【技术实现步骤摘要】
一种基于超材料的可调谐太赫兹探测器
本专利技术涉及元表面频率调控和太赫兹波调谐技术，具体涉及一种三层的基于超材料的可调谐太赫兹探测器。
技术介绍
超材料作为一种人工电磁结构，其频谱性质主要由结构单元之间的电磁响应以及结构之间的相互作用决定，可以提供在天然材料或复合材料中无法找到的电磁性能。在过去的十年中，超材料作为人工合成材料由于奇异电磁特性而引起了人们的广泛关注。超材料起始研究阶段聚焦于体材料的电磁特性调控，由于制作困难和电磁损耗大，逐渐转向于把超材料作为一个器件关注其整体的电磁特性。元表面是二维平面人工电磁材料，由一组具有亚波长的周期单元或非周期单元组成，体积小巧，便于制作，广泛应用于雷达散射截面还原，偏振调控和表面等离子体耦合等方面。近年来，元表面迎来了理论和实践研究的黄金阶段，超材料在太赫兹调控领域也展现出了广阔的应用潜力。太赫兹波段介于光学和微波之间，频率范围为0.1-10THz，被称为“太赫兹间隙”。结合光学和电子学两个领域的研究方法和优点，在太赫兹波段开发出了全新的技术和器件。相比于其它电磁辐射，太赫兹...
【技术保护点】
1.一种基于超材料的可调谐太赫兹探测器，其特征在于：包括第一硅基衬底和第二硅基衬底，所述第一硅基衬底的正面设置天线耦合的六氮五铌薄膜微测热辐射计，背面沉积金层；所述第二硅基衬底背面设置周期排布的口字型超材料阵列，与第一硅基衬底正面相对设置形成空气腔，通过调节空气腔的长度，实现太赫兹探测器谐振频率的调节。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于超材料的可调谐太赫兹探测器，其特征在于：包括第一硅基衬底和第二硅基衬底，所述第一硅基衬底的正面设置天线耦合的六氮五铌薄膜微测热辐射计，背面沉积金层；所述第二硅基衬底背面设置周期排布的口字型超材料阵列，与第一硅基衬底正面相对设置形成空气腔，通过调节空气腔的长度，实现太赫兹探测器谐振频率的调节。
2.根据权利要求1所述的基于超材料的可调谐太赫兹探测器，其特征在于：所述第一硅基衬底和第二硅基衬底选用高阻硅。
3.根据权利要求1所述的基于超材料的可调谐太赫兹探测器，其特征在于：通过微纳加工将金层和口字型超材料沉积在硅基衬底上。
4.根据权利要求1所述的基于超材料的可调谐太赫兹探测器，其特征在于：所述六氮五铌薄膜微测热辐射计由薄膜空气微桥、金电极和硅基衬底组成，...
【专利技术属性】
技术研发人员：涂学凑，邵智豪，陈健，苏润丰，贾小氢，赵清源，张蜡宝，康琳，吴培亨，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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