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本实用新型公开了一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：加装在镀膜设备反应腔尾部和尾排管路之间，包括侧壁开设有分支管的管道一、管道二、止回阀和电磁阀，所述管道一的主管的一端与所述的尾排管路相连，另一端通过所述的止回阀与设备反应腔尾部...
该专利属于阜宁苏民绿色能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阜宁苏民绿色能源科技有限公司授权不得商用。

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