载台和测试平台制造技术

本实用新型专利技术涉及玻璃基板的测试设备技术领域，特别涉及一种载台和测试平台。所述载台(1)具有工作面(2)和抽气结构(3)，所述工作面(2)用于承载待测物并且能够与所述待测物共同形成容纳有空气的空气容腔，所述抽气结构(3)设置为自所述工作面(2)向外延伸以连通所述空气容腔与外界，以使得所述空气容腔内的空气能够经所述抽气结构(3)抽走。所述载台通过设置抽气结构，能够将载台的工作面和待测物(例如，液晶玻璃基板等)之间共同形成的空气容腔与外界连通，便于将空气容腔内的空气顺利排出，从而有利于载台精准测量待测物的翘曲。

【技术实现步骤摘要】
载台和测试平台
本技术涉及玻璃基板的测试设备
，特别涉及一种载台和测试平台。
技术介绍
随着科技的不断发展，市场对基板的品质需求越来越高，因此，在液晶玻璃基板的生产过程中，生产人员对液晶玻璃基板的各项数据的精度要求也不断提高。其中，翘曲是一种玻璃片材的缺陷，其特征是偏离平面，是玻璃基板品质的一项重要数据，具体的，翘曲值越小，说明玻璃平面度越高，玻璃品质越高；反之，玻璃品质越低。目前，液晶玻璃基板的翘曲是在一块表面精度极高的大理石载台上测量得到的，具体操作如下：人工先将液晶玻璃基板放在大理石载台上，然后通过专业的测量仪器来测量数据。但是，在放置液晶玻璃基板时，液晶玻璃基板与大理石载台的工作平面之间的空气不易排出，造成翘曲测量数值偏大，存在误差，影响玻璃基板的品质。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种载台和测试平台，以解决现有技术中液晶玻璃基板因与大理石载台的工作平面之间的空气不易排出而无法精准测量翘曲的问题。为达到上述目的，本技术第一方面提供了一种载台，所述载台具有工作面和抽气结构，所述工作面用于承载本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载台，其特征在于，所述载台(1)具有工作面(2)和抽气结构(3)，所述工作面(2)用于承载待测物并且能够与所述待测物共同形成容纳有空气的空气容腔，所述抽气结构(3)设置为自所述工作面(2)向外延伸以连通所述空气容腔与外界，以使得所述空气容腔内的空气能够经所述抽气结构(3)抽走。/n

【技术特征摘要】
1.一种载台，其特征在于，所述载台(1)具有工作面(2)和抽气结构(3)，所述工作面(2)用于承载待测物并且能够与所述待测物共同形成容纳有空气的空气容腔，所述抽气结构(3)设置为自所述工作面(2)向外延伸以连通所述空气容腔与外界，以使得所述空气容腔内的空气能够经所述抽气结构(3)抽走。


2.根据权利要求1所述的载台，其特征在于，所述抽气结构(3)包括抽气孔(4)，所述抽气孔(4)设置为自所述工作面(2)向下延伸以连通所述空气容腔与外界。


3.根据权利要求2所述的载台，其特征在于，所述抽气结构(3)还包括抽气槽(5)，所述抽气槽(5)设置于所述工作面(2)并且开口朝向所述待测物，所述抽气孔(4)开设在所述抽气槽(5)的槽底壁。


4.根据权利要求3所述的载台，其特征在于，所述抽气槽(5)设置为沿所述载台(1)的第一方向延伸，所述第一方向处于所述工作面(2)所在平面上。


5.根据权利要求4所述的载台，其特征在于，所述载台(1)具有与所述第一方向垂直设置的第二方向，所述抽气结构(3)包括沿所述第二方向间隔分布的多个所述抽气槽(5)。


6.根据权利要求5所述的载台，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：李青，李东东，王俊明，张志刚，赵玉乐，王光祥，刘言昌，郭以深，杨山立，
申请(专利权)人：山西光兴光电科技有限公司，东旭光电科技股份有限公司，东旭科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：山西;14