘俭，赵一轩，崔健炜，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23
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