下载一种微小的阵列压电传感器的技术资料

文档序号:29408833

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本发明提供一种微小的阵列压电传感器,包括:多个阵元,所述阵元阵列排布;所述阵元设有陶瓷层,所述陶瓷层上下表面设有上金属电极层和下金属电极层,所述上金属电极层上侧设有耦合层,所述下金属电极层下侧设有背衬层;所述上金属电极层连接第一引出线,所述...
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