【技术实现步骤摘要】
一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置
[0001]本技术属于镀膜设备领域，具体涉及一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置。
技术介绍
[0002]现有电池片制造镀膜工艺，需将设备腔体内过盈的氮化硅结合物及混合气体通过真空泵排放至设备外侧的废气处理系统中进行处理。单是随着使用周期增加，尾排管路中氮化硅粉尘会逐渐凝结导致堵塞，不仅难以清理，而且还容易导致氮化硅回涌污染腔体及产品。针对排气管路易堵塞的问题，目前采用的方式是设备定期的停机维修清理，但是该方式需要长时间大规模停机处理，严重影响产品产出。
技术实现思路
[0003]针对上述问题，本技术提出一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置。
[0004]实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术通过以下技术方案实现：
[0005]一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，加装在镀膜设备反应腔尾部和尾排管路之间，包括侧壁开设有分支管的管道一、管道二、止回阀和电磁阀，所述管道一的主管的一端与所述的尾排管路相连，另一端通过所述的止回阀与设备反应腔尾部相连，所述的管道二用于通入...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：加装在镀膜设备反应腔尾部和尾排管路（4）之间，包括侧壁开设有分支管（301）的管道一（3）、管道二（8）、止回阀（2）和电磁阀（6），所述管道一（3）的主管（300）的一端与所述的尾排管路（4）相连，另一端通过所述的止回阀（2）与设备反应腔尾部相连，所述的管道二（8）用于通入N2气流，所述的管道二（8）通过所述的电磁阀（6）与所述的管道一（3）相通。2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：所述管道二（8）的管径小于所述管道一（3）的管径，所述管道一（3）的主管（300）的管径与所述尾排管路（4）的管径相匹配，所述管道一（3）的分支管（301）的管径与所述管道二（8）的管径相同。3.根据权利要求2所述的一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭庚森，
申请(专利权)人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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