一种应用于低压扩散炉的石英炉管制造技术

本实用新型专利技术提供一种应用于低压扩散炉的石英炉管，包括炉管、炉门、进气管和排气管，炉管具有相对的炉门部和炉尾部，炉门设于炉管的炉门部且与炉门部密封接触；进气管从炉管的炉尾部伸入炉管内，进气管位于炉管内部的部分包括主管路以及设于主管路两侧的多根支管路，每侧的多根支管路沿主管路的长度方向间隔均匀地排布，每根支管路呈弧形，每根支管路的弧形轮廓与炉管的内壁轮廓相匹配；排气管从炉管的炉尾部伸入炉管内。本实用新型专利技术对石英炉管的进气管与排气管进行优化设计，能够保证炉管内扩散工艺气体均匀分布，提升扩散效果；排气管采用倾斜排气方式，能够避免排气积液现象，提高扩散炉使用安全性和可靠性。扩散炉使用安全性和可靠性。扩散炉使用安全性和可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于低压扩散炉的石英炉管


[0001]本技术涉及太阳能电池制造设备领域，尤其涉及一种应用于低压扩散炉的石英炉管。

技术介绍

[0002]扩散炉主要应用于半导体器件及大规模集成电路的制造过程，通过在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。在太阳能电池制造过程中，扩散炉用于热扩散工艺，即在热环境下将元素磷、硼扩散入硅片，制备形成太阳能电池的PN结。
[0003]扩散炉的炉管作为扩散反应的场所，具有很重要的作用，但是，目前扩散炉的炉管中，进气管的结构及位置设计不够合理，导致炉管内扩散工艺气体分布不均匀，影响了扩散效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种应用于低压扩散炉的石英炉管，保证炉管内扩散工艺气体均匀分布，提升扩散效果。
[0005]为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种应用于低压扩散炉的石英炉管，包括炉管、炉门、进气管和排气管，所述炉管具有相对的炉门部和炉尾部，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于低压扩散炉的石英炉管，其特征在于：包括炉管、炉门、进气管和排气管，所述炉管具有相对的炉门部和炉尾部，所述炉门设于所述炉管的炉门部且与所述炉门部密封接触；所述进气管从所述炉管的炉尾部伸入所述炉管内，所述进气管位于所述炉管内部的部分包括主管路以及设于所述主管路两侧的多根支管路，所述主管路平行于所述炉管的中轴线，每侧的多根支管路沿所述主管路的长度方向间隔均匀地排布，每根支管路呈弧形，每根支管路的弧形轮廓与所述炉管的内壁轮廓相匹配，每根支管路与所述主管路连通；所述排气管从所述炉管的炉尾部伸入所述炉管内。2.如权利要求1所述的应用于低压扩散炉的石英炉管，其特征在于：所述排气管倾斜设置，所述排气管的外端低于所述排气管的内端。3.如权利要求1所述的应用于低压扩散炉的石英炉管，其特征在于：所述排气管的倾斜角度为1
...

【专利技术属性】
技术研发人员：李铁，李杨，
申请(专利权)人：江苏沃宏装备有限公司，
类型：新型
国别省市：