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本发明公开了一种仿生柔性悬臂梁阵列传感器及其制备方法，仿生柔性悬臂梁阵列传感器包括：基底；若干个柔性悬臂梁结构，设置于所述基底，所述柔性悬臂梁结构上设置有至少两个不同尺寸的仿生变尺寸凹槽组，所述仿生变尺寸凹槽组上设置有导电层；其中，所述仿生...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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