下载一种基于超材料的可调谐太赫兹探测器的技术资料

文档序号:29249233

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本发明公开了一种基于超材料的可调谐太赫兹探测器,包括第一硅基衬底和第二硅基衬底,所述第一硅基衬底的正面设置天线耦合的六氮五铌薄膜微测热辐射计,背面沉积金层;所述第二硅基衬底背面设置周期排布的口字型超材料阵列,与第一硅基衬底正面相对形成空气腔...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。

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