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本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置的结构,能够有意图地减弱在装置的后级设置的处理空间的电场强度,并且将活性气体的失活量抑制在必要最小限度。而且,在本发明的活性气体产生装置(101)中,设置于电极用电介质膜(11)上的辅助导电膜(12)...该专利属于东芝三菱电机产业系统株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东芝三菱电机产业系统株式会社授权不得商用。
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本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置的结构,能够有意图地减弱在装置的后级设置的处理空间的电场强度,并且将活性气体的失活量抑制在必要最小限度。而且,在本发明的活性气体产生装置(101)中,设置于电极用电介质膜(11)上的辅助导电膜(12)...