一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮制造技术

本实用新型专利技术涉及芯片生产技术领域，特别公开了一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮。它包括两个竖立的框架，两个框架的上端通过连接板连接，连接板上设有吊杆，两个框架的下端通过两根横向连接杆连接，两根横向连接杆相对的一侧设有卡槽。本实用新型专利技术设置了若干卡槽，相对的两个卡槽之间可以放一个晶圆片，这样就可以放置若干个晶圆片，提高了检测效率；另外，把横向连接杆设置成与框架下端之间滑动连接，可以调节两根横向连接杆之间的距离，以适应不同规格晶圆片的需要；本实用新型专利技术还设置了弧形槽和花键，使用时将花键与设备上的花键槽配合，这样可以对旋转过程中的框架起到稳定作用，有利于晶圆片的腐蚀试验。的腐蚀试验。的腐蚀试验。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮


[0001]本技术涉及芯片生产
，特别涉及一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮。

技术介绍

[0002]碳化硅晶片也叫晶圆片，它是半导体集成和封装的基础材料，需求日益旺盛，但晶圆片KOH腐蚀实验，目前市场尚无成型的设备，一般为自行搭建的简易装置，只能进行简单实验，存在诸多缺陷，控温不稳定，温场不均匀，KOH腐蚀效果不好，易发生安全事故等；为此申请人专利技术了一种KOH腐蚀试验设备，它将晶圆片放到圆形的镍篮（就是吊篮）内，然后将镍篮放到装有腐蚀液体的坩埚内，通过加热、旋转等一系列辅助动作，进行腐蚀试验。在上述设备中还存在如下缺陷：1它的镍篮实际上就是一个盘子，每次只能放置一个晶圆片进行腐蚀实验，因此效率很低。2镍篮仅靠一个吊杆吊着，缺乏稳定措施，在旋转过程中容易发生扭曲，影响实验效果。

技术实现思路

[0003]本技术为了弥补现有技术的缺陷，提供了一种同时对多块晶圆片进行腐蚀试验、从而提高生产效率的碳化硅晶片腐蚀用吊篮。
[0004]本技术是通过如下技术方案实现的：
[0005]一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮，其特征是，包括两个竖立的框架，两个框架的上端通过连接板连接，所述连接板上设有吊杆，两个框架的下端之间通过两根横向连接杆连接，两根横向连接杆相对的一侧设有若干卡槽。
[0006]所述横向连接杆与框架下端之间滑动连接，并配套有紧固螺栓。
[0007]所述框架的上下端分别外接一个圆形框，每个圆形框滑动连接两个弧形槽，每一侧的上下两个弧形槽之间通过纵向连接杆固定连接；所述纵向连接杆上设有花键。
[0008]位于上方的两个所述弧形槽分别开有盲孔，两个盲孔之间通过活动杆连接，所述活动杆两端分别设有能插进盲孔的插柱。
[0009]所述圆形框上设有环形滑槽，所述弧形槽内壁设有滑块。
[0010]本技术的有益效果是：
[0011]本技术设置了若干卡槽，相对的两个卡槽之间可以放一个晶圆片，这样就可以放置若干个晶圆片，也就是说一次可以对若干个晶圆片进行腐蚀试验，提高了检测效率；另外，把横向连接杆设置成与框架下端之间滑动连接，可以调节两根横向连接杆之间的距离，以适应不同规格晶圆片的需要；本技术还设置了弧形槽和花键，使用时将花键与设备上的花键槽配合，这样可以对旋转过程中的框架起到稳定作用，有利于晶圆片的腐蚀试验。
附图说明
[0012]下面结合附图对本技术作进一步的说明：
[0013]图1为本技术的主视结构示意图；
[0014]图2为本技术的右视结构示意图；
[0015]图3为本技术的俯视结构示意图；
[0016]图4为弧形槽的俯视结构示意图；
[0017]图5为图4中A
‑
A向的截面结构示意图
[0018]图6为图2中B
‑
B向的截面结构示意图；
[0019]图7为活动杆的主视结构示意图。
[0020]图中，1框架,101横撑，2连接板，3吊杆，4圆形框，401环形滑槽，5弧形槽，501滑块，502盲孔，6活动杆，601插柱，7纵向连接杆，701花键，8横向连接杆，9圆环或挂钩，10紧固螺栓，11卡槽。
具体实施方式
[0021]附图为本技术的具体实施例。如图1至图7所示，该种碳化硅晶片腐蚀用吊篮，包括左右两个竖立的框架1，两个框架1上端之间通过一块连接板2连接，连接板2上安装一根吊杆3；两个框架1下端的两根横撑101之间有两根横向连接杆8，这两根横向连接杆8相对的一侧分别开有若干卡槽11，并且一一对应，横向连接杆8的两端为圆环或挂钩9，通过圆环或挂钩9在横撑101上前后滑动，圆环或挂钩9配套有紧固螺栓10，用于固定横向连接杆8的位置，通过调节两根横向连接杆8之间的距离可以适应不同大小的晶圆片。
[0022]两个框架1上端的四个顶点外接一个圆形框4，两个框架1下端的四个顶点外接一个圆形框4，然后在上下圆形框4的左右两侧分别有一个弧形槽5；其中，上端的两个弧形槽5上分别开有盲孔502，两个盲孔502之见通过活动杆6连接，活动杆6的两端分别折弯或焊接能插进盲孔502的插柱601，将插柱601插入盲孔502后，能固定两个弧形槽5的相对位置。
[0023]另外，在圆形框4上有一圈环形滑槽401，可以在一个圆形框4上设置，也可以两个圆形框4都设置，然后在弧形槽5内壁上安装滑块501，滑块501可以是一块长一点的带弧度的，也可以用两块比较小的，这样比较稳当。
[0024]每一侧的上下两个弧形槽5通过纵向连接杆7连接，在纵向连接杆7上安装一个花键701。
[0025]使用过程如下：吊杆3安装到整个设备的旋转电机的输出端上，调整好两根横向连接杆8之间的间距，将晶圆片放到卡槽11之间，活动杆6安装好，然后就可以将吊篮下落到坩埚中了，下落过程中花键701插入设备的花键槽内，这样弧形槽5的位置就被固定，旋转电机启动时，吊篮就随着旋转电机转动了。
[0026]除说明书所述技术特征外，其余技术特征均为本领域技术人员已知技术。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮，其特征是，包括两个竖立的框架（1），两个框架（1）的上端通过连接板（2）连接，所述连接板（2）上设有吊杆（3），两个框架（1）的下端之间通过两根横向连接杆（8）连接，两根横向连接杆（8）相对的一侧设有若干卡槽（11）。2.根据权利要求1所述的碳化硅晶片腐蚀用吊篮，其特征是，所述横向连接杆（8）与框架（1）下端之间滑动连接，并配套有紧固螺栓（10）。3.根据权利要求1所述的碳化硅晶片腐蚀用吊篮，其特征是，所述框架（1）的上下端分别外接一个圆形框（4），每个圆形框（4）...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔晓杰，李欢，
申请(专利权)人：山东晶升电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：