活性气体生成装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种活性气体生成装置的结构，能够有意图地减弱在装置的后级设置的处理空间的电场强度，并且将活性气体的失活量抑制在必要最小限度。而且，在本发明专利技术的活性气体产生装置(101)中，设置于电极用电介质膜(11)上的辅助导电膜(12)以俯视时与所述活性气体流通路径的一部分重叠的方式设置，并且辅助导电膜(12)被设定为接地电位。设置于电极用电介质膜(21)上的活性气体用辅助部件(60)设置为，在电极用电介质膜(11)和(21)之间的电介质空间内，在放电空间(6)与气体喷出孔(23)之间填埋活性气体流通路径的一部分而限制为活性气体流通用间隙。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】活性气体生成装置
本专利技术涉及利用平行平板方式的电介质阻挡放电来生成活性气体，并向后级的处理空间供给活性气体的活性气体生成装置。
技术介绍
利用平行平板方式的电介质阻挡放电来生成活性气体的活性气体生成装置例如在专利文献1中公开。图8是表示专利文献1所公开的以往的氮自由基生成系统300的概略结构的说明图。氮自由基生成系统300由氮自由基生成装置301、交流电压源308以及处理腔室312构成。作为活性气体生成装置的氮自由基生成装置301利用电介质阻挡放电，从氮气生成作为活性气体的氮自由基。在氮自由基生成装置301内的空间302中，配设有用于生成电介质阻挡放电的放电单元。在此，上述放电单元由第一电极303及第二电极304构成。第二电极304设置于氮自由基生成装置301的底面的中央部。而且，与第二电极304相面对地配置有第一电极303。在此，第一电极303与第二电极304隔开规定的间隔而相面对。即，在第一电极303与第二电极304之间形成有放电空间305。另外，在面向放电空间305的第一电极303的主面(放电空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种活性气体生成装置，生成活性气体，该活性气体是对被供给至放电空间的原料气体进行活化而得到的，/n该活性气体生成装置具备：/n第一电极构成部；以及/n第二电极构成部，设置于所述第一电极构成部的下方，/n所述第一电极构成部具有第一电极用电介质膜和在所述第一电极用电介质膜的上表面上形成的第一金属电极，所述第二电极构成部具有第二电极用电介质膜和在所述第二电极用电介质膜的下表面上形成的第二金属电极，所述第一金属电极和所述第二金属电极间被施加交流电压，在所述第一电极用电介质膜和所述第二电极用电介质膜相对置的电介质空间内，包含所述第一金属电极和所述第二金属电极在俯视时重叠的区域作为所述放电空间，/n所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种活性气体生成装置，生成活性气体，该活性气体是对被供给至放电空间的原料气体进行活化而得到的，
该活性气体生成装置具备：
第一电极构成部；以及
第二电极构成部，设置于所述第一电极构成部的下方，
所述第一电极构成部具有第一电极用电介质膜和在所述第一电极用电介质膜的上表面上形成的第一金属电极，所述第二电极构成部具有第二电极用电介质膜和在所述第二电极用电介质膜的下表面上形成的第二金属电极，所述第一金属电极和所述第二金属电极间被施加交流电压，在所述第一电极用电介质膜和所述第二电极用电介质膜相对置的电介质空间内，包含所述第一金属电极和所述第二金属电极在俯视时重叠的区域作为所述放电空间，
所述第二电极用电介质膜具有用于向外部喷出所述活性气体的气体喷出孔，从所述放电空间到所述气体喷出孔的路径被规定为活性气体流通路径，
所述第一电极构成部还具有辅助导电膜，
该辅助导电膜在...

【专利技术属性】
技术研发人员：有田廉，渡边谦资，
申请(专利权)人：东芝三菱电机产业系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP