一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，包括回收箱和吸收箱，所述吸收箱的下表面固定安装在回收箱的上表面，所述吸收箱的内侧壁上部固定安装有主支撑板，所述吸收箱的内部下表面与主支撑板的下表面之间设有反应箱，所述吸收箱的内部且位于反应箱的两侧形成有互不连通的检测腔，所述吸收箱的上表面贯穿有主进气管，所述主进气管的底端贯穿主支撑板且伸入到反应箱内，所述吸收箱内设有吸附剂，本实用新型专利技术，在对氢气回收过程中，进行氯硅烷浓度的检测，一旦一批次的氢气中氯硅烷的含量过高，将重新进行吸附作用，直到浓度达到为止，从而提高了进入回收箱的氢气纯度，保证后序的工作有效的进行。

【技术实现步骤摘要】
一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置
本技术涉及氢气回收
，具体领域为一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置。
技术介绍
随着多晶硅行业竞争越来越激烈，为了降低生产成本，加上国家对环保要求更加严格，大部分企业开始进行技术改造，将原排入含氮废气管网的氢气，逐步进行分级回收，得到产品氯硅烷和氢气，达到节能降耗的目的，现有的分级回收系统的工序：第一步，将含有硅粉的氢气，引入干法除尘系统，通过自然沉降、旋风分离、三级除尘除去微量硅粉后，氢气送后工段加压回收，第二步，多晶硅生产过程中，各单元泄压的氢气(不含硅粉)，均含有部分氯硅烷，汇总后进入冷凝回收系统，第三步，在与合成气汇合，通过三级机前换热器冷却降温，除去大部分氯硅烷，第四部，氢气中未被冷凝下来的氯硅烷，通过压缩机加压，经过机后换热器降温冷却，再除去一部分氯硅烷，第五步，将含有微量氯硅烷的氢气，通过吸收塔，进一步吸收微量氯硅烷，得到高纯度的氢气，送后工序使用。综上所述，现有的分级回收系统虽然可以得到高纯度的氢气，但是一旦氯硅烷含量比较高，无法被吸收塔及时吸收，将会使氢气的纯度下降，从而达不到标准，影响后序的工作使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，以解决上述
技术介绍
中提出现有的分级回收系统虽然可以得到高纯度的氢气，但是一旦氯硅烷含量比较高，无法被吸收塔及时吸收，将会使氢气的纯度下降，从而达不到标准，影响后序的工作使用问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，包括回收箱和吸收箱，所述吸收箱的下表面固定安装在回收箱的上表面，所述吸收箱的内侧壁上部固定安装有主支撑板，所述吸收箱的内部下表面与主支撑板的下表面之间设有反应箱，所述吸收箱的内部且位于反应箱的两侧形成有互不连通的检测腔，所述吸收箱的上表面贯穿有主进气管，所述主进气管的底端贯穿主支撑板且伸入到反应箱内，所述吸收箱内设有吸附剂，所述主进气管的底端伸入吸附剂内且固定安装有喷气头，所述喷气头上设有若干个喷气嘴，所述吸收箱的侧壁上部对称设有若干个通孔，所述检测腔的内侧壁上部设有副支撑板，所述副支撑板表面贯穿有副进气管，所述副进气管上设有进气泵，所述检测腔的内侧壁设有气压传感器和氯硅烷浓度传感器，所述检测腔的底面贯穿有主出气管，所述主出气管的一端伸入到回收箱内，所述主出气管上设有主电磁单向阀，所述检测腔侧壁贯穿有副出气管，所述副出气管的一端与主进气管连通，所述副出气管上设有副电磁单向阀，所述气压传感器电连接进气泵和氯硅烷浓度传感器，所述氯硅烷浓度传感器电连接主电磁单向阀和副电磁单向阀。优选的，所述吸收箱的内部中间位置设有气液反应填料。优选的，所述吸附剂为碱性溶液。优选的，所述喷气嘴设置喷气头的下表面。优选的，所述吸收箱和回收箱的均呈矩形状。优选的，所述副出气管的一端贯穿吸收箱位于主支撑板上部的侧壁与主进气管连通。与现有技术相比，本技术的有益效果是：一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，通过通孔、气泵和副进气管的配合设置，可将吸附剂吸附后的氢气排入到检测腔内，此时检测腔的气压会不断的增加，当增加到气压传感器的设定值时，气压传感器将关闭进气泵并打开氯硅烷浓度传感器，氯硅烷浓度传感器将检测检测腔内氢气中氯硅烷的浓度，如果氯硅烷浓度达标，则将控制主电磁单向阀打开，从而可将合格的氢气排入到回收箱内，如果氯硅烷浓度不达标，则将控制副电磁单向阀打开，从而在压力差的作用下，排入到主进气管内，在进入到吸附剂中，重新进行氯硅烷的吸收，在反复吸收的作用下，使排入回收箱的氢气纯度更加高，本技术，在对氢气回收过程中，进行氯硅烷浓度的检测，一旦一批次的氢气中氯硅烷的含量过高，将重新进行吸附作用，直到浓度达到为止，从而提高了进入回收箱的氢气纯度，保证后序的工作有效的进行。附图说明图1为本技术的主视且剖视结构示意图；图2为本技术反应箱的俯视且剖视结构示意图；图3为本技术喷气头的仰视结构示意图。图中：1-回收箱、2-吸收箱、3-主支撑板、4-反应箱、5-检测腔、6-主进气管、7-喷气头、8-喷气嘴、9-通孔、10-副支撑板、11-副进气管、12-进气泵、13-气压传感器、14-氯硅烷浓度传感器、15-主出气管、16-主电磁单向阀、17-副出气管、18-副电磁单向阀、19-气液反应填料。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，包括回收箱1和吸收箱2，所述吸收箱2的下表面固定安装在回收箱1的上表面，所述吸收箱2的内侧壁上部固定安装有主支撑板3，所述吸收箱2的内部下表面与主支撑板3的下表面之间设有反应箱4，所述吸收箱2的内部且位于反应箱4的两侧形成有互不连通的检测腔5，所述吸收箱2的上表面贯穿有主进气管6，所述主进气管6的底端贯穿主支撑板3且伸入到反应箱4内，所述吸收箱2内设有吸附剂，所述主进气管6的底端伸入吸附剂内且固定安装有喷气头7，所述喷气头7上设有若干个喷气嘴8，通过主进气管6和喷气头7的配合设置，可将含有氯硅烷的氢气从若干个喷气嘴8喷出，从而在吸附剂的作用下，将氢气中的氯硅烷中和吸附出，所述吸收箱2的侧壁上部对称设有若干个通孔9，所述检测腔5的内侧壁上部设有副支撑板10，所述副支撑板10表面贯穿有副进气管11，所述副进气管11上设有进气泵12，通过通孔9、进气泵12和副进气管11的配合设置，可将吸附后的氢气排入到检测腔5内，所述检测腔5的内侧壁设有气压传感器13和氯硅烷浓度传感器14，所述检测腔5的底面贯穿有主出气管15，所述主出气管15的一端伸入到回收箱1内，所述主出气管15上设有主电磁单向阀16，所述检测腔5侧壁贯穿有副出气管17，所述副出气管17的一端与主进气管6连通，所述副出气管17上设有副电磁单向阀18，所述气压传感器13电连接进气泵12和氯硅烷浓度传感器14，所述氯硅烷浓度传感器14电连接主电磁单向阀16和副电磁单向阀18，检测腔5随着氢气的进入气压会不断的增加，当增加到气压传感器13的设定值时，气压传感器13将关闭进气泵12并打开氯硅烷浓度传感器14，氯硅烷浓度传感器14将检测检测腔5内氢气中氯硅烷的浓度，如果氯硅烷浓度达标，则将控制主电磁单向阀16打开，从而可将合格的氢气排入到回收箱1内，如果氯硅烷浓度不达标，则将控制副电磁单向阀18打开，从而在压力差的作用下，排入到主进气管6内，在进入到吸附剂中，重新进行氯硅烷的吸收，在反复吸收的作用下，使排入回收箱1的氢气纯度更加高。具体而言，所述吸收箱2的内部中间位置设有气液反应填料19，通过气液反应填料19，可使氢气与吸附剂充分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，包括回收箱(1)和吸收箱(2)，所述吸收箱(2)的下表面固定安装在回收箱(1)的上表面，其特征在于：所述吸收箱(2)的内侧壁上部固定安装有主支撑板(3)，所述吸收箱(2)的内部下表面与主支撑板(3)的下表面之间设有反应箱(4)，所述吸收箱(2)的内部且位于反应箱(4)的两侧形成有互不连通的检测腔(5)，所述吸收箱(2)的上表面贯穿有主进气管(6)，所述主进气管(6)的底端贯穿主支撑板(3)且伸入到反应箱(4)内，所述吸收箱(2)内设有吸附剂，所述主进气管(6)的底端伸入吸附剂内且固定安装有喷气头(7)，所述喷气头(7)上设有若干个喷气嘴(8)，所述吸收箱(2)的侧壁上部对称设有若干个通孔(9)，所述检测腔(5)的内侧壁上部设有副支撑板(10)，所述副支撑板(10)表面贯穿有副进气管(11)，所述副进气管(11)上设有进气泵(12)，所述检测腔(5)的内侧壁设有气压传感器(13)和氯硅烷浓度传感器(14)，所述检测腔(5)的底面贯穿有主出气管(15)，所述主出气管(15)的一端伸入到回收箱(1)内，所述主出气管(15)上设有主电磁单向阀(16)，所述检测腔(5)侧壁贯穿有副出气管(17)，所述副出气管(17)的一端与主进气管(6)连通，所述副出气管(17)上设有副电磁单向阀(18)，所述气压传感器(13)电连接进气泵(12)和氯硅烷浓度传感器(14)，所述氯硅烷浓度传感器(14)电连接主电磁单向阀(16)和副电磁单向阀(18)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，包括回收箱(1)和吸收箱(2)，所述吸收箱(2)的下表面固定安装在回收箱(1)的上表面，其特征在于：所述吸收箱(2)的内侧壁上部固定安装有主支撑板(3)，所述吸收箱(2)的内部下表面与主支撑板(3)的下表面之间设有反应箱(4)，所述吸收箱(2)的内部且位于反应箱(4)的两侧形成有互不连通的检测腔(5)，所述吸收箱(2)的上表面贯穿有主进气管(6)，所述主进气管(6)的底端贯穿主支撑板(3)且伸入到反应箱(4)内，所述吸收箱(2)内设有吸附剂，所述主进气管(6)的底端伸入吸附剂内且固定安装有喷气头(7)，所述喷气头(7)上设有若干个喷气嘴(8)，所述吸收箱(2)的侧壁上部对称设有若干个通孔(9)，所述检测腔(5)的内侧壁上部设有副支撑板(10)，所述副支撑板(10)表面贯穿有副进气管(11)，所述副进气管(11)上设有进气泵(12)，所述检测腔(5)的内侧壁设有气压传感器(13)和氯硅烷浓度传感器(14)，所述检测腔(5)的底面贯穿有主出气管(15)，所述主出气管(15)的一端伸入到回收箱(1)内，所述主出气管(15)上设有主电磁单向阀(16)，所述检测腔(...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈洪建，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：新疆;65