清洁热处理装置制造方法及图纸

一种清洁热处理装置，将上层部(13)、中层部(14)和下层部(15)分离，在中层部设置处理部(30)，在从导入部(31)将处理用气体引导至载置于旋转工作台(32)并旋转的被处理物(x)并对其进行处理之后，将该气体从导出部(35)引导至上层部或下层部，另一方面，在上层部和下层部中的任一方设置利用热风用风扇(23)对被加热装置(21)加热后的气体进行送风的加热部(20)，在另一方设置利用冷风用风扇(44)对被冷却装置(43)冷却后的气体进行送风的冷却部(40)，并且在加热部和冷却部中的任一方设置过滤器(F)。

【技术实现步骤摘要】
清洁热处理装置
本专利技术涉及在清洁的气氛中加热或冷却被处理物的清洁热处理装置。特别地，本专利技术以下这一点上具有特征：通过旋转工作台使被处理物旋转，从而能够高效且均匀地加热被处理物，并能够高效且均匀地冷却被加热后的被处理物，并且能够减小热处理装置的设置面积。
技术介绍
以往，在半导体设备、液晶显示设备等的制造工序等中，为了在清洁的气氛中加热或冷却被处理物而使用清洁热处理装置。在此，作为这样的清洁热处理装置，以往已知有专利文献1～3所示的装置。而且，在这些专利文献1～3所示的装置中，提出了如下的方案：利用送风装置将由加热器等加热后的气体引导至过滤器并进行净化，使以上述方式加热并净化后的气体经过放置有被处理物的处理室内而循环，从而对所述被处理物进行加热处理，并且，在专利文献3所示的装置中提出如下的方案：除了以上述方式对被处理物进行加热处理之外，还利用送风装置将由冷却器等冷却后的气体引导至过滤器并进行净化，使以上述方式冷却并净化后的气体经过放置有被处理物的处理室内而循环，从而对所述被处理物进行冷却处理。在此，在上述专利文献1～3所示的任一方清洁热处理装置中，由于仅将被处理物设置在处理室内，因此，如上所述地加热并净化后的气体或冷却并净化后的气体仅从一定的方向吹到设置在处理室内的被处理物，因此，在气体吹到被处理物的上游侧和下游侧时被处理物的温度不同，从而存在无法高效且均匀地加热或冷却被处理物的热处理的问题。此外，在所述专利文献1～3所示的任一方清洁热处理装置中，由于将处理被处理物的处理室和过滤器横向排列地配置，因此，存在设置这些部件的面积变大，设置清洁热处理装置的设置面积变大的问题。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2004-163014号公报专利文献2：日本专利特开2005-156089号公报专利文献1：日本特许第6140264号公报
技术实现思路
本专利技术的技术问题在于解决在清洁的气氛中加热或冷却被处理物的清洁热处理装置中的如上所述的问题。特别地，在本专利技术的清洁热处理装置中，其技术问题在于，通过旋转工作台使被处理物旋转，从而能够高效且均匀地加热被处理物，并能够高效且均匀地冷却被加热后的被处理物，并且能够减小热处理装置的设置面积。在本专利技术的清洁热处理装置中，为了解决上述那样的技术问题，提出一种清洁热处理部，具有上层部、中层部和下层部，在所述中层部设置处理部，将处理用气体从导入部引导至载置于旋转工作台并旋转的被处理物并对其进行处理，并将引导至被处理物后的气体从导出部引导至所述上层部或所述下层部，另一方面，在所述上层部和所述下层部中的任一方设置利用热风用风扇对被加热装置加热后的气体进行送风的加热部，在所述上层部和所述下层部中的另一方设置利用冷风用风扇对被冷却装置冷却后的气体进行送风的冷却部，在使所述加热部和所述冷却部中的任一方运转时，使另一方停止，在所述加热部和所述冷却部中的任一方设置过滤器，将被所述加热装置加热后的气体和被所述冷却装置冷却后的气体中的任一方选择性地引导至过滤器并将其净化，并且将被过滤器净化后的气体引导至所述中层部的处理部的导入部。而且，如本专利技术的清洁热处理装置那样，在中层部的处理部设置载置被处理物并使其旋转的旋转工作台，一边使载置于所述旋转工作台的被处理物旋转，一边利用热风用风扇将被加热部的加热装置加热后的气体引导至过滤器并将其净化，在将以上述方式加热并净化后的气体如上所述经过导入部吹到旋转的被处理物并对其加热时，加热并净化后的气体被均匀地吹到旋转的被处理物，被处理物被均匀地加热，或者，利用冷风用风扇将被冷却部的冷却装置冷却后的气体引导至过滤器并将其净化，并使以上述方式冷却并净化后的气体如上所述经过导入部并吹到旋转的被处理物并对其进行冷却时，冷却并净化后的气体被均匀地吹到旋转的被处理物，被处理物被均匀地冷却。另外，如本专利技术的清洁热处理装置那样，在位于设置有处理部的所述中层部的上下的上层部和下层部中的任一方设置过滤器，所述过滤器对被加热装置加热后的气体或被冷却装置冷却后的气体进行净化，在将被所述过滤器净化后的气体引导至所述处理部的导入部时，与将处理被处理物的处理部和过滤器横向排列配置的情况相比，能够减小设置这些部件的面积，并能够减小清洁热处理装置的设置面积。在此，在本专利技术的清洁热处理装置中，在所述上层部设置利用热风用风扇对被加热装置加热后的气体进行送风的所述加热部，并且设置所述过滤器，另一方面，在所述下层部设置利用冷风用风扇对被冷却装置冷却后的气体进行送风的所述冷却部，并设置从所述冷却部将被冷风用风扇冷却后的气体引导至所述上层部的冷风引导管，能够在所述加热部运转时，利用所述热风用风扇将被所述加热装置加热后的气体引导至所述过滤器，通过所述过滤器将加热的气体净化并将其引导至所述处理部的导入部，另一方面，能够在所述冷却部运转时，利用所述冷风用风扇将被所述冷却装置冷却后的气体从所述冷风引导管引导至设置于所述上层部的所述过滤器，并通过所述过滤器将冷却后的气体净化并将其引导至所述处理部的导入部。在此，在本专利技术的清洁热处理装置中，能够在所述处理部的所述导入部设置分散导入构件，所述分散导入构件具有将处理用气体分散引导至载置于旋转工作台并旋转的被处理物的多个孔，并且能够在对引导至被处理物后的气体进行引导的导出部设置分散导出构件，所述分散导出构件使引导至被处理物后的气体分散并将其引导至导出部内。而且，若在设置于处理部的所述分散导入构件和所述分散导出构件中的至少一个的与旋转工作台相对的部分设置呈圆弧状的凹部，则能够进一步减小将被处理物载置于旋转工作台并使其旋转的处理部的面积，从而能够减小设置清洁热处理装置的设置面积。另外，在本专利技术的清洁热处理装置中，能够将所述处理部中的使旋转工作台旋转的旋转装置设置于处理部下的下层部内。这样一来，能够防止如将旋转装置设置在处理部内的情况那样，在处理部内配置利用旋转装置旋转的旋转工作台的位置变成问题、或者在对被处理物进行加热处理或冷却处理的情况下，能够防止旋转装置被加热或被冷却而发生故障。在本专利技术的清洁热处理装置中，如上所述，在中层部的处理部设置载置被处理物并使其旋转的旋转工作台，一边使载置于所述旋转工作台的被处理物旋转，一边利用热风用风扇将被加热部的加热装置加热后的气体引导至过滤器并将其净化，并且将以上述方式加热并净化后的气体如上所述经过导入部吹到旋转的被处理物并对其进行加热，因此，加热并净化后的气体被均匀地吹到旋转的被处理物，被处理物被均匀地加热，或者，利用冷风用风扇将被冷却部的冷却装置冷却后的气体引导至过滤器而对其进行净化，并使以上述方式冷却并净化后的气体如上所述经过导入部吹到旋转的被处理物并对其进行冷却，因此，冷却并净化后的气体被均匀地吹到旋转的被处理物，被处理物被均匀地冷却。另外，在本专利技术的清洁热处理装置中，如上所述，在位于设置有处理部的中层部的上下的上层部和下层部中的任一方设置过滤器，所述过滤器对被加热装置加热后的气体或被冷却装置冷却后的气体进行净化，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种清洁热处理装置，具有上层部、中层部和下层部，其特征在于，/n在所述中层部设置处理部，将处理用气体从导入部引导至载置于旋转工作台并旋转的被处理物并对其进行处理，并将引导至被处理物后的气体从导出部引导至所述上层部或所述下层部，另一方面，在所述上层部和所述下层部中的任一方设置利用热风用风扇对被加热装置加热后的气体进行送风的加热部，在所述上层部和所述下层部中的另一方设置利用冷风用风扇对被冷却装置冷却后的气体进行送风的冷却部，在使所述加热部和所述冷却部中的任一方运转时，使另一方停止，在所述加热部和所述冷却部中的任一方设置过滤器，将被所述加热装置加热后的气体和被所述冷却装置冷却后的气体中的任一方选择性地引导至过滤器并将其净化，并且将被过滤器净化后的气体引导至所述中层部的处理部的导入部。/n

【技术特征摘要】
20200110 JP 2020-0030521.一种清洁热处理装置，具有上层部、中层部和下层部，其特征在于，
在所述中层部设置处理部，将处理用气体从导入部引导至载置于旋转工作台并旋转的被处理物并对其进行处理，并将引导至被处理物后的气体从导出部引导至所述上层部或所述下层部，另一方面，在所述上层部和所述下层部中的任一方设置利用热风用风扇对被加热装置加热后的气体进行送风的加热部，在所述上层部和所述下层部中的另一方设置利用冷风用风扇对被冷却装置冷却后的气体进行送风的冷却部，在使所述加热部和所述冷却部中的任一方运转时，使另一方停止，在所述加热部和所述冷却部中的任一方设置过滤器，将被所述加热装置加热后的气体和被所述冷却装置冷却后的气体中的任一方选择性地引导至过滤器并将其净化，并且将被过滤器净化后的气体引导至所述中层部的处理部的导入部。


2.如权利要求1所述的清洁热处理装置，其特征在于，
在所述上层部设置利用热风用风扇对被加热装置加热后的气体进行送风的所述加热部，并且设置所述过滤器，另一方面，在所述下层部设置利用冷风用风扇对被冷却装置冷却后的气体进行送风的所述冷却部，并设置从所述冷却部将被冷风用...

【专利技术属性】
技术研发人员：新庄成昭，西尾勤，
申请(专利权)人：中外炉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP