一种仿生柔性悬臂梁阵列传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种仿生柔性悬臂梁阵列传感器及其制备方法，仿生柔性悬臂梁阵列传感器包括：基底；若干个柔性悬臂梁结构，设置于所述基底，所述柔性悬臂梁结构上设置有至少两个不同尺寸的仿生变尺寸凹槽组，所述仿生变尺寸凹槽组上设置有导电层；其中，所述仿生变尺寸凹槽组基于蝎子缝感受器结构仿生制备而成；当所述柔性悬臂梁结构弯曲时，所述仿生变尺寸凹槽组产生形变以改变所述导电层的电阻。由于所述仿生变尺寸凹槽组基于蝎子缝感受器结构仿生制备而成，仿生变尺寸凹槽组具有较高的灵敏度。而且不同尺寸的仿生变尺寸凹槽组在形变时对导电层的电阻的影响不同，可以实现对不同的力高灵敏感知的功能，使柔性悬臂梁兼具高灵敏度和大量程。度和大量程。度和大量程。

【技术实现步骤摘要】
一种仿生柔性悬臂梁阵列传感器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及传感器制造
，尤其涉及的是一种仿生柔性悬臂梁阵列传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]柔性悬臂梁相较于刚性悬臂梁，具有更强的适应性和更高的灵敏度，在实际工程中具有独特的优势，现在已逐渐成为微电子系统(MEMS)、航天航空、机械工业等各个领域重要的一部分，具有广泛的应用前景。柔性悬臂梁的作用机理是柔性悬臂梁在外界压强的影响下产生弯曲，通过检测柔性悬臂梁的弯曲程度感知柔性悬臂梁受力值。
[0003]柔性悬臂梁检测灵敏度主要取决于柔性材料的弹性模量，弹性模量越小，灵敏度越高，但过小的弹性模量会使柔性悬臂梁过早到达形变极限，导致柔性悬臂梁量程过小，而过大的弹性模量会降低柔性悬臂梁的灵敏度，因此，柔性悬臂梁的高灵敏度和大量程往往不能同时满足。
[0004]因此，现有技术还有待于改进和发展。

技术实现思路

[0005]本专利技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种仿生柔性悬臂梁阵列传感器及其制备方法，旨在解决现有技术中柔性悬臂梁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种仿生柔性悬臂梁阵列传感器，其特征在于，包括：基底；若干个柔性悬臂梁结构，设置于所述基底，所述柔性悬臂梁结构上设置有至少两个不同尺寸的仿生变尺寸凹槽组，所述仿生变尺寸凹槽组上设置有导电层；其中，所述仿生变尺寸凹槽组基于蝎子缝感受器结构仿生制备而成；当所述柔性悬臂梁结构弯曲时，所述仿生变尺寸凹槽组产生形变以改变所述导电层的电阻。2.根据权利要求1所述的仿生柔性悬臂梁阵列传感器，其特征在于，所有所述柔性悬臂梁结构的顶部共面。3.根据权利要求1所述的仿生柔性悬臂梁阵列传感器，其特征在于，所述仿生变尺寸凹槽组中各凹槽的宽度方向平行于所述柔性悬臂梁结构的长度方向；和/或，所述若干个柔性悬臂梁结构均匀分布或不均匀分布；和/或，所有所述仿生变尺寸凹槽组中凹槽的开口朝向同一方向。4.根据权利要求1所述的仿生柔性悬臂梁阵列传感器，其特征在于，所述基底为硅基底；和/或，所述柔性悬臂梁结构为PDMS柔性悬臂梁结构。5.根据权利要求1所述的仿生柔性悬臂梁阵列传感器，其特征在于，相邻两个所述柔性悬臂梁结构之间的间隔为150
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500微米；和/或，所述柔性悬臂梁结构的长度为700～2000微米，所述柔性悬臂梁结构的宽度为100～150微米，所述柔性悬臂梁结构的厚度为20～50微米；和/或，所述仿生变尺寸凹槽组中凹槽的深度为5～15微米，所述仿生变尺寸凹槽组中凹槽的宽度为3～30微米；和/或，所述基底的长度为1500～5000微米，所述基底的宽度为15...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘富，赵放，侯涛，康冰，刘云，赵宇锋，王跃桥，刘美赫，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：