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本发明属于感光材料技术领域，尤其涉及一种光聚合单体，及其组成的高分辨率高附着LDI干膜抗蚀剂。本发明通过对现有丙烯酸酯化合物进行改性，并且配合特定组成和比例的碱可溶性树脂、光引发剂组分以及添加剂的方式，制得综合性能突出的干膜抗蚀剂，以满足下...
该专利属于浙江福斯特新材料研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江福斯特新材料研究院有限公司授权不得商用。

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