一种用于隔膜泵的吸排气组件制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于隔膜泵的吸排气组件，包括泵头机构和膜片机构。泵头机构包括泵头盖、进气阀盖、进气单向阀、出气阀盖、和出气单向阀，进气阀盖与泵头盖之间设置进气单向阀，出气阀盖与泵头盖之间设置出气单向阀，进气单向阀、出气单向阀均具有单向导通作用，保证了隔膜泵工作稳定，保证使用安全，延长隔膜泵的使用寿命。膜片机构包括夹紧盘、膜片和支撑盘，膜片包括特氟龙结构层、中间结构层和橡胶结构层，具有较高的结构强度，应用于高温、高腐蚀环境中，工作稳定性高，使用寿命长。泵头机构与膜片机构配合，可提供较大的吸排力，满足压力控制要求。压力控制要求。压力控制要求。

The utility model relates to a suction and exhaust component for a diaphragm pump

The utility model provides a suction and exhaust component for a diaphragm pump, which comprises a pump head mechanism and a diaphragm mechanism. The pump head mechanism includes a pump head cover, an inlet valve cover, an inlet check valve, an outlet valve cover, and an outlet check valve. An inlet check valve is set between the inlet valve cover and the pump head cover, and an outlet check valve is set between the outlet valve cover and the pump head cover. Both the inlet check valve and the outlet check valve have a one-way conduction function, which ensures the stable operation and safe use of the diaphragm pump, Prolong the service life of diaphragm pump. The diaphragm mechanism includes clamping plate, diaphragm and support plate. The diaphragm includes Teflon structure layer, intermediate structure layer and rubber structure layer. It has high structural strength and is applied in high temperature and high corrosion environment with high stability and long service life. Pump head mechanism and diaphragm mechanism can provide larger suction and discharge force to meet the pressure control requirements. Pressure control requirements. Pressure control requirements< br/>

【技术实现步骤摘要】
一种用于隔膜泵的吸排气组件


[0001]本技术涉及隔膜泵
，尤其涉及一种用于隔膜泵的吸排气组件。

技术介绍

[0002]在太阳能光伏组件制造领域，扩散炉常用于对硅片等产品的扩散工艺中，为了保证扩散效果满足工艺要求，需要保证扩散炉内气体压力平衡，目前常采用在扩散炉后端连接隔膜泵的方法来对扩散炉内的压力进行调节。在控制过程中，隔膜泵的作用是接受调节器或计算机的控制信号，通过隔膜片往复运动，改变被调介质的流量，使被调参数维持在所要求的范围内，从而达到生产过程的自动化。由于扩散炉内一般含有温度较高且具有腐蚀性的气体，因此，隔膜泵需要具有工作稳定、能够长时间工作、使用寿命长的特点。目前的隔膜泵性能还需改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于隔膜泵的吸排气组件，保证隔膜泵工作稳定，提供较大的吸排力，延长隔膜泵的使用寿命。
[0004]为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种用于隔膜泵的吸排气组件，包括泵头机构和膜片机构。
[0006]所述泵头机构包括泵头盖、进气阀盖、进气单向阀、出气阀盖、和出气单向阀，所述泵头盖的内侧朝向所述膜片机构，所述泵头盖的外侧设有第一安装槽、第二安装槽、内侧进气孔和内侧出气孔，所述内侧进气孔设于所述第一安装槽内且沿所述泵头盖的厚度方向贯通所述泵头盖，所述内侧出气孔设于所述第二安装槽内且沿所述泵头盖的厚度方向贯通所述泵头盖；所述进气阀盖安装于所述第一安装槽上，所述进气阀盖上设有外侧进气孔，所述进气单向阀设于所述进气阀盖与所述第一安装槽之间；所述出气阀盖安装于所述第二安装槽上，所述出气阀盖上设有外侧出气孔，所述出气单向阀设于所述出气阀盖与所述第二安装槽之间。
[0007]所述膜片机构包括夹紧盘、膜片和支撑盘，所述夹紧盘远离所述泵头机构的一侧设有定位安装结构，所述定位安装结构依次穿过所述膜片和所述支撑盘；所述膜片为盘型片状，所述膜片包括特氟龙结构层、中间结构层和橡胶结构层，所述特氟龙结构层处于朝向所述泵头机构的一侧。
[0008]优选地，所述泵头机构还包括进气接头和出气接头，所述进气接头与所述进气阀盖连接且与所述外侧进气孔连通，所述出气接头与所述出气阀盖连接且与所述外侧出气孔连通。
[0009]优选地，所述进气单向阀为片状，所述进气单向阀包括外环片、阀芯和连接片，所述阀芯为圆形，所述外环片与所述阀芯同圆心设置，所述连接片沿所述阀芯的径向连接于所述外环片与所述阀芯之间，所述外环片与所述阀芯之间形成第一通道；所述出气单向阀的结构与所述进气单向阀的结构相同。
[0010]优选地，所述第一安装槽为圆形槽，所述内侧进气孔为偏心孔，所述内侧进气孔的中心与所述第一安装槽对应的的圆心之间的距离大于所述阀芯的半径。
[0011]优选地，所述进气阀盖朝向所述第一安装槽的一面为圆形，所述外侧进气孔设于所述进气阀盖的中部，且所述外侧进气孔的截面积小于所述阀芯对应的圆形面积。
[0012]优选地，所述第二安装槽为圆形槽，所述内侧出气孔设于所述第二安装槽的中部，且所述内侧出气孔的截面积小于所述阀芯对应的圆形面积。
[0013]优选地，所述出气阀盖朝向所述第二安装槽的一面为圆形，所述外侧出气孔为偏心孔，且所述外侧出气孔的中心与所述出气阀盖对应的圆心之间的距离大于所述阀芯的半径。
[0014]优选地，所述泵头机构还包括压盘、埋头螺栓和盘形弹簧，所述泵头盖的外侧部设有安装柱，所述安装柱设有内螺纹，所述压盘通过所述埋头螺栓与所述安装柱连接，所述进气阀盖、所述出气阀盖夹在所述压盘与所述泵头盖之间；所述压盘上设有第一导向孔和第二导向孔，所述进气阀盖朝向所述压盘的一侧设有第一导向柱，所述出气阀盖朝向所述压盘的一侧设有第二导向柱，所述盘形弹簧套设于所述第一导向柱、所述第二导向柱上，且所述第一导向柱穿过所述第一导向孔，所述第二导向柱穿过所述第二导向孔。
[0015]优选地，所述定位安装结构包括定位块和定位柱，所述定位块与所述夹紧盘的内侧连接，所述定位柱与所述定位块连接；所述膜片的中部设有第一定位孔，所述支撑盘的中部设有第二定位孔，所述第一定位孔、所述第二定位孔的结构与所述定位块、所述定位柱的结构相匹配。
[0016]优选地，所述夹紧盘远离所述泵头机构的一侧、所述支撑盘远离所述泵头机构的一侧设有加强筋或加强环。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果为：本技术的用于隔膜泵的吸排气组件中，进气阀盖与泵头盖之间设置进气单向阀，吸气过程中，从进气接头进入的气体只能单向依次经过外侧进气孔、进气单向阀、内侧进气孔进入泵头盖的内部；出气阀盖与泵头盖之间设置出气单向阀，排气过程中，泵头盖内部的气体只能单向依次经过内侧出气孔、出气单向阀、外侧出气孔后从出气接头排出；从而保证了隔膜泵工作稳定，避免腐蚀性气体溢出，保证使用安全，延长隔膜泵的使用寿命。泵头机构与膜片机构配合，可提供较大的吸排力，满足压力控制要求。膜片包括特氟龙结构层、中间结构层和橡胶结构层，具有较高的结构强度，应用于高温、高腐蚀环境中，工作稳定性高，使用寿命长。
附图说明
[0018]图1为本技术的一种用于隔膜泵的吸排气组件的剖视图；
[0019]图2为本技术的一种用于隔膜泵的吸排气组件中泵头机构的爆炸图；
[0020]图3为本技术的一种用于隔膜泵的吸排气组件中膜片机构的爆炸图；
[0021]图4为本技术的一种用于隔膜泵的吸排气组件中进气单向阀的结构示意图；
[0022]图5为本技术的一种用于隔膜泵的吸排气组件中泵头盖的外侧部结构示意图；
[0023]图6为本技术的一种用于隔膜泵的吸排气组件中泵头盖与进气单向阀、出气单向阀的配合结构示意图；
[0024]图7为本技术的一种用于隔膜泵的吸排气组件中进气阀盖与出气阀盖的内侧结构示意图；
[0025]图8为本技术的一种用于隔膜泵的吸排气组件中进气阀盖与进气单向阀、出气阀盖与出气单向阀的配合结构示意图。
[0026]图中，100
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泵头机构，10
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泵头盖，101
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第一安装槽，102
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第二安装槽，103
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内侧进气孔，104
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内侧出气孔，105
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安装柱，20
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进气阀盖，201
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外侧进气孔，202
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外侧出气孔，30
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进气单向阀，301
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外环片，302
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阀芯，303
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连接片，304
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第一通道，40
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进气接头，50
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出气阀盖，501
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外侧出气孔，502
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第二导向柱，60
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出气单向阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于隔膜泵的吸排气组件，其特征在于：包括泵头机构和膜片机构；所述泵头机构包括泵头盖、进气阀盖、进气单向阀、出气阀盖、和出气单向阀，所述泵头盖的内侧朝向所述膜片机构，所述泵头盖的外侧设有第一安装槽、第二安装槽、内侧进气孔和内侧出气孔，所述内侧进气孔设于所述第一安装槽内且沿所述泵头盖的厚度方向贯通所述泵头盖，所述内侧出气孔设于所述第二安装槽内且沿所述泵头盖的厚度方向贯通所述泵头盖；所述进气阀盖安装于所述第一安装槽上，所述进气阀盖上设有外侧进气孔，所述进气单向阀设于所述进气阀盖与所述第一安装槽之间；所述出气阀盖安装于所述第二安装槽上，所述出气阀盖上设有外侧出气孔，所述出气单向阀设于所述出气阀盖与所述第二安装槽之间；所述膜片机构包括夹紧盘、膜片和支撑盘，所述夹紧盘远离所述泵头机构的一侧设有定位安装结构，所述定位安装结构依次穿过所述膜片和所述支撑盘；所述膜片为盘型片状，所述膜片包括特氟龙结构层、中间结构层和橡胶结构层，所述特氟龙结构层处于朝向所述泵头机构的一侧。2.如权利要求1所述的用于隔膜泵的吸排气组件，其特征在于：所述泵头机构还包括进气接头和出气接头，所述进气接头与所述进气阀盖连接且与所述外侧进气孔连通，所述出气接头与所述出气阀盖连接且与所述外侧出气孔连通。3.如权利要求1所述的用于隔膜泵的吸排气组件，其特征在于：所述进气单向阀为片状，所述进气单向阀包括外环片、阀芯和连接片，所述阀芯为圆形，所述外环片与所述阀芯同圆心设置，所述连接片沿所述阀芯的径向连接于所述外环片与所述阀芯之间，所述外环片与所述阀芯之间形成第一通道；所述出气单向阀的结构与所述进气单向阀的结构相同。4.如权利要求3所述的用于隔膜泵的吸排气组件，其特征在于：所述第一安装槽为圆形槽，所述内侧进气孔为偏心孔，所述内侧进气孔的中心与所述第一安装槽对应的圆心之间的距离大于所述阀芯的半径。5.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：李铁，李杨，
申请(专利权)人：江苏沃宏装备有限公司，
类型：新型
国别省市：