基板干燥设备制造技术

技术编号:29451683 阅读:19 留言:0更新日期:2021-07-27 17:13
本申请提供一种基板干燥设备,其包括箱体、至少两个门体以及第一驱动机构。所述箱体包括至少两个干燥腔。至少两个所述干燥腔在第一方向上排列设置。至少两个门体活动连接于所述箱体。所述门体对应于所述干燥腔设置。第一驱动机构设置于所述箱体上,且位于所述箱体的第一侧。所述第一驱动机构连接于至少两个门体,所述第一驱动机构用于带动至少两个所述门体同步旋转以打开或者封闭所述干燥腔。本申请的基板干燥设备缩短了门体打开和关闭的时间,提高了生产效率,降低了成本。

【技术实现步骤摘要】
基板干燥设备
本申请涉及显示面板制造领域,尤其涉及一种基板干燥设备。
技术介绍
在显示面板的制造过程中,通常需要对承载用的基板进行清洗和干燥。基板的干燥工序可以利用干燥设备进行。已知的一种基板干燥设备包括箱体和与箱体活动连接的多个门体。箱体包括沿竖直方向排列的多个干燥腔。每一门体对应于一个干燥腔设置,并用于打开和封闭一个干燥腔。每一门体由位于该门体左右两侧的两个气缸独立控制开闭。但是由于两层门体独立控制,会存在延迟等不同步的情况。在发生延迟的情况下,两个门体之间就有可能发生干扰和碰撞。
技术实现思路
有鉴于此,本申请的目的在于提供一种能够防止相邻门体之间发生干扰和碰撞的干燥设备。本申请提供一种基板干燥设备,其包括:箱体,包括至少两个干燥腔,至少两个所述干燥腔在第一方向上排列设置;至少两个门体,活动连接于所述箱体,所述门体对应于所述干燥腔设置;以及第一驱动机构,设置于所述箱体上,且位于所述箱体的第一侧,所述第一驱动机构连接于至少两个门体,所述第一驱动机构用于带动至少两个所述门体同步旋转以打开或者本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板干燥设备,其特征在于,包括:/n箱体,包括至少两个干燥腔,至少两个所述干燥腔在第一方向上排列设置;/n至少两个门体,活动连接于所述箱体,所述门体对应于所述干燥腔设置;以及/n第一驱动机构,设置于所述箱体上,且位于所述箱体的第一侧,所述第一驱动机构连接于至少两个门体,所述第一驱动机构用于带动至少两个所述门体同步旋转以打开或者封闭所述干燥腔。/n

【技术特征摘要】
1.一种基板干燥设备,其特征在于,包括:
箱体,包括至少两个干燥腔,至少两个所述干燥腔在第一方向上排列设置;
至少两个门体,活动连接于所述箱体,所述门体对应于所述干燥腔设置;以及
第一驱动机构,设置于所述箱体上,且位于所述箱体的第一侧,所述第一驱动机构连接于至少两个门体,所述第一驱动机构用于带动至少两个所述门体同步旋转以打开或者封闭所述干燥腔。


2.如权利要求1所述的基板干燥设备,其特征在于,所述第一驱动机构包括第一驱动组件和第一传动组件,所述第一传动组件连接于所述第一驱动组件与一个所述门体之间,所述第一驱动组件运动时,通过所述第一传动组件带动一个所述门体旋转以打开或者封闭所述干燥腔。


3.如权利要求2所述的基板干燥设备,其特征在于,至少两个所述门体形成为一体。


4.如权利要求2所述的基板干燥设备,其特征在于,所述第一驱动组件为直线电机,所述第一传动组件为曲柄连杆,所述曲柄连杆一端固定连接于所述直线电机,另一端固定连接于所述门体,当所述直线电机做活塞运动时,通过所述曲柄连杆带动所述门体旋转。


5.如权利要求2所述的基板干燥设备,其特征在于,所述第一驱动组件为旋转电机,所述第一传动组件为第一转轴,所述第一转轴一端固定连接于所述旋转电机,另一端固定连接于所述门体,当所述旋转电机做旋转运动时,通过所述第一转轴带动所述门体旋转。


6.如权利要求2所述的基板干燥设备,其特征在于,所述第一驱动机构还包括第二传动组件,所述第二传动组件连接于所述第一传动组件与另一个所述门体之间,所述第一驱动组件运动时,带动所述第一传动组件运动,所述第一传动组件运动时,通过所述第二传动组件带动另一个所述门体旋转以打开或者封闭所述干燥腔。


7.如权利要求6所述的基板干...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈国辉
申请(专利权)人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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