非对称晶圆清洗花篮制造技术

本发明专利技术公开了一种非对称晶圆清洗花篮，包括清洗花篮主体，所述清洗花篮主体上设多个晶圆限位槽，所述晶圆限位槽的尺寸与晶圆的尺寸匹配，便于晶圆插入晶圆限位槽中，所述清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面与清洗花篮主体的底面呈一定夹角，清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面为倾斜结构，所述晶圆限位槽底部为V形且不封闭。本发明专利技术提供的非对称晶圆清洗花篮，表面设置成倾斜状，液体在花篮表面无法停留，不会形成残留的液滴，提高安全性能。提高安全性能。提高安全性能。

【技术实现步骤摘要】
非对称晶圆清洗花篮


[0001]本专利技术涉及一种非对称晶圆清洗花篮。

技术介绍

[0002]晶圆通常需要用多种危险化学品(强酸、强碱、强氧化剂或强腐蚀性化学品)来进行清洗，清洗时放置在清洗花篮内，清洗花篮的制成材料多采用聚四氟乙烯，聚四氟乙烯是一种表面自清洁疏水材料，水溶液在疏水性材料的表面易形成一个很大的接触角进而结成水滴。因此，残留在花篮平整表面的残液易结成水滴，在多溶液清洗晶圆的制程中，此类水滴残液在花篮提拉及移动切换的过程中，易从疏水花篮表面滴落。一方面，残液可能滴落在实验台上，进而被操作人员误碰造成生理伤害。另一方面，残液可能随花篮进入下一个溶液，影响溶液的浓度，甚至一定程度上影响其化学性质。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种非对称晶圆清洗花篮，可以放置清洗液在花篮表面形成残留的液滴。
[0004]本专利技术采用的技术方案为：非对称晶圆清洗花篮，包括清洗花篮主体，所述清洗花篮主体上设多个晶圆限位槽，所述晶圆限位槽的尺寸与晶圆的尺寸匹配，便于晶圆插入晶圆限位槽中，其特征在于：所述清洗花篮主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非对称晶圆清洗花篮，包括清洗花篮主体，所述清洗花篮主体上设多个晶圆限位槽，所述晶圆限位槽的尺寸与晶圆的尺寸匹配，便于晶圆插入晶圆限位槽中，其特征在于：所述清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面与清洗花篮主体的底面呈一定夹角，角度范围为10
°‑
65
°
，清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面为倾斜结构，所述晶圆限位槽底部为V形且不封闭。2.根据权利要求1所述的非对称晶圆清洗花篮，其特征在于：还包括提手，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王勇，谢自力，黄愉，潘巍巍，陈敦军，
申请(专利权)人：南京集芯光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：