一种片篮专用夹爪机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种片篮专用夹爪机构，包括基础安装板、夹爪安装板；所述基础安装板中心设有机械手连接座，顶部两侧靠近边缘的位置对称设有伸缩组件；所述夹爪安装板安装于伸缩组件上；所述夹爪安装板上安装有与片篮对应的挂钩；所述基础安装板四角设有对射安装板，对射安装板上对应设有用于检测片篮的浮起的对射传感器。本实用新型专利技术所述的一种片篮专用夹爪机构，与六轴机械手配合使用，可实现任意位置搬运，降低了工人劳动强度，提高了硅片上料效率，避免人体与硅片物料接触，保证了人身安全，提高了工厂自动化、信息化、智能化水平。

【技术实现步骤摘要】
一种片篮专用夹爪机构
本技术属于硅片自动清洗、搬运
，尤其是涉及一种片篮专用夹爪机构。
技术介绍
近年来，在产业高速发展、政策利好以及技术进步等因素的共同助力下，国内芯片产业的成长势头迅猛，产业维持高速增长。目前，在硅片清洗生产工艺中，大多需要人工进行取料搬运。人工取料搬运硅片时，因为人体的接触，容易出现危险，人身安全系数低，对硅片材质本身可能造成污染，随着技术发展，要求硅片尺寸越来越大。人工取料增加了安全隐患，增加了人工数量，增大了生产成本。所以自动硅片清洗、搬运上料机的出现是很有必要的。市场上现有的硅片搬运上料机构，大部分都是简单的结构，只能简单的实现物料的夹取，且大部分的夹取装置，只能夹取平面机构，不能适应不同大小的硅片片篮夹取，由于使用环境的要求，大多数现有的硅片搬运上料机构，不具有旋转功能。简单的上料机构，不能系统的、不间断的形成硅片的上料生产。因此，在这种情况下，需要一种适用于多种尺寸硅片片篮的自动上料机，来解决以上产生的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在克服上述现有技术中存在的缺陷，提出一种片篮专用夹爪机构。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种片篮专用夹爪机构，包括基础安装板、夹爪安装板；所述基础安装板中心设有机械手连接座，顶部两侧靠近边缘的位置对称设有伸缩组件；所述夹爪安装板安装于伸缩组件上；所述夹爪安装板上安装有与片篮对应的挂钩；所述基础安装板四角设有对射安装板，对射安装板上对应设有用于检测片篮的浮起的对射传感器。所述伸缩组件采用但不限于气缸；所述夹爪安装板固定于气缸的活塞杆端部。所述夹爪安装板上与基础安装板端面对应的位置设有螺纹孔，螺纹孔内对应设有限制气缸活塞杆缩短长度的调整螺杆。所述夹爪安装板为异形结构件，上部为矩形，宽度小于基础安装板的宽度，上部与气缸的活塞杆端部固定；所述矩形的下部为一个梯形结构，梯形结构的底部两侧固定有挂钩块，挂钩块上设有挂钩。所述基础安装板一角还设有用于检测片篮有无的传感器。所述基础安装板上还设有若干用于增强机构整体强度的加强筋。相对于现有技术，本技术具有以下优势：与六轴机械手配合使用，可实现任意位置搬运。该设备降低了工人劳动强度，提高了硅片上料效率，避免人体与硅片物料接触，保证了人身安全，提高了工厂自动化、信息化、智能化水平。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术实施例所述的新型硅片搬运夹爪机构结构示意图；图2为本技术实施例所述的新型硅片搬运夹爪机构结构主视图；图3为本技术实施例所述的新型硅片搬运夹爪机构结构俯视图；图4为本技术实施例所述的新型硅片搬运夹爪机构结构左视图；图5为本技术实施例所述的基础安装板示意图；图6为本技术实施例所述的夹爪安装板示意图；图7为本技术实施例所述的对射安装板示意图图；图8为本技术实施例所述的传感器固定结构示意图；图9为本技术实施例所述的挂钩块和挂钩示意图。附图标记说明：1、基础安装板；2、加强筋；3、夹爪安装板；4、挂钩块；5、机械手连接座；6、传感器固定结构；7、片篮；8、自反射传感器；9、对射传感器；10、气缸；11、磁性开关；12、对射安装板；13、调速阀；14、调整螺杆。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。如图1-9所示，一种适用于多种尺寸硅片片篮的自动上料机构，与六轴机械手配合使用，可实现任意位置搬运。气缸10安装在基础安装板1上，左右对称各一个。夹爪安装板3安装在气缸10，挂钩块4安装在夹爪安装板3上。双导杆气缸10伸缩，带动夹爪安装板3左右移动，实现夹爪加紧和打开。调节调速阀13开口大小，可控制气缸伸缩速度。调整螺杆14安装在夹爪安装板3上，可实现适应多种尺寸硅片片篮的夹取搬运。气缸收缩后，调整螺杆14顶在基础安装板侧端面，防止收缩过量对片篮的损害。加强筋2与基础安装板1连接，增强机构整体强度。对射传感器9通过对射安装板12固定在基础安装板1上。对射传感器9用于检测片篮的浮起，防止硅片损坏。传感器8通过传感器固定结构6固定在基础安装板1上。用于检测片篮有无。机械手连接座与六轴机械手固定，实现任意位置搬运。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种片篮专用夹爪机构，其特征在于：包括基础安装板(1)、夹爪安装板(3)；/n所述基础安装板(1)中心设有机械手连接座(5)，顶部两侧靠近边缘的位置对称设有伸缩组件；所述夹爪安装板(3)安装于伸缩组件上；所述夹爪安装板(3)上安装有与片篮(7)对应的挂钩；/n所述基础安装板(1)四角设有对射安装板(12)，对射安装板(12)上对应设有用于检测片篮(7)的浮起的对射传感器(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种片篮专用夹爪机构，其特征在于：包括基础安装板(1)、夹爪安装板(3)；
所述基础安装板(1)中心设有机械手连接座(5)，顶部两侧靠近边缘的位置对称设有伸缩组件；所述夹爪安装板(3)安装于伸缩组件上；所述夹爪安装板(3)上安装有与片篮(7)对应的挂钩；
所述基础安装板(1)四角设有对射安装板(12)，对射安装板(12)上对应设有用于检测片篮(7)的浮起的对射传感器(9)。


2.根据权利要求1所述的一种片篮专用夹爪机构，其特征在于：所述伸缩组件采用但不限于气缸(10)；所述夹爪安装板(3)固定于气缸(10)的活塞杆端部。


3.根据权利要求2所述的一种片篮专用夹爪机构，其特征在于：所述夹爪安装板(3)上与基础安装板...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨亮，杨国建，杨骅，任志高，尹擎，耿名强，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：天津;12