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本发明公开了一种非对称晶圆清洗花篮，包括清洗花篮主体，所述清洗花篮主体上设多个晶圆限位槽，所述晶圆限位槽的尺寸与晶圆的尺寸匹配，便于晶圆插入晶圆限位槽中，所述清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面与清洗花篮主体的底面呈一定夹角，清洗花篮主体设有晶圆...
该专利属于南京集芯光电技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京集芯光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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