一种光聚合单体，及其组成的高分辨率高附着LDI干膜抗蚀剂制造技术

本发明专利技术属于感光材料技术领域，尤其涉及一种光聚合单体，及其组成的高分辨率高附着LDI干膜抗蚀剂。本发明专利技术通过对现有丙烯酸酯化合物进行改性，并且配合特定组成和比例的碱可溶性树脂、光引发剂组分以及添加剂的方式，制得综合性能突出的干膜抗蚀剂，以满足下游PCB面板生产厂商用LDI曝光方法制作高精密内层板工艺的要求。本发明专利技术具有以下优点：第一、改进的功能性光聚合单体，可以使得最终的干膜抗蚀剂与覆铜板基材之间的附着力，自身的耐蚀刻能力、显影性和分辨率都得到大大提高；第二、干膜抗蚀剂的光敏性提高、显影速度加快，能满足激光直接描绘成像技术的要求；第三、干膜抗蚀剂形成的干膜侧边形貌良好，提升生产良率。

The invention relates to a photopolymerization monomer and a high-resolution and high adhesion LDI dry film resist composed thereof

【技术实现步骤摘要】
一种光聚合单体，及其组成的高分辨率高附着LDI干膜抗蚀剂
本专利技术属于感光材料
，尤其涉及一种光聚合单体，及其组成的高分辨率高附着LDI干膜抗蚀剂。
技术介绍
LDI，指的是激光直接成像技术，原理是激光直接投射在涂有干膜抗蚀剂的线路板上，从而实现图形转移，相较于传统的光掩膜曝光法，位置配合精度更好，因此，现在的精密线路普遍使用该方法曝光。而制作精密线路，要求干膜抗蚀剂能兼具高解析、高附着力以及耐蚀刻性的这些优点。干膜抗蚀剂，其成分组成一般包括以下四类：碱可溶性树脂、光聚合单体、光引发剂以及添加剂，而现有的干膜抗蚀剂为了达到上述高解析、高附着力以及耐蚀刻的高效综合性能，作出的改进方法主要有以下两种：第一，在碱可溶性树脂体系内加入(甲基)丙烯酸苄酯、苯乙烯、苯乙烯衍生物作为共聚组份，且该类共聚组分在碱可溶树脂中占比较高，或者在光聚合单体中添加多官的单体以提高交联密度；第二，额外添加提升附着力的助剂，例如含磷酸基团的（甲基）丙烯酸酯或者苯并三氮唑类的化合物。但是以上两种方法都具有较大局限性，第一种方法带来的弊端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光聚合单体，其特征在于：包括一种或多种亲水性多官（甲基）丙烯酸酯，所述亲水性多官（甲基）丙烯酸酯的结构通式为式I：

【技术特征摘要】
1.一种光聚合单体，其特征在于：包括一种或多种亲水性多官（甲基）丙烯酸酯，所述亲水性多官（甲基）丙烯酸酯的结构通式为式I：，或者式II：，或者式Ⅲ：，或者式Ⅳ：。


2.根据权利要求1所述的一种光聚合单体，其特征在于：所述式I、II、Ⅲ以及Ⅳ中，m表示4-30的整数，b表示0-30的整数，R*表示H或者C1-C10的直链或者支链烷基，R表示H或者CH3，所述亲水性多官（甲基）丙烯酸酯的重均分子量为800-6000g/mol。


3.根据权利要求1所述的一种光聚合单体，其特征在于：还包括结构通式为式Ⅴ：所示的EO/PO修饰的双酚A（甲基）丙烯酸酯。


4.根据权利要求3所述的一种光聚合单体，其特征在于：所述式Ⅴ中，R1表示H或者CH3，m1、m2分别为1-30的整数，n1、n2分别为0-20的整数，m1+m2为4-30的整数，n1+n2为0-20的整数。


5.一种如权利要求1所述的光聚合单体组成的高分辨率高附着LDI干膜抗蚀剂，其特征在于包括以下组分：碱可溶性树脂45-60wt%、所述光聚合单体35-50wt%、光引发剂组分0.1-10.0wt%，以及添加剂0.5-5.0wt%。


6.根据权利要求5所述的一种光聚合单体组成的高分辨率高附着LDI干膜抗蚀剂，其特征在于：所述亲水性多官（甲基）丙烯酸酯占所述光聚合单体的2-40wt%，占所述碱可溶性树脂和光聚合单体总和的1-20wt%。


7.根据权利要求5所述的一种光聚合单体组成的高分辨率高附着LDI干膜抗蚀剂，其特征在于：所述碱可溶性树脂的结构通式为式Ⅵ：，
其中，R2、R3、R5、R7分别独立表示为氢原子或者甲基，R4、R6分别独立地表示碳原子数为1-5的烷基、碳原子数1-5的烷氧基、羟基或者卤原子，x、y分别独立地表示0-5的整数，R8表示为碳原子数为1-18的直链、支链或者环状烷基；a、b、c、d分别表示各共聚组份在碱可溶性树脂中的比重，其中，a为15-35wt%，b为0-50wt%，c为0...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁丽，朱高华，黄磊，李伟杰，钱伟强，
申请(专利权)人：浙江福斯特新材料研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33