【技术实现步骤摘要】
一种半导体器件制备过程的监控系统及方法
本专利技术属于半导体制备领域，尤其涉及一种半导体器件制备过程的监控系统及方法。
技术介绍
半导体材料作为高科技材料，其应用广泛，其高端精细的制备过程对芯片的生产环境和设备要求是极高的，需要环境无尘，且有稳定的温湿度环境。因此，需要有专门针对其制备过程以及环境进行实时监控并反馈。
技术实现思路
本专利技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种半导体器件制备过程的监控系统及方法。本专利技术的的目的可以通过以下技术方案来实现：一种半导体器件制备过程的监控系统，包括控制主机、监控终端、云平台，所述控制主机分别与反馈模块、数据处理模块、数据存储模块连接；所述控制主机与监控终端连接，所述控制主机与云平台进行数据传输，所述监控终端设有视频模块。优选的，所述监控终端设有光敏传感器，温湿度传感器。优选的，所述控制主机连接报警模块。一种导体器件制备过程的监控方法，监控终端的视频模块监控制备环境，监控终端的光敏传感器和温湿度传感器监控环境中的光敏值以及温湿度，监控终端将数据传送到控制主机；监控终端采集到的数据通过控制主机将数据传送给数据处理模块，数据处理模块进行数据处理，处理后的数据经过控制主机将数据传送给反馈模块，反馈模块将数据的处理信息反馈给控制主机，所有的数据通过控制主机传送到数据存储模块进行数据存储；控制主机将数据传送到云平台；反馈模块反馈的数据出现问题则由报警模块进行报警。本专利技术的有益效果：本系统可...
【技术保护点】
1.一种半导体器件制备过程的监控系统，其特征在于：/n包括控制主机、监控终端、云平台，所述控制主机分别与反馈模块、数据处理模块、数据存储模块连接；所述控制主机与监控终端连接，所述控制主机与云平台进行数据传输，所述监控终端设有视频模块。/n
【技术特征摘要】
1.一种半导体器件制备过程的监控系统，其特征在于：
包括控制主机、监控终端、云平台，所述控制主机分别与反馈模块、数据处理模块、数据存储模块连接；所述控制主机与监控终端连接，所述控制主机与云平台进行数据传输，所述监控终端设有视频模块。
2.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于：所述监控终端设有光敏传感器，温湿度传感器。
3.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于：所述控制主机连接报警模块。
4.一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：金星勋，
申请(专利权)人：无锡芯享信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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