平面度测试仪制造技术

本发明专利技术实施例提供一种平面度测试仪，包括：箱体，所述箱体的顶端安装有治具，所述治具用于放置测试物体，所述箱体的顶端端面开设有与所述治具位置相对的测试口；运动机构，运动机构，设置在所述箱体内，所述运动机构上安装有视觉定位单元和检测单元，所述运动机构用于调整视觉定位单元和检测单元的位置；所述检测单元用于通过所述测试口获取治具上的测试物体的表面平面度；所述视觉定位单元用于通过所述测试口获取治具上的测试物体的不同检测区域的图像。本发明专利技术具有操作方便快捷且测试效率和测试精度高，能够实现不同模组芯片的平面度测量的优点。测量的优点。测量的优点。

【技术实现步骤摘要】
平面度测试仪


[0001]本专利技术涉及平面度检测设备
，具体地涉及一种平面度测试仪。

技术介绍

[0002]随着生产技术的发展，尖端科技对小型电子原件(如模组芯片)生产的技术要求越来越高，其中，对模组芯片的平面度要求也更加的严格，对于制造出的模组芯片，其公差控制要求在0.12mm范围内，超出该范围的即判定为不良品。模组芯片生产过程中的平面度测量，传统的测量工具是用塞规进行检测或者用三坐标测量仪进行测量，整个测量周期较长，测试效率较低，精度一致性差，同时测量结果一般是离线数据，不能满足现代化生产的需求，工作量大，降低了检测效率，并且，不同的模组芯片检测点位不同，在检测不同模组芯片时，需要对检测点位进行调整，但现有技术中，选取检测点位的方式较为复杂，亟待改进。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例的目的是提供一种平面度测试仪，该平面度测试仪具有操作方便快捷且测试效率和测试精度高，能够实现不同模组芯片的平面的测量的优点。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术提供一种平面度测试仪，包括：r/>[0005]箱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面度测试仪，其特征在于，包括：箱体(1)，所述箱体(1)的顶端(11)安装有治具(2)，所述治具(2)用于放置测试物体，所述箱体(1)的顶端(11)端面开设有与所述治具(2)位置相对的测试口(12)；运动机构(3)，设置在所述箱体(1)内，所述运动机构(3)上安装有视觉定位单元(4)和检测单元(5)，所述运动机构(3)用于调整视觉定位单元(4)和检测单元(5)的位置；所述检测单元(5)用于通过所述测试口(12)获取治具(2)上的测试物体的表面平面度；所述视觉定位单元(4)用于通过所述测试口(12)获取治具(2)上的测试物体的不同检测区域的图像。2.根据权利要求1所述的平面度测试仪，其特征在于，所述运动机构(3)为两轴直线运动机构，包括X轴直线模组(31)和Y轴直线模组(32)，所述X轴直线模组(31)和Y轴直线模组(32)的运动方向相互垂直。3.根据权利要求1所述的平面度测试仪，其特征在于，所述检测单元(5)为激光位移传感器，所述检测单元(5)通过向测试物体的表面发射激光束和接收经所述被测表面反射的反射光来获取测试物体的表面平面度。4.根据权利要求1所述的平面度测试仪，其特征在于，所述视觉定位单元(4)包括：底板(41)，设置在所述运动机构(3)上；所述底板(41)的端面上设置有成像装置(42)和光线反射镜(44)，所述光线反射镜(44)通过底板(41)上的夹板(43)固定，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄焕钦，林榕，许华，郑广平，
申请(专利权)人：广东九联科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：