隔膜阀制造技术

隔膜阀(10)设置有：形成有第一阀室(16)、第二阀室(20)及使二个阀室连通的连通路22的阀本体(11)；形成于连通路的阀座(23)；具有将接合分离于阀座的阀体部(24a)予以支承的第一隔膜(24)及第二隔膜(25)的阀机构(12)；在与阀本体之间夹持第一隔膜的外周部且对第一隔膜加压而将阀体部朝向阀座推靠的加压单元(14)；以及在与阀本体之间夹持第二隔膜的外周部的阀帽(13)。加压单元(14)配置成透过茎部(38)将与阀体部(24a)连动的可动体(37)支承于内部的整体单元。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】隔膜阀
本专利技术涉及一种在半导体制造、化学工厂及食品等各种产业领域中用以移送各种流体的隔膜阀。
技术介绍
过往在半导体制造等之中，为了在流体的流量及压力的控制中实现高精度的稳定性，常使用如专利文献1至专利文献3所揭示的具有二片隔膜的隔膜阀。如此的隔膜阀之一例的图10所示的流体控制阀300，作为基本构造，包含：具有入口流路301及出口流路302的阀本体303，以及具有阀部304、第一隔膜部305及第二隔膜部306的阀体307。形成于阀本体303的腔室，透过第一隔膜部305及第二隔膜部306，被划分为第一隔膜部305的外侧的第一加压室308；位于第一隔膜部305与第二隔膜部306之间且与入口流路301连通的第一阀室310；位于第一隔膜部305及第二隔膜部306之间并透过第一阀室310、连通路312及阀座312a而连通且与出口流路302连通的第二阀室311；以及第二隔膜部306的外侧的第二加压室309，借由设置于第一加压室308的内部的弹簧313而透过弹簧轴承314以对第一隔膜部305施加经常性朝向内侧的固定压力的同时，利用自第二加压室309的外侧供给至第二加压室309的压缩空气等以对第二隔膜部306施加经常性朝向内侧的固定压力。又第二隔膜部306的受压面积设置为大于第一隔膜部305的受压面积。如此的流体控制阀300，在未供给压缩空气至第二加压室309的状态下，使源自第一加压室308的弹簧313的压力透过第一隔膜部305将阀部304推靠向阀座312a而阻断流体的流通，借由将压缩空气供给至第二加压室309，抵抗源自弹簧60的压力而使阀部304自阀座312a远离，将流体的流量或压力设定为预先指定的值。当设定了流量或压力，变得于第一隔膜部305及第二隔膜部306施加有经常性朝向内侧的固定压力，一次侧(上流侧)的流体压力的变动，做为对于施加有经常性朝向内侧的固定压力的第一隔膜部305及第二隔膜部306的背压变动，即朝向外侧的压力变动而出现，而使源自第一加压室308及第二加压室309的固定的朝向内侧的设定压力与一次侧的朝向外侧的变动压力维持均衡地使阀体307移动。此阀体307移动的结果，使阀部304相对于阀座312a移动，阀部304与阀座312a间的开口量变化而流量或压力的变动受到抑制。又如同前述的具有二片隔膜部的流体控制阀300中，接触流体的区域(接液区域)由于经隔膜部305、306划分，因此能够持续维持流体的清净度。因此，常被利用于要求流体的清净度的领域。〔现有技术文献〕〔专利文献〕〔专利文献1〕日本特开平6-295209号公报〔专利文献2〕日本特开2004-38571号公报〔专利文献3〕日本特开2007-24070号公报
技术实现思路
〔专利技术所欲解决的问题〕如图10所示的流体控制阀中，由于第一隔膜部305及第二隔膜部306与阀部306连动而运动，因此一般而言自第一隔膜部305及第二隔膜部306延伸的轴部连接于阀部304。但是，由于阀部304较自阀座延伸而使第一阀室310及第二阀室311连通的连通路更大，因此就组装的方便性而言，多为以第一隔膜部305及第二隔膜部306其中一者的轴部与阀部304形成为一体，同时另一者的轴部借由螺合连接。因此，必须有使轴部与阀部304螺合的作业。又如图10所示的流体控制阀，使用弹簧的情况，一般为弹簧轴承的外周面沿第一加压室308的周壁移动以使弹簧的力量适当地传达至第一隔膜部305。此情况，为了减轻源自滑动的摩擦力而于弹簧轴承的外周面涂布有润滑油等的润滑剂。弹簧轴承借由导引件导引的情况，也同样于导引件涂布有润滑油等的润滑剂。进一步，可能将第一加压室308作为汽缸室而于内部配置活塞，借由压缩空气等的运作流体的压力而使活塞移动，使活塞与第一格膜部305连动。如此状况，亦为了减轻源自活塞的外周面与汽缸室的周面间的滑动的摩擦力而于活塞的外周面涂布有润滑油等的润滑剂。此外，用于必须密封的位置的O型环等的密封构件亦涂布有润滑油。但是，以手工作业组装流体控制阀时，作业者为了将上述的第一隔膜部305或第二隔膜部306的轴部与阀部304螺合，不得不握持第一隔膜部305、第二隔膜部306及阀部304等而进行作业。因此，润滑油等的润滑剂将附着于作业者的手上，而有接触流体成为使要求清净性的第一隔膜部305或第二隔膜部306及阀部304等的接液区域污染的原因的可能性。又即使不使用润滑油等润滑剂，使用弹簧的情况，于组装时亦会触碰到弹簧材料的金属。此时，附着于手上的金属粒子，亦有污染第一隔膜部305或第二隔膜部306及阀部304等的接液区域的可能性目的因此，本专利技术的在于解决存在于现有技术的问题，避免组装隔膜阀时触碰润滑剂或金属。而抑制源自润滑剂或金属粒子的接液区域的污染。〔解决问题的技术手段〕有鉴于上述目的，本专利技术提供一种隔膜阀，包含：一阀本体，形成有一第一阀室、一第二阀室及一连通路，该第一阀室连通至一入口流路，该第二阀室连通至一出口流路，该连通路使该第一阀室连通该第二阀室；一阀座，形成于该连通路；一阀机构，具有一第一隔膜及一第二隔膜，该第一隔膜安装于该阀本体而朝向该第一阀室且用以将接合分离于该阀座的一阀体部予以支承，该第二隔膜安装于该阀本体而朝向该第二阀室；一加压单元，安装于该阀本体而在与该阀本体之间夹持该第一隔膜的外周部，且对该第一隔膜加压而将该阀体部朝向该阀座推靠；以及一阀帽，安装于该阀本体而在与该阀本体之间夹持该第二隔膜的外周部，其中该加压单元包含一第一单元壳体、第二单元壳体、一可动体及一茎部，该第一单元壳体与第二单元壳体于该加压单元的内部组合而形成一第一加压室，该可动体于该第一加压室内向接近及远离该第一阀室的方向移动，该茎部自该可动体延伸且向该加压单元的外部突出，该加压单元构成为在将该可动体支承于该第一加压室内的状态下该第一单元壳体与该第二单元壳体连接而一体化的单一单元，该茎部的前端部连接有该阀体部，该阀机构借由将以一第一加压机构对该可动体加压而推靠至该阀座的方向的力量透过该茎部经常性地赋予该阀体部，并且将以一第二加压机构对该第二隔膜加压而自该阀座远离的方向的力量自该第二隔膜赋予该阀体部，以控制流体的流通。上述隔膜阀中，安装于阀本体的第一阀室侧，也就是一次侧(上流侧)的加压单元的第一加压室内的可动体以第一加压机构加压，而透过茎部将推靠至阀座的方向的力量经常性地赋予与可动体连接的阀体部，并且第二隔膜被以第二加压装置加压，将自阀座远离的方向的力量自第二隔膜赋予阀体部。因此，借由使源自第二加压机构的对第二隔膜的加压力改变，能够抵抗第一加压机构所赋予的将阀座部压推向阀座的力而将阀体部自阀座拉出，而调整开启程度。进一步，加压单元构成为在将透过茎部与本体部连接的可动体支承于该第一加压室内的状态下该第一单元壳体与该第二单元壳体连接而一体化的单一单元。因此，只要预先于别的步骤组装加压单元，在安装于阀机构或阀本体时，进行自加压单元延伸的茎部与第一隔膜的连接，以及加压单元对阀本体的安装即可，不需接触加压单元内的构件等。也就是说，即使为了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种隔膜阀，包含：/n阀本体，形成有第一阀室、第二阀室及连通路，该第一阀室连通至入口流路，该第二阀室连通至出口流路，该连通路使该第一阀室连通该第二阀室；/n阀座，形成于该连通路；/n阀机构，具有第一隔膜及第二隔膜，该第一隔膜安装于该阀本体而朝向该第一阀室且用以将接合分离于该阀座的阀体部予以支承，该第二隔膜安装于该阀本体而朝向该第二阀室；/n加压单元，安装于该阀本体而在与该阀本体之间夹持该第一隔膜的外周部，且对该第一隔膜加压而将该阀体部朝向该阀座推靠；以及/n阀帽，安装于该阀本体而在与该阀本体之间夹持该第二隔膜的外周部，/n其中该加压单元包含第一单元壳体、第二单元壳体、可动体及茎部，该第一单元壳体与第二单元壳体于该加压单元的内部组合而形成第一加压室，该可动体于该第一加压室内向接近及远离该第一阀室的方向移动，该茎部自该可动体延伸且向该加压单元的外部突出，该加压单元构成为在将该可动体支承于该第一加压室内的状态下该第一单元壳体与该第二单元壳体连接而一体化的单一单元，该茎部的前端部连接有该阀体部，该阀机构借由将以第一加压机构对该可动体加压而推靠至该阀座的方向的力量透过该茎部经常性地赋予该阀体部，并且将以第二加压机构对该第二隔膜加压而自该阀座远离的方向的力量自该第二隔膜赋予该阀体部，以控制流体的流通。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181130 JP 2018-2244011.一种隔膜阀，包含：
阀本体，形成有第一阀室、第二阀室及连通路，该第一阀室连通至入口流路，该第二阀室连通至出口流路，该连通路使该第一阀室连通该第二阀室；
阀座，形成于该连通路；
阀机构，具有第一隔膜及第二隔膜，该第一隔膜安装于该阀本体而朝向该第一阀室且用以将接合分离于该阀座的阀体部予以支承，该第二隔膜安装于该阀本体而朝向该第二阀室；
加压单元，安装于该阀本体而在与该阀本体之间夹持该第一隔膜的外周部，且对该第一隔膜加压而将该阀体部朝向该阀座推靠；以及
阀帽，安装于该阀本体而在与该阀本体之间夹持该第二隔膜的外周部，
其中该加压单元包含第一单元壳体、第二单元壳体、可动体及茎部，该第一单元壳体与第二单元壳体于该加压单元的内部组合而形成第一加压室，该可动体于该第一加压室内向接近及远离该第一阀室的方向移动，该茎部自该可动体延伸且向该加压单元的外部突出，该加压单元构成为在将该可动体支承于该第一加压室内的状态下该第一单元壳体与该第二单元壳体连接而一体化的单一单元，该茎部的前端部连接有该阀体部，该阀机构借由将以第一加压机构对该可动体加压而推靠至该阀座的方向的力量透过该茎部经常性地赋予该阀体部，并且将以第二加压机构对该第二隔膜加压而自该阀座远离的方向的力量自该第二隔膜赋予该阀体部，以控制流体的流通。


2.如权利要求1所述的隔膜阀，其中该第二隔膜具有得以与该第一隔膜的该阀体部接触或分离的推压部，借由将以该第二加压机构接近该阀座的力量赋予该第二隔膜，使该推压部抵接于该阀体部，并抵抗以该第一加压机构赋予该阀体部的力量而使该阀体部远离该阀座。


3.如权利要求2所述的隔膜阀，其中该第一单元壳体包括筒状本体，该筒状本体具有贯通孔，该贯通孔包含小直径部及大直径部，该小直径部面对该第一隔膜，该大直径部与该小直径部...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉野研郎，鬼木祐辅，
申请(专利权)人：旭有机材株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP