【技术实现步骤摘要】
一种晶圆划片机定位装置
[0001]本技术涉及晶圆定位夹具设备领域，特别是一种晶圆划片机定位装置。
技术介绍
[0002]目前市场上的晶圆划片机，从划片工艺上分为刀轮机和激光划片机，晶圆片的正面是晶粒和晶粒沟槽，背面有做对位蚀刻线槽和不做对位蚀刻线槽两种，划片就是要在晶粒的背面划，同时保证背面的激光划线要延晶片正面的晶粒沟槽中心方向划，目前市场上的晶圆激光划片机，定位方式有定位背面有做对位蚀刻线槽的，也有定位背面不做对位蚀刻线槽，从晶片正面晶粒沟槽定位，但是现有的定位板定位不方便调节，因此，专利技术一种全自动晶圆划片机定位装置来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
[0003]针对上述情况，为克服现有技术之缺陷，本技术提供一种晶圆划片机定位装置，有效的解决了现阶段晶圆加工过程中定位夹具不方便调节的问题。
[0004]其解决问题的技术方案包括一个轴线竖直的圆柱形基座，基座的外圆面上螺纹，基座上端圆周均布有多个安装槽，每个安装槽内设有一个沿基座径向布置的导向杆，每个导向杆上套装有一个压簧，每个安装槽内安装有一个可沿导向杆滑动的楔形滑块，楔形滑块的上端固定有一个伸出基座上端面的定位柱，基座的上端同轴旋装有一个调整座，基座上旋装有一个螺纹套，螺纹套上圆周均布有多个与安装槽一一对应的压紧单元，每个压紧单元包括一个轴线与基座平行的支杆，每个支杆的一端转动安装在螺纹套上，另一端固定有一个上端上内倾斜并与对应滑块的斜面接触的压杆。
[0005]本技术构思新颖，结构巧妙，实用性强，有效的解决了现阶段晶圆加工...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆划片机定位装置，包括一个轴线竖直的圆柱形基座（1），其特征在于，所述基座（1）的外圆面上螺纹，基座（1）上端圆周均布有多个安装槽（2），每个安装槽（2）内设有一个沿基座（1）径向布置的导向杆（3），每个导向杆（3）上套装有一个压簧（4），每个安装槽（2）内安装有一个可沿导向杆（3）滑动的楔形滑块（5），楔形滑块（5）的上端固定有一个伸出基座（1）上端面的定位柱（6），基座（1）的上端同轴旋装有一个调整座（7），基座（1）上旋装有一个螺纹套（8），螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：马喜军，李亚林，杨亚东，
申请(专利权)人：郑州琦升精密制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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