靶材加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种靶材加热装置，包括升温机构及与所述升温机构连接并用于导热的导热管组，所述导热管组包括与所述升温机构的输出端连接的第一导管及一端开口且至少部分套设于所述第一导管外的第二导管，所述第二导管的开口端与所述升温机构的输入端连接，所述第一导管的管壁形成第一升温空间，所述第二导管的管壁与所述第一导管的管壁间隔设置并共同形成第二升温空间；工作时，将靶材套设于所述第二导管的外壁，利用所述第一导管及所述第二导管传递的热量对靶材进行加热。与相关技术相比，本实用新型专利技术提供的靶材加热装置，结构简单并能够使热风回流重复加热、提升管道加热的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
靶材加热装置
本技术涉及磁控溅射领域，尤其涉及一种靶材加热装置。
技术介绍
靶材是真空镀膜的重要原材料，靶材的纯度、密度直接影响膜洗的成分和综合性能。近二三十年以来，随着建设镀膜技术的快速发展，新的靶材制备技术不断出现，靶材质量和性能也取得了显著提高。喷涂制靶技术是采用喷涂的方式制备金属靶，其主要是利用电弧将靶材材料加热到熔融或半熔融状态，借助高速气体将其雾化，形成晓得熔滴，并加速喷射到衬管或衬板表面，快速冷却凝固成金属涂层靶材的过程。而非金属和陶瓷靶通常是利用等离子加热粉末材料的方法喷涂制成。然而，这样的制靶方式，其加热效率有限且通常无法做到均匀加热，如此一来，成品靶材容易出现组织疏松多孔，含氧量高，进而呈现灰色表面，缺少金属光泽，同时，容易吸附杂质，进而导致溅射过程中放电，靶材溅射表面瞬间高温易于使松散颗粒图团状掉落，污染被镀件表面，影响镀膜质量和镀膜产品的合格率。因此，有必要提供一种结构简单并能够使热风回流重复加热、提升管道加热的均匀性的靶材加热装置来解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种结构简单并能够使热风回流重复加热、提升管道加热的均匀性的靶材加热装置。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案:一种靶材加热装置，包括升温机构及与所述升温机构连接并用于导热的导热管组，所述导热管组包括与所述升温机构的输出端连接的第一导管及一端开口且至少部分套设于所述第一导管外的第二导管，所述第二导管的开口端与所述升温机构的输入端连接，所述第一导管的管壁形成第一升温空间，所述第二导管的管壁与所述第一导管的管壁间隔设置并共同形成第二升温空间；工作时，将靶材套设于所述第二导管的外壁，利用所述第一导管及所述第二导管传递的热量对靶材进行加热。优选的，所述第二导管包括具有密封端并套设于所述第一导管的加热段及自所述加热段远离所述密封端的一端弯折形成的回流段，所述密封端与所述第一导管的输出端相对间隔设置，所述回流段与所述升温机构的输入端连接。优选的，所述导热管组还包括设置于所述第一导管与所述加热段之间的多个支撑件，多个所述支撑件沿所述第一导管横截面的周向均匀分布。优选的，所述支撑件的数量为三个。优选的，所述靶材加热装置还包括安装于所述密封端远离所述第二升温空间一侧的温度传感器，所述升温机构包括控制器及与所述控制器电连接的风机，所述温度传感器与所述控制器电连接。优选的，所述靶材加热装置还包括套设于所述加热段远离所述密封端的端部的限位件，所述限位件的厚度不小于靶材的厚度。优选的，所述限位件的材料为碳纤维或钛合金。综上所述，与现有技术相比，本技术提供的靶材加热装置，通过设置所述导热管组包括与所述升温机构的输出端连接的第一导管及一端开口且至少部分套设于所述第一导管外的第二导管，所述第二导管的开口端与所述升温机构的输入端连接，使得所述第一导管的管壁形成第一升温空间，所述第二导管的管壁与所述第一导管的管壁间隔设置并共同形成第二升温空间，在所述靶材加热装置的使用过程中，所述升温机构产生的热风经过所述第一升温空间通入所述第二升温空间内，通过所述第二升温空间对所述第二导管加热后为靶材加热，最后回流至所述升温机构的输入端，实现了热风回流重复加热、提升管道加热的均匀性；通过在所述密封端远离所述第二升温空间一侧设置所述温度传感器，利用所述温度传感器实时感应所述密封端的温度，并通过所述温度传感器与所述控制器之间的连接实现反馈控制，避免了因温度过高而出现安全事故。附图说明图1为本技术提供的靶材加热装置的立体结构示意图；图2为图1所示的靶材加热装置沿A-A线的剖视图。图中，100、靶材加热装置；10、升温机构；12、风机；20、导热管组；21、第一导管；22、第二导管；221、加热段；2211、密封端；222、回流段；23、支撑件；30、温度传感器；40、限位件；101、第一升温空间；102、第二升温空间。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术进行详细描述。下述实验例和实施例用于进一步说明但不限于本技术。请结合参阅图1与图2，本技术提供了一种靶材加热装置100，所述靶材加热装置100包括升温机构10、与所述升温机构10连接并用于导热的导热管组20、温度传感器30及限位件40。所述升温机构10包括控制器(图未示)及与所述控制器电连接的风机12。所述导热管组20包括与所述升温机构10的输出端连接的第一导管21、一端开口且至少部分套设于所述第一导管21外的第二导管22及设置于所述第一导管21与所述第二导管22之间的多个支撑件23。其中，所述第二导管22的开口端与所述升温机构10的输入端连接，所述第一导管21的管壁形成第一升温空间101，所述第二导管22的管壁与所述第一导管21的管壁间隔设置并共同形成第二升温空间102。工作时，将靶材套设于所述第二导管22的外壁，利用所述第一导管21及所述第二导管22传递的热量对靶材进行加热。具体的，所述第二导管22包括具有密封端2211并套设于所述第一导管21的加热段221及自所述加热段221远离所述密封端2211的一端弯折形成的回流段222。所述密封端2211与所述第一导管21的输出端相对间隔设置，所述回流段222与所述升温机构10的输入端连接。需要说明的是，所述回流段222的作用为连接所述加热段221与所述升温机构10，将所述第二升温空间102内的热风重新导回所述升温机构10，如此一来，进入所述升温机构10的空气具有一定的初始温度，这样实现了热风回流重复加热、提升管道加热的均匀性，且能够有效提升管道加热的加热温度。同时，因为不同的所述升温机构10的输入端位置不一定，在本实施方式中，设置所述回流段222为多级弯折结构，通过多级弯折实现与所述不同的升温机构10的输入端连接，适配性更强。所述支撑件23设置于所述第一导管21与所述加热段221之间，多个所述支撑件23沿所述第一导管21横截面的周向均匀分布。如此设置，一方面提升了所述第二升温空间102的结构稳定性，另一方面使得所述第二升温空间102在所述第一导管21的周向均匀分布，进一步提升了靶材加热的均匀性。优选的，在本实施方式中，所述支撑件23的数量为三个。所述温度传感器30安装于所述密封端2211远离所述第二升温空间102的一侧。所述温度传感器30与所述控制器电连接。通过在所述密封端远离所述第二升温空间一侧设置所述温度传感器，利用所述温度传感器实时感应所述密封端的温度，并通过所述温度传感器与所述控制器之间的连接实现反馈控制，避免了因温度过高而出现安全事故。所述限位件40套设于所述加热段221远离所述密封端2211的端部，且所述限位件40的厚度不小于靶材的厚度。通过设置所述限位件40保证靶材在加热过程中位于最佳加热位置。优选的，所述限位件40与所述加热段221一体成型；所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材加热装置，其特征在于，包括升温机构及与所述升温机构连接并用于导热的导热管组，所述导热管组包括与所述升温机构的输出端连接的第一导管及一端开口且至少部分套设于所述第一导管外的第二导管，所述第二导管的开口端与所述升温机构的输入端连接，所述第一导管的管壁形成第一升温空间，所述第二导管的管壁与所述第一导管的管壁间隔设置并共同形成第二升温空间；/n工作时，将靶材套设于所述第二导管的外壁，利用所述第一导管及所述第二导管传递的热量对靶材进行加热。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材加热装置，其特征在于，包括升温机构及与所述升温机构连接并用于导热的导热管组，所述导热管组包括与所述升温机构的输出端连接的第一导管及一端开口且至少部分套设于所述第一导管外的第二导管，所述第二导管的开口端与所述升温机构的输入端连接，所述第一导管的管壁形成第一升温空间，所述第二导管的管壁与所述第一导管的管壁间隔设置并共同形成第二升温空间；
工作时，将靶材套设于所述第二导管的外壁，利用所述第一导管及所述第二导管传递的热量对靶材进行加热。


2.根据权利要求1所述的靶材加热装置，其特征在于，所述第二导管包括具有密封端并套设于所述第一导管的加热段及自所述加热段远离所述密封端的一端弯折形成的回流段，所述密封端与所述第一导管的输出端相对间隔设置，所述回流段与所述升温机构的输入端连接。


3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐智勇，
申请(专利权)人：株洲火炬安泰新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43