一种液体静压导轨综合性能的动态测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种液体静压导轨综合性能的动态测量装置，该装置包括工作台、加载单元及测量单元，工作台可供液体静压导轨安装，加载单元可对液体静压导轨进行加载，模拟其实际工作过程中的加工状态；测量单元包括位移测量组件和两个光栅尺，位移测量组件用于对溜板的位移变化量进行检测，其中一个光栅尺用于反馈和控制液体静压导轨的位置，另一个光栅尺用于测量液体静压导轨的位置和速度。本实用新型专利技术不仅方便对液体静压导轨进行拆装更换，普适性较强，而且能够统一进行液体静压导轨实际工作状态下关键性能指标的动态测量，既可缩短测量周期，又能提高测量结果的参考价值。

【技术实现步骤摘要】
一种液体静压导轨综合性能的动态测量装置
本技术涉及超精密机床关键功能部件综合性能测试
，具体而言，涉及一种液体静压导轨综合性能的动态测量装置。
技术介绍
液体静压导轨作为超精密机床的重要功能部件，其具有刚性大、重复精度好、运行平稳的特点，主要应用于精密和超精密机床的进给运动和低速运动。液体静压导轨综合性能包含直线度、定位精度、刚度、温升、速度稳定性、振动等性能指标，其中，直线度、定位精度等指标是影响超精密机床工件加工质量的关键因素；速度稳定性直接表征液体静压导轨的运动状态，是判断低速下有无爬行现象的重要指标；静刚度是体现液体静压导轨承载能力的重要技术参数。而国内各厂家对液体静压导轨综合性能的上述几种关键指标采用分开单个测量的方式，没有在一台装置或一台设备上进行，导致测量周期过长，且多采用静态测量的方式进行，导致测量结果不够精确且误差较大，参考价值不高。申请号为201910417880.5的中国技术专利公开了一种液体静压导轨稳态性能实时测量装置及方法，该专利主要是实现液体静压导轨的直线运动误差、俯仰姿态、油腔压力、油膜温度的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体静压导轨综合性能的动态测量装置，其特征在于，包括：/n工作台，所述工作台设置有供液体静压导轨安装的安装部；/n加载单元，所述加载单元包括支撑架以及安装在所述支撑架上的加载组件，所述支撑架可滑动地安装在所述工作台上，且所述支撑架的滑动方向与所述液体静压导轨的溜板的滑动方向一致；所述支撑架具有可与所述溜板相连的连接部，所述加载组件可对所述液体静压导轨进行加载；/n测量单元，所述测量单元包括位移测量组件和两个光栅尺，所述位移测量组件包括由多个位移传感器组成的位移传感器组，所述位移传感器组通过支架安装于所述溜板，并用于对所述溜板的位移变化量进行检测，两个所述光栅尺分设于所述液体静压导轨的导...

【技术特征摘要】
1.一种液体静压导轨综合性能的动态测量装置，其特征在于，包括：
工作台，所述工作台设置有供液体静压导轨安装的安装部；
加载单元，所述加载单元包括支撑架以及安装在所述支撑架上的加载组件，所述支撑架可滑动地安装在所述工作台上，且所述支撑架的滑动方向与所述液体静压导轨的溜板的滑动方向一致；所述支撑架具有可与所述溜板相连的连接部，所述加载组件可对所述液体静压导轨进行加载；
测量单元，所述测量单元包括位移测量组件和两个光栅尺，所述位移测量组件包括由多个位移传感器组成的位移传感器组，所述位移传感器组通过支架安装于所述溜板，并用于对所述溜板的位移变化量进行检测，两个所述光栅尺分设于所述液体静压导轨的导轨两侧，且每根所述光栅尺均沿所述溜板的滑动方向布置，其中一个所述光栅尺用于反馈和控制所述液体静压导轨的位置，另一个所述光栅尺用于测量所述液体静压导轨的位置和速度。


2.根据权利要求1所述的液体静压导轨综合性能的动态测量装置，其特征在于，所述位移测量组件还包括基准尺，所述基准尺沿所述溜板的滑动方向布置于所述液体静压导轨的一侧，所述支架具有横跨于所述基准尺上方的延伸部，所述延伸部上设置所述位移传感器，并能通过对所述基准尺顶壁与侧壁的位移变化量进行检测，从而来得出所述溜板水平方向与垂直方向的位移变化量。


3.根据权利要求2所述的液体静压导轨综合性能的动态测量装置，其特征在于，所述基准尺有两组，两组所述基准尺对称安装于所述液体静压导轨两侧。


4.根据权利要求1所述的液体静压导轨综合性...

【专利技术属性】
技术研发人员：周怡帆，刘兴宝，米良，蔡绍鹏，夏仰球，滕强，杜坤，韩林，唐强，陈衡，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：新型
国别省市：四川;51