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本申请提供一种基板干燥设备，其包括箱体、至少两个门体以及第一驱动机构。所述箱体包括至少两个干燥腔。至少两个所述干燥腔在第一方向上排列设置。至少两个门体活动连接于所述箱体。所述门体对应于所述干燥腔设置。第一驱动机构设置于所述箱体上，且位于所述...
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