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本申请提供一种基板干燥设备，其包括箱体、门体以及第一柔性薄膜。箱体内部具有干燥腔。箱体的一侧壁上开设有开口。开口与干燥箱相连通。箱体还包括护条。护条设置于侧壁上。护条设置于开口的一侧。门体活动连接于箱体。门体对应于干燥腔设置。门体用于打开或...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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