【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】输送精确RF电压的谐振传输线路相关申请本申请是2018年11月15日提交的美国申请No.16/192,223的继续申请。上述申请的全部教导通过引用并入本文中。
技术介绍
如在残留气体分析仪(RGA)和其它质谱仪中使用的四极分析仪需要精确控制的两相RF电源信号。该RF电源信号幅度约为数百伏特峰值(Vpk),并且其频率通常为几MHz。实际电压幅度和频率可能取决于所需的质量范围以及四极分析仪的各种特性。四极分析仪应用例如可以利用在1.8432MHz时幅度为187.6Vpk的RF电源信号,但是可以选择其它的电压和频率以适合特定的分析仪和质量范围。四极分析仪通常包括两个主要的子系统:托管四极装置和关联的硬件的四极子系统(在本文中也称为“真空系统”);以及信号生成、控制和分析子系统,该信号生成、控制和分析子系统托管RF信号发生器、控制和分析部件以及其它支持电子装置。可以将四极子系统置于电离辐射环境中,这可能会使控制/分析子系统的半导体和其它部件退化。为了保护这些易损坏的部件,可以将控制/分析子系统相对于四极子系统远程地设置。在这样的配置中,四极子系统和控制/分析子系统可以通过线缆或其它通信介质连接,并且间隔开通常为数十米的距离。RF信号发生器通常为具有幅度调制器的、固定频率的晶控部件,该幅度调制器被配置成通过控制系统精确地控制RF信号幅度。控制系统包括准确的整流器,该整流器对四极子系统处的RF信号电压进行测量,并且将测量结果用作控制系统的反馈信号,以将RF信号幅度维持在所需的值。RF信号发生器和关联的控制系统通常是本领 ...
【技术保护点】
1.一种从第一子系统向第二子系统传送时变电压信号并且对所述时变电压信号的幅度进行监测和自适应控制的系统,所述系统包括:/n传输线路,所述传输线路具有第一端和第二端,所述传输线路从处于所述第一子系统处的所述第一端延伸至处于所述第二子系统处的所述第二端,所述传输线路被配置成具有与所述传输线路的电气长度相对应的物理长度,所述传输线路的所述电气长度大致等于所述时变电压信号的一半波长的正整数倍,所述传输线路被配置为能够谐振;/n所述第一子系统处的自适应控制设施,所述自适应控制设施被配置成(i)将所述时变电压信号电联接至所述第一端,以及(ii)基于对所述第一端处的所述时变电压信号的采样来调节所述时变电压信号的发生器,以将所述时变电压信号的幅度保持在需要的水平;以及/n所述第二子系统处的至少一个变压器,所述至少一个变压器被电联接至所述第二端,并且被配置成增加所述时变电压信号的幅度。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181115 US 16/192,2231.一种从第一子系统向第二子系统传送时变电压信号并且对所述时变电压信号的幅度进行监测和自适应控制的系统,所述系统包括:
传输线路,所述传输线路具有第一端和第二端,所述传输线路从处于所述第一子系统处的所述第一端延伸至处于所述第二子系统处的所述第二端,所述传输线路被配置成具有与所述传输线路的电气长度相对应的物理长度,所述传输线路的所述电气长度大致等于所述时变电压信号的一半波长的正整数倍,所述传输线路被配置为能够谐振;
所述第一子系统处的自适应控制设施,所述自适应控制设施被配置成(i)将所述时变电压信号电联接至所述第一端,以及(ii)基于对所述第一端处的所述时变电压信号的采样来调节所述时变电压信号的发生器,以将所述时变电压信号的幅度保持在需要的水平;以及
所述第二子系统处的至少一个变压器,所述至少一个变压器被电联接至所述第二端,并且被配置成增加所述时变电压信号的幅度。
2.根据权利要求1所述的系统,所述系统包括:所述第一子系统包括信号生成、控制和分析电子装置,并且所述第二子系统包括四极分析仪,并且其中,所述时变电压信号是射频电压信号,所述射频电压信号被配置为通过所述至少一个变压器施加至所述四极分析仪的四极部件。
3.根据权利要求1所述的系统,其中,所述自适应控制设施包括整流器,所述整流器被配置成对所述传输线路的所述第一端处的所述时变电压信号进行采样,并且根据所述采样来生成反馈信号。
4.根据权利要求3所述的系统,其中,所述整流器是半导体二极管。
5.根据权利要求4所述的系统,所述系统还包括补偿二极管,所述补偿二极管被电联接至所述整流器,所述补偿二极管被配置成使得所述补偿二极管的传导电压相对于温度的变化减轻所述整流器的传导电压相对于温度的变化。
6.根据权利要求1所述的系统,所述系统还包括从各式各样的线路长度选择出的至少一个传输线路长度,所述至少一个传输线路长度被添加至所述传输线路,所述至少一个传输线路长度被配置成通过调节所述传输线路的所述物理长度来提供对所述传输线路的所述电气长度的粗略调节。
7.根据权利要求1所述的系统,所述系统还包括可调节电容器,所述可调节电容器与所述传输线路的所述第一端并联联接,所述可调节电容器被配置成提供补偿以将所述传输线路置于谐振中。
8.根据权利要求1所述的系统,所述系统还包括可调谐振荡电路,所述可调谐振荡电路被配置成从信号发生器接收激励信号,并且以所述激励信号的频率进行谐振以生成所述时变电压信号。
9.根据权利要求1所述的系统,其中,所述至少一个变压器包括两个变压器,所述两个变压器被电联接至所述时变电压信号以生成所述时变电压信号的两个相。
10.根据权利要求1所述的系统,其中,所述至少一个变压器包括单个变压器,所述单个变压器具有初级绕组和两个次级绕组,所述两个次级绕组被配置成生成被施加至所述初级绕组的所述时变电压信号的两个相。
11.根据权利要求1所述的系统,其中,所述传输线路是线缆组件的部件,所述线缆组件包含一个或更多个通信路径,所述一个或更多个通信路径用于在所述第一子系统与所述第二子系统之间输送信息、控制信号以及电力中的一项或更多项。
12.根据权利要求11所述的系统,其中,所述第一子系统的位置距所述第二子系统至少半个波长。
13.根据权利要求11所述的系统,其中,所述第一子系统的位置距所述第二子系统至少30米。
14.一种从第一子系统向第二子系统传送时变电压信号并且对所述时变电压信号的幅度进行监测和自适应控制的方法,所述方法包括:
将所述时变电压信号电联接至传输线路的第一端,所述传输线路从处于所述第一子系统处的所述第一端延伸至处于所述第二子系统处的第二端,
将所述传输线路的物理长度配置成与大致等于所述时变电压信号的一半波长的正整数倍的电气长度相对应;
在所...
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