下载一种应用于低压扩散炉的石英炉管的技术资料

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本实用新型提供一种应用于低压扩散炉的石英炉管,包括炉管、炉门、进气管和排气管,炉管具有相对的炉门部和炉尾部,炉门设于炉管的炉门部且与炉门部密封接触;进气管从炉管的炉尾部伸入炉管内,进气管位于炉管内部的部分包括主管路以及设于主管路两侧的多根支...
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