【技术实现步骤摘要】
基板干燥设备
本申请涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种基板干燥设备。
技术介绍
在显示面板的制造过程中，通常需要对基板进行清洗和干燥。基板的干燥工序可以利用干燥设备进行。请参考图1，图1为已知的一种基板干燥设备的结构示意图。基板干燥设备200包括箱体210和与箱体210活动连接的门体220。箱体210具有干燥腔2101。在箱体210的一个面上设置有一护条212。每一门体220对应于一个干燥腔2101设置，用于打开和封闭一个干燥腔2101。门体220上设置有配合部。护条212与配合部222配合，可以将门体220固定在箱体210上。护条212的材料为铝或铝合金。而配合部222通常采用硬质金属制成。在门体220开闭的过程中，护条212与配合部222发生摩擦，损伤护条，产生金属碎屑。金属碎屑掉落到基板上，会污染基板，造成显示面板产品报废。
技术实现思路
有鉴于此，本申请的目的在于提供一种能够防止箱体与门体发生摩擦，损伤护条，产生金属碎屑，进而污染基板的基板干燥设备。本申请提供一种基板干燥设备，其包括：
【技术保护点】
1.一种基板干燥设备，其特征在于，包括：/n箱体，所述箱体内部具有干燥腔，所述箱体的一侧壁上开设有开口，所述开口与所述干燥箱相连通，所述箱体还包括护条，所述护条设置于所述侧壁上，所述护条设置于所述开口的一侧；/n门体，活动连接于所述箱体，所述门体对应于所述干燥腔设置，所述门体用于打开或者密封所述干燥腔，所述门体包括配合部，所述配合部对应于所述护条设置，所述配合部用于与所述护条配合将所述门体固定在所述箱体上；以及/n第一柔性薄膜，固定设置于所述护条或所述配合部上，当所述门体固定在所述箱体上时，所述第一柔性薄膜连接于所述护条与所述配合部之间。/n
【技术特征摘要】
1.一种基板干燥设备，其特征在于，包括：
箱体，所述箱体内部具有干燥腔，所述箱体的一侧壁上开设有开口，所述开口与所述干燥箱相连通，所述箱体还包括护条，所述护条设置于所述侧壁上，所述护条设置于所述开口的一侧；
门体，活动连接于所述箱体，所述门体对应于所述干燥腔设置，所述门体用于打开或者密封所述干燥腔，所述门体包括配合部，所述配合部对应于所述护条设置，所述配合部用于与所述护条配合将所述门体固定在所述箱体上；以及
第一柔性薄膜，固定设置于所述护条或所述配合部上，当所述门体固定在所述箱体上时，所述第一柔性薄膜连接于所述护条与所述配合部之间。
2.如权利要求1所述的基板干燥设备，其特征在于，所述第一柔性薄膜具有一弯折部，所述弯折部用于当所述门体固定在所述箱体上时，抵接在所述护条或所述配合部上。
3.如权利要求1所述的基板干燥设备，其特征在于，所述护条包括第一金属片和第二金属片，所述第一金属片设置于所述侧壁上，所述第二金属片位于所述第一金属片远离所述开口一侧，所述第一金属片与所述第二金属片之间形成一间隙，所述第一柔性薄膜的一端夹设于所述间隙中。
4.如权利要求1所述的基板干燥设备，其特征在于，当所述第一柔性薄膜固定设置于所述护条上时，所述护条靠近所述箱体的一端至远离所述箱体的一端的长度与所述第一柔性薄膜靠近所述箱体的一端至远离所述箱体的一端的长度的比例范围为3:4至4:3；或者
当所述第一柔性薄膜固定设置于所述配合部上时，所述配合部远离所述箱体的一端至靠近所述箱体的一端的长度与所述第一柔性薄膜远离所述箱体的一端至靠近所述箱体的一端的长度的比例范围为3:4至4:3。
5.如权利要求1所述的基板干燥设备，其特征在于，所述门体还包括主体部，所述主体部对应于所述开口设置，所述配合部至少设置于所述主体部的相对两侧，所述配合部包括第一面、第二面以及...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈国辉，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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