用于半导体废气处理设备的安全监测系统技术方案

本发明专利技术提供一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，包括：腐蚀监测子系统，所述腐蚀监测子系统包括检测带，所述检测带用以安装于所述处理设备的腔体的焊接部位；堵塞监测子系统，所述堵塞监测子系统包括光电传感器，所述光电传感器用以安装于所述处理设备的管道的易堵塞位置；信息处理显示子系统，所述信息处理显示子系统分别与所述检测带和所述光电传感器连接。本发明专利技术实现检测带对腔体的焊接部位的腐蚀渗漏的定点实时监测，光电传感器对管道的易堵塞位置的定点实时监测，信息处理显示子系统采集、处理并显示监测信息，提高对腐蚀点和堵塞位置的精准监测判定，保证监测信息的实时性和准确性，提高维护效率和设备运行的安全性。

【技术实现步骤摘要】
用于半导体废气处理设备的安全监测系统
本专利技术涉及半导体废气处理
，尤其涉及一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统。
技术介绍
半导体废气处理设备的处理过程中，由于处理的制程气体腐蚀性强，对设备的不锈钢腔体造成腐蚀或管路漏气，危害安全；反应后形成的粉尘容易堵塞管路，造成停机、憋泵等不良影响；同时因为腐蚀点较小，位置不易查看，管道堵塞位置不明等因素，也给现场人员的工作带了诸多不便。
技术实现思路
本专利技术提供一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，用以解决现有技术中无法对半导体废气处理设备进行定点实时监测，无法第一时间准确的定位故障位置的缺陷，实现对半导体废气处理设备定点实时监测，精确确认故障位置。本专利技术提供一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，包括：腐蚀监测子系统，所述腐蚀监测子系统包括检测带，所述检测带用以安装于所述处理设备的腔体的焊接部位；堵塞监测子系统，所述堵塞监测子系统包括光电传感器，所述光电传感器用以安装于所述处理设备的管道的易堵塞位置；信息处理显示子系统，所述信息处理显示子系统分别与所述检测带和所述光电传感器连接。根据本专利技术提供一种的用于半导体废气处理设备的安全监测系统，所述检测带包括依次层叠设置的吸水棉层、漏液带层、热敏电阻层和保护层，所述吸水棉层与所述腔体的焊接部位连接，所述漏液带层设有用以监测所述腔体的渗漏的漏液带，所述热敏电阻层设有用以监测所述腔体的温度的热敏电阻；所述漏液带和所述热敏电阻均与所述信息处理显示子系统连接。根据本专利技术提供的一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，所述热敏电阻层设有多个热敏电阻，多个所述热敏电阻串联成带状结构。根据本专利技术提供的一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，所述易堵塞位置包括管道入口、管道内旁路阀门的下游处、管道的弯管处和前水洗管路。根据本专利技术提供的一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，所述堵塞监测子系统还包括氮气储罐，所述光电传感器安装于所述易堵塞位置的管道穿孔内，所述氮气储罐通过输气管路与所述管道穿孔连接，用以向所述光电传感器输送氮气。根据本专利技术提供的一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，所述输气管路上设有节流阀。根据本专利技术提供的一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，所述氮气储罐输出的氮气的压力为0.1bar～0.5bar。根据本专利技术提供的一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，所述光电传感器套设有保护外壳。根据本专利技术提供的一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，所述信息处理显示子系统包括转换器、控制器和触控显示屏，所述转换器的输入端分别与所述检测带和所述光电传感器连接，所述转换器的输出端与所述控制器的输入端连接，所述控制器与所述触控显示屏连接。根据本专利技术提供的一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，所述信息处理显示子系统还包括报警器，所述报警器与所述控制器连接。本专利技术提供的用于半导体废气处理设备的安全监测系统，通过设置腐蚀监测子系统、堵塞监测子系统和信息处理显示子系统，所述腐蚀监测子系统包括检测带，所述检测带用以安装于所述处理设备的腔体的焊接部位；所述堵塞监测子系统包括光电传感器，所述光电传感器用以安装于所述处理设备的管道的易堵塞位置；所述信息处理显示子系统分别与所述检测带和所述光电传感器连接，实现检测带对腔体的焊接部位的腐蚀渗漏的定点实时监测，光电传感器对管道的易堵塞位置的定点实时监测，信息处理显示子系统采集、处理并显示监测信息，提高对腐蚀点和堵塞位置的精准监测判定，保证监测信息的实时性和准确性，提高维护效率和设备运行的安全性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术提供的用于半导体废气处理设备的安全监测系统中腐蚀监测子系统的安装结构示意图；图2是本专利技术提供的用于半导体废气处理设备的安全监测系统中检测带的结构示意图；图3是本专利技术提供的用于半导体废气处理设备的安全监测系统中检测带与信息处理显示子系统的连接结构框示图；图4是本专利技术提供的用于半导体废气处理设备的安全监测系统中堵塞监测子系统的安装结构示意图；图5是本专利技术提供的用于半导体废气处理设备的安全监测系统中堵塞监测子系统与信息处理显示子系统的连接结构框示图；附图标记：100：腔体；110：焊接部位；200：检测带；210：吸水棉层；220：漏液带层；230：热敏电阻层；240：保护层；300：信息处理显示子系统；310：转换器；320：控制器；330：触控显示屏；340：报警器；400：管道；410：管道穿孔；500：光电传感器；600：氮气储罐；610：输气管路；620：节流阀；700：压差传感器。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术中的附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。下面结合图1至图5描述本专利技术的一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，包括：腐蚀监测子系统，腐蚀监测子系统包括检测带200，检测带200用以安装于处理设备的腔体100的焊接部位110；堵塞监测子系统，堵塞监测子系统包括光电传感器500，光电传感器500用以安装于处理设备的管道400的易堵塞位置；信息处理显示子系统300，信息处理显示子系统300分别与检测带200和光电传感器500连接。可以理解的是，处理设备的腔体100内处理的气体往往是具有腐蚀性的气体，例如三氯化硼、三氟化硼、氢溴酸、氯气等气体，与水或氧结合会形成酸性物质。腐蚀监测子系统用以监测腔体100的温度和漏液情况。具体的，腐蚀监测子系统包括检测带200，检测带200安装于腔体100的易被腐蚀的焊接部位110，也是高温部位，实现对焊接部位110的温度和漏液情况的同时监测。堵塞监测子系统包括光电传感器500，光电传感器500用以安装于处理设备的管道400的易堵塞位置，若易堵塞位置发生堵塞，光电传感器500检测到反射的光线出现异常，则发出电信号。信息处理显示子系统300分别与检测带200和光电触感器连接，用以接收、处理并显示监测结果，方便工作人员获取故障位置的准确位置，提高维修效率，保证设备的安全运行。根据本专利技术提供一种的用于半导体废气处理设备的安全监测系统，检测带200包括依次层叠设置的吸水棉层210、漏液带层220、热敏电阻层230和保护层240，吸水棉层210与腔体100的焊接部位110连接，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，其特征在于，包括：/n腐蚀监测子系统，所述腐蚀监测子系统包括检测带，所述检测带用以安装于所述处理设备的腔体的焊接部位；/n堵塞监测子系统，所述堵塞监测子系统包括光电传感器，所述光电传感器用以安装于所述处理设备的管道的易堵塞位置；/n信息处理显示子系统，所述信息处理显示子系统分别与所述检测带和所述光电传感器连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体废气处理设备的安全监测系统，其特征在于，包括：
腐蚀监测子系统，所述腐蚀监测子系统包括检测带，所述检测带用以安装于所述处理设备的腔体的焊接部位；
堵塞监测子系统，所述堵塞监测子系统包括光电传感器，所述光电传感器用以安装于所述处理设备的管道的易堵塞位置；
信息处理显示子系统，所述信息处理显示子系统分别与所述检测带和所述光电传感器连接。


2.根据权利要求1所述的用于半导体废气处理设备的安全监测系统，其特征在于，所述检测带包括依次层叠设置的吸水棉层、漏液带层、热敏电阻层和保护层，所述吸水棉层与所述腔体的焊接部位连接，所述漏液带层设有用以监测所述腔体的渗漏的漏液带，所述热敏电阻层设有用以监测所述腔体的温度的热敏电阻；
所述漏液带和所述热敏电阻均与所述信息处理显示子系统连接。


3.根据权利要求2所述的用于半导体废气处理设备的安全监测系统，其特征在于，所述热敏电阻层设有多个热敏电阻，多个所述热敏电阻串联成带状结构。


4.根据权利要求1所述的用于半导体废气处理设备的安全监测系统，其特征在于，所述易堵塞位置包括管道入口、管道内旁路阀门的下游处、管道的弯管处和前水洗管路。

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【专利技术属性】
技术研发人员：王松，薛山，杨春水，张坤，黄一桐，张浩，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11