一种微小的阵列压电传感器制造技术

本发明专利技术提供一种微小的阵列压电传感器，包括：多个阵元，所述阵元阵列排布；所述阵元设有陶瓷层，所述陶瓷层上下表面设有上金属电极层和下金属电极层，所述上金属电极层上侧设有耦合层，所述下金属电极层下侧设有背衬层；所述上金属电极层连接第一引出线，所述第一引出线穿过所述背衬层引出外侧；所述下金属电极层连接第二引出线，所述第二引出线穿过所述背衬层引出外侧；多个所述阵元之间设有填充介质。本发明专利技术的微小的阵列压电传感器的阵元表面平整度好，同时第一引出线、第二引出线均从背衬层穿出，便于装配。

【技术实现步骤摘要】
一种微小的阵列压电传感器
本专利技术涉及传感器
，尤其指一种微小的阵列压电传感器。
技术介绍
目前的消费类电子市场对超声波传感器的应用越来越广泛，如水流量测试、血压测试以及超声成像系统的运用等。为了满足产品运用的需要，要求产品的超声波方向性好、灵敏度高等特性。同时，为了满足产品的这些特性，一般要求产品制作为阵列方式，且要求产品小型化，便于装配，然而市面上的产品还是很难实现小型化、便于装配同时产品的特性也能够达到要求。
技术实现思路
本专利技术提供一种小型化阵列排布、装配方便，且超声波方向性好、灵敏度高的微小的阵列压电传感器。本专利技术采用的技术方案为：一种微小的阵列压电传感器，包括：多个阵元，所述阵元阵列排布；所述阵元设有陶瓷层，所述陶瓷层上下表面设有上金属电极层和下金属电极层，所述上金属电极层上侧设有耦合层，所述下金属电极层下侧设有背衬层；所述上金属电极层连接第一引出线，所述第一引出线穿过所述背衬层引出外侧；所述下金属电极层连接第二引出线，所述第二引出线穿过所述背衬层引出外侧；多个所述阵元之间设有填充介质。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微小的阵列压电传感器，其特征在于，包括：/n多个阵元，所述阵元阵列排布；/n所述阵元设有陶瓷层，所述陶瓷层上下表面设有上金属电极层和下金属电极层，所述上金属电极层上侧设有耦合层，所述下金属电极层下侧设有背衬层；/n所述上金属电极层连接第一引出线，所述第一引出线穿过所述背衬层引出外侧；/n所述下金属电极层连接第二引出线，所述第二引出线穿过所述背衬层引出外侧；/n多个所述阵元之间设有填充介质。/n

【技术特征摘要】
1.一种微小的阵列压电传感器，其特征在于，包括：
多个阵元，所述阵元阵列排布；
所述阵元设有陶瓷层，所述陶瓷层上下表面设有上金属电极层和下金属电极层，所述上金属电极层上侧设有耦合层，所述下金属电极层下侧设有背衬层；
所述上金属电极层连接第一引出线，所述第一引出线穿过所述背衬层引出外侧；
所述下金属电极层连接第二引出线，所述第二引出线穿过所述背衬层引出外侧；
多个所述阵元之间设有填充介质。


2.如权利要求1所述的一种微小的阵列压电传感器，其特征在于：所述填充介质经过去耦合处理。


3.如权利要求1所述的一种微小的阵列压电传感器，其特征在于：所述耦合层上侧设有介质层，所述耦合层满足测试介质与所述阵元的声阻抗匹配原则，所述陶瓷层的阻抗为Z1，所述耦合层的阻抗为Z3，所述介质层的阻抗为Z2，满足以下关系：


4.如权利要求3所述的一种微小的阵列压电传感器，其特征在于：所述耦合层的厚度为测试声波波长的1/4或3/4。


5.如权利要求1所述的一种微小的阵列压电传感器，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱䶮，石鹏，
申请(专利权)人：广东奥迪威传感科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44