液晶基板玻璃翘曲度测量方法及系统技术方案

本发明专利技术提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法及系统，属于液晶基板玻璃领域。所述翘曲度测量方法包括：在承载平台上划定工作区域，并在工作区域内划定测量区域；获取工作区域面的三维坐标，所述工作区域面为零面I；基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III；其中所述零面III在三维空间中与零面I平行，且零面III在测量镜头景深H毫米范围内，H>0毫米；样片测量过程中，规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标；计算每一采样点到零面III的垂直距离，根据所述垂直距离计算样片的翘曲度值。所述方法可消除零面I的机械误差，使测量结果更准确。

【技术实现步骤摘要】
液晶基板玻璃翘曲度测量方法及系统
本专利技术涉及液晶基板玻璃领域，具体地涉及一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法及一种液晶基板玻璃翘曲度测量系统。
技术介绍
翘曲度是评价基板玻璃的一项重要指标，翘曲度的优劣直接反映了生产制程是否稳定可靠，对客户制程工艺也有较大影响。现有的液晶基板玻璃翘曲度测量方法不能完全排除液晶基板测量装置00级大理石平台面的机械误差，不利于对翘曲度日益严格的要求。且实施一次翘曲度测量，需要将整板样品测量完成后，通过对各测量点进行云计算得到翘曲度值，最后再输出翘曲度值，而不能实时输出翘曲度数值。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术实施方式的目的是提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法及系统。为了实现上述目的，本专利技术第一方面提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法，基于翘曲度测量装置，所述翘曲度测量装置包括承载平台和激光测量镜头，所述翘曲度测量方法包括：在承载平台上划定工作区域，并在工作区域内划定测量区域；获取工作区域面的三维坐标，所述工作区域面为零面I；基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III；其中所述零面III在三维空间中与零面I平行，且零面III在测量镜头景深H毫米范围内，H>0毫米；样片测量过程中，规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标；计算每一采样点到零面III的垂直距离，根据所述垂直距离计算样片的翘曲度值。可选的，所述基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III，包括：以测量装置的机械原点作为机械零点，建立机械坐标系；以机械坐标系为基准，建立第一坐标系和第二坐标系，所述第一坐标系和第二坐标系为相对坐标系；根据所述第一坐标系和第二坐标系在机械坐标系中的位置，建立第一坐标系与第二坐标系的对应关系；以第一坐标系为测量坐标系，获取零面I在第一坐标系中的三维坐标；以所述零面I的三维坐标及第一坐标系与第二坐标系的对应关系，计算零面I在第二坐标系中的三维坐标；将所述零面I在第二坐标系中的所有坐标点，在Z轴方向上增加e毫米，得到零面III在第二坐标系中的三维坐标，其中e>0毫米。可选的，所述机械坐标系、第一坐标系和第二坐标系的对应关系包括：将所述机械坐标系定义为(x,y,z)，第一坐标系定义为(x1,y1,z1)，第二坐标系定义为(X,Y,Z)，所述第一坐标系与机械坐标系的对应关系为：(x1,y1,z1)＝(x-a,y-b,z-f)，所述第二坐标系与机械坐标系的对应关系为(X,Y,Z)＝(x-c,y-d,z-f)；根据第一坐标系与机械坐标系的对应关系和第二坐标系与机械坐标系的对应关系，计算第一坐标系与第二坐标系的对应关系：(X,Y,Z)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1)；计算零面III在第二坐标系中的三维坐标与零面I在第一坐标系中的三维坐标的对应关系为：(XIII,YIII,ZIII)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1+e)；其中，c≥a，d≥b，f≥0。可选的，所述规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标，包括：在测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动过程中，以第二坐标系为测量坐标系，分别以X轴和Y轴L毫米为间距，拾取样片上采样点的三维坐标；所述计算每一采样点到零面III的垂直距离，包括：对于每一采样点，根据该采样点的三维坐标和零面III对应点的三维坐标，计算该采样点与对应点在Z轴方向的距离Wi，其中，L≥1毫米。可选的，所述根据垂直距离计算样片的翘曲度值，包括：在样片测量完成后，根据样片上所有采样点到零面III的垂直距离，计算样片的翘曲度值；或在样片测量过程中，根据样片上已测区域内的采样点到零面III的垂直距离，实时计算样片上已测区域的翘曲度值，将样片测量完成时计算得到的翘曲度值作为样片的翘曲度值。可选的，所述在样片测量过程中，根据样片上已测区域内的采样点到零面III的垂直距离，实时计算样片上已测区域的翘曲度值，包括以下步骤：定义样片到零面III的最大距离Wmax和最小距离Wmin；实时采集采样点在第二坐标系中的三维坐标，根据该采样点对应的零面III在第二坐标系中的三维坐标，计算该采样点到零面III的垂直距离Wi；比较初始采集的N个采样点对应的Wi值，将N个Wi值中的最大值与最小值作为最大距离Wmax和最小距离Wmin，计算样片上已测区域的翘曲度值w：w＝Wmax-Wmin；其中N≥2；在后续采集过程中，每次拾取M个采样点对应的Wi值，将Wi值分别与最大距离Wmax和最小距离Wmin比较，将比较得出的最大值与最小值更新为最大距离Wmax和最小距离Wmin，根据更新后的最大距离Wmax和最小距离Wmin计算样片上已测区域的翘曲度值w：w＝Wmax-Wmin，其中M≥1；所述将样片测量完成时计算得到的翘曲度值作为样片的翘曲度值，包括：在样片测量完成后，将最后一次计算得出的已测区域的翘曲度值w作为样片的翘曲度值。可选的，所述翘曲度测量方法还包括：实时输出样片上已测区域的翘曲度值信息，所述翘曲度值信息包括：已测区域的翘曲度值w、最大距离Wmax、最小距离Wmin，及最大距离Wmax和最小距离Wmin对应的采样点的坐标点信息。可选的，所述翘曲度测量方法还包括：对零面I的三维坐标信息进行实时更新。本专利技术第二方面提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量系统，所述系统包括存储器和处理器，所述存储器上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令被处理器执行时实现所述液晶基板玻璃翘曲度测量方法。本专利技术第三方面提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量装置，所述测量装置设置所述液晶基板玻璃翘曲度测量系统。。通过上述技术方案，基于零面I的三维坐标信息，建立与零面I平行三维零面III，通过规划测量镜头按零面III轨迹运行，可解决测量装置大理石承载平台带入的机械误差，使测量结果更加精准。通过实时采集被测样片采样点的坐标信息，计算距离零面III的距离，并使用最大距离与最小距离实时计算两者之差，可实时输出被测样片的翘曲度值，提高了测量效率。本专利技术实施方式的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本专利技术实施方式的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术实施方式，但并不构成对本专利技术实施方式的限制。附图中图示的零面I的形变是为了更清楚的说明大理石平所带的机械形变，并不代表大理石平台的真实形变，如附图所示。在附图中：图1是现有测量系统测量机械误差示意图；图2是现有测量系统零面I与零面II三维空间关系图；图3是本专利技术一种实施方式提供的液晶基板玻璃翘曲度测量方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法，基于翘曲度测量装置，所述翘曲度测量装置包括承载平台和激光测量镜头，其特征在于，所述翘曲度测量方法包括：/n在承载平台上划定工作区域，并在工作区域内划定测量区域；/n获取工作区域面的三维坐标，所述工作区域面为零面I；/n基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III；其中所述零面III在三维空间中与零面I平行，且零面III在测量镜头景深H毫米范围内，H>0毫米；/n样片测量过程中，规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标；/n计算每一采样点到零面III的垂直距离，根据所述垂直距离计算样片的翘曲度值。/n

【技术特征摘要】
1.一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法，基于翘曲度测量装置，所述翘曲度测量装置包括承载平台和激光测量镜头，其特征在于，所述翘曲度测量方法包括：
在承载平台上划定工作区域，并在工作区域内划定测量区域；
获取工作区域面的三维坐标，所述工作区域面为零面I；
基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III；其中所述零面III在三维空间中与零面I平行，且零面III在测量镜头景深H毫米范围内，H>0毫米；
样片测量过程中，规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标；
计算每一采样点到零面III的垂直距离，根据所述垂直距离计算样片的翘曲度值。


2.根据权利要求1所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III，包括：
以测量装置的机械原点作为机械零点，建立机械坐标系；
以机械坐标系为基准，建立第一坐标系和第二坐标系，所述第一坐标系和第二坐标系为相对坐标系；
根据所述第一坐标系和第二坐标系在机械坐标系中的位置，建立第一坐标系与第二坐标系的对应关系；
以第一坐标系为测量坐标系，获取零面I在第一坐标系中的三维坐标；
以所述零面I的三维坐标及第一坐标系与第二坐标系的对应关系，计算零面I在第二坐标系中的三维坐标；
将所述零面I在第二坐标系中的所有坐标点，在Z轴方向上增加e毫米，得到零面III在第二坐标系中的三维坐标，其中e>0毫米。


3.根据权利要求2所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述机械坐标系、第一坐标系和第二坐标系的对应关系包括：
将所述机械坐标系定义为(x,y,z)，第一坐标系定义为(x1,y1,z1)，第二坐标系定义为(X,Y,Z)，所述第一坐标系与机械坐标系的对应关系为：(x1,y1,z1)＝(x-a,y-b,z-f)，
所述第二坐标系与机械坐标系的对应关系为(X,Y,Z)＝(x-c,y-d,z-f)；
根据第一坐标系与机械坐标系的对应关系和第二坐标系与机械坐标系的对应关系，计算第一坐标系与第二坐标系的对应关系：(X,Y,Z)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1)；
计算零面III在第二坐标系中的三维坐标与零面I在第一坐标系中的三维坐标的对应关系为：(XIII,YIII,ZIII)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1+e)；
其中，c≥a，d≥b，f≥0。


4.根据权利要求3所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标，包括：
在测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动过程中，以第二坐标系为测量坐标系，分别以X轴和Y轴L毫米为...

【专利技术属性】
技术研发人员：李青，李赫然，张北斗，李俊生，杨道辉，李斌，韩春林，
申请(专利权)人：甘肃旭盛显示科技有限公司，东旭光电科技股份有限公司，东旭科技集团有限公司，
类型：发明
国别省市：甘肃;62