载台和测试平台制造技术

本实用新型专利技术涉及玻璃基板的测试设备技术领域，特别涉及一种载台和测试平台。所述载台(1)具有工作面(2)和抽气结构(3)，所述工作面(2)用于承载待测物并且能够与所述待测物共同形成容纳有空气的空气容腔，所述抽气结构(3)设置为自所述工作面(2)向外延伸以连通所述空气容腔与外界，以使得所述空气容腔内的空气能够经所述抽气结构(3)抽走。所述载台通过设置抽气结构，能够将载台的工作面和待测物(例如，液晶玻璃基板等)之间共同形成的空气容腔与外界连通，便于将空气容腔内的空气顺利排出，从而有利于载台精准测量待测物的翘曲。

【技术实现步骤摘要】
载台和测试平台
本技术涉及玻璃基板的测试设备
，特别涉及一种载台和测试平台。
技术介绍
随着科技的不断发展，市场对基板的品质需求越来越高，因此，在液晶玻璃基板的生产过程中，生产人员对液晶玻璃基板的各项数据的精度要求也不断提高。其中，翘曲是一种玻璃片材的缺陷，其特征是偏离平面，是玻璃基板品质的一项重要数据，具体的，翘曲值越小，说明玻璃平面度越高，玻璃品质越高；反之，玻璃品质越低。目前，液晶玻璃基板的翘曲是在一块表面精度极高的大理石载台上测量得到的，具体操作如下：人工先将液晶玻璃基板放在大理石载台上，然后通过专业的测量仪器来测量数据。但是，在放置液晶玻璃基板时，液晶玻璃基板与大理石载台的工作平面之间的空气不易排出，造成翘曲测量数值偏大，存在误差，影响玻璃基板的品质。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种载台和测试平台，以解决现有技术中液晶玻璃基板因与大理石载台的工作平面之间的空气不易排出而无法精准测量翘曲的问题。为达到上述目的，本技术第一方面提供了一种载台，所述载台具有工作面和抽气结构，所述工作面用于承载待测物并且能够与所述待测物共同形成容纳有空气的空气容腔，所述抽气结构设置为自所述工作面向外延伸以连通所述空气容腔与外界，以使得所述空气容腔内的空气能够经所述抽气结构抽走。可选的，所述抽气结构包括抽气孔，所述抽气孔设置为自所述工作面向下延伸以连通所述空气容腔与外界。可选的，所述抽气结构还包括抽气槽，所述抽气槽设置于所述工作面并且开口朝向所述待测物，所述抽气孔开设在所述抽气槽的槽底壁。可选的，所述抽气槽设置为沿所述载台的第一方向延伸，所述第一方向处于所述工作面2所在平面上。可选的，所述载台具有与所述第一方向垂直设置的第二方向，所述抽气结构包括沿所述第二方向间隔分布的多个所述抽气槽。可选的，每个所述抽气槽内设置有沿所述抽气槽的延伸方向间隔分布的多个所述抽气孔。本技术第二方面还提供了一种测试平台，所述测试平台包括抽压装置和所述的载台，所述抽压装置与所述抽气结构连通并且能够通过所述抽气结构抽取所述空气容腔内的空气。可选的，所述测试平台包括设置在所述抽气结构和所述抽压装置之间的调压阀，所述调压阀设置为能够改变所述空气的流通面积来调节所述抽压装置抽出所述空气的抽力。可选的，所述测试平台包括控制单元和能够测量所述抽压装置的抽力的压力表，所述控制单元分别与所述压力表和所述调压阀电连接，所述控制单元设置为能够根据所述压力表测量的压力信息来控制所述调压阀的开度。可选的，所述测试平台包括设置在所述抽气结构和所述抽压装置之间的单向阀，所述单向阀设置为允许所述空气从所述空气容腔向所述抽压装置进行单向流通。通过上述技术方案，所述载台通过设置抽气结构，能够将载台的工作面和待测物(例如，液晶玻璃基板等)之间共同形成的空气容腔与外界连通，便于将空气容腔内的空气顺利排出，从而有利于载台精准测量待测物的翘曲。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施方式及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术实施方式所述的测试平台的结构示意图。附图标记说明：1、载台；2、工作面；3、抽气结构；4、抽气孔；5、抽气槽；6、抽压装置；7、压力表；8、单向阀；9、调压阀。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。本技术第一方面提供了一种载台，如图1所示，所述载台1具有工作面2和抽气结构3，所述工作面2用于承载待测物并且能够与所述待测物共同形成容纳有空气的空气容腔，所述抽气结构3设置为自所述工作面2向外延伸以连通所述空气容腔与外界，以使得所述空气容腔内的空气能够经所述抽气结构3抽走。通过上述技术方案，所述载台1通过设置抽气结构3，能够将载台1的工作面2和待测物(例如，液晶玻璃基板等)之间共同形成的空气容腔与外界连通，便于将空气容腔内的空气顺利排出，从而有利于载台精准测量待测物的翘曲。其中，抽气结构3可以为各种形式，例如，抽气结构3可以为形成于工作面2上的抽气凹槽结构，并且该抽气凹槽结构能够连通所述空气容腔和外界；使用时，可以先将抽气装置(例如，小型真空泵)的抽气管经由所述抽气凹槽结构穿入到所述空气容腔，然后通过抽气装置进行抽气操作，以便于将所述空气容腔内的空气抽出，其中，抽气管的管径小于所述抽气凹槽结构的横截面上的最小尺寸。优选地，所述抽气结构3包括抽气孔4，所述抽气孔4设置为自所述工作面2向下延伸以连通所述空气容腔与外界，结构更为简单，设计更为合理，便于制作与加工。使用时，可以先将抽气装置(例如，小型真空泵)的抽气管装配到抽气孔4的底部以与所述空气容腔连通，然后通过抽气装置进行抽气操作，以便于将所述空气容腔内的空气抽出，其中，抽气管与抽气孔4的底部可以采用过盈装配等连接方式。进一步的，所述抽气结构3还包括抽气槽5，所述抽气槽5设置于所述工作面2并且开口朝向所述待测物，所述抽气孔4开设在所述抽气槽5的槽底壁，使得抽气槽5的槽底壁能够与工作面2和待测物共同围成所述空气容腔，显著扩大了所述空气容腔的容积，解决了抽气装置因所述空气容腔过小而难以进行抽气操作(例如，抽压设备容易出现过抽问题，进而造成待测物受损)，有利于抽气装置的安全运行，还保证了待测物的完好无损。需要说明的是，工作面2可以设置为平面结构。其中，抽气槽5可以设置为各种形式，例如，可以设置为环形槽、弧形槽等；优选地，抽气槽5可以设置为直线型槽，具体的，所述抽气槽5设置为沿所述载台1的第一方向延伸，所述第一方向处于所述工作面2所在平面上，结构更为简单，设计更为合理，便于制作与加工。其中，载台1可以为各种形式，例如，载台1的工作面2可以为长方形，第一方向则为工作面2的长度方向。进一步的，所述载台1具有与所述第一方向垂直设置的第二方向，所述抽气结构3包括沿所述第二方向间隔分布的多个所述抽气槽5，使得抽气槽5能够遍布整个工作面2，增加了空气腔室的总容积，降低了抽气装置的抽气难度，有利于提高空气腔室的抽气效率，从而保证了载台能够更为精准测量待测物的整体翘曲。其中，载台1可以为各种形式，例如，载台1的工作面2可以为长方形，第二方向则为工作面2的宽度方向。进一步的，每个所述抽气槽5内设置有沿所述抽气槽5的延伸方向间隔分布的多个所述抽气孔4，便于抽气装置通过多个抽气管对同一抽气槽5处的空气腔室进行抽气操作，有利于提高空气腔室的抽气效率。值得一提的是，每个所述抽气槽5内的多个抽气孔4(例如，3个)可以等间隔分布，便于制作与加工，有利于批量化生产。根据本技术的一些具体实施方式，当待测物为液晶玻璃基板时，载台1为上表面精度极高的大理石载台，工作台2为精度加工的上表面，即为精度加工的平本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载台，其特征在于，所述载台(1)具有工作面(2)和抽气结构(3)，所述工作面(2)用于承载待测物并且能够与所述待测物共同形成容纳有空气的空气容腔，所述抽气结构(3)设置为自所述工作面(2)向外延伸以连通所述空气容腔与外界，以使得所述空气容腔内的空气能够经所述抽气结构(3)抽走。/n

【技术特征摘要】
1.一种载台，其特征在于，所述载台(1)具有工作面(2)和抽气结构(3)，所述工作面(2)用于承载待测物并且能够与所述待测物共同形成容纳有空气的空气容腔，所述抽气结构(3)设置为自所述工作面(2)向外延伸以连通所述空气容腔与外界，以使得所述空气容腔内的空气能够经所述抽气结构(3)抽走。


2.根据权利要求1所述的载台，其特征在于，所述抽气结构(3)包括抽气孔(4)，所述抽气孔(4)设置为自所述工作面(2)向下延伸以连通所述空气容腔与外界。


3.根据权利要求2所述的载台，其特征在于，所述抽气结构(3)还包括抽气槽(5)，所述抽气槽(5)设置于所述工作面(2)并且开口朝向所述待测物，所述抽气孔(4)开设在所述抽气槽(5)的槽底壁。


4.根据权利要求3所述的载台，其特征在于，所述抽气槽(5)设置为沿所述载台(1)的第一方向延伸，所述第一方向处于所述工作面(2)所在平面上。


5.根据权利要求4所述的载台，其特征在于，所述载台(1)具有与所述第一方向垂直设置的第二方向，所述抽气结构(3)包括沿所述第二方向间隔分布的多个所述抽气槽(5)。


6.根据权利要求5所述的载台，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：李青，李东东，王俊明，张志刚，赵玉乐，王光祥，刘言昌，郭以深，杨山立，
申请(专利权)人：山西光兴光电科技有限公司，东旭光电科技股份有限公司，东旭科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：山西;14