一种探针机构和可变温真空探针平台制造技术

本发明专利技术公开了一种探针机构，包括探针组件，探针组件包括固定部、探针及第一弹性部，探针沿自身轴向可滑动连接于固定部，第一弹性部连接于固定部和探针，用于给探针相对固定部的移动提供弹性阻尼。本发明专利技术能有效避免探针划伤待测样品。

【技术实现步骤摘要】
一种探针机构和可变温真空探针平台
本专利技术涉及材料电学性能测量
，尤其涉及一种探针机构和可变温真空探针平台。
技术介绍
新材料研发的过程中，需要对新材料的方阻、电阻率、电阻温度系数等电学性能参数进行测量。目前的市场上的四探针测试仪，通过探针对待检测的材料进行测试时，探针逐渐接近待检测的材料，但是由于探针与驱动探针移动的机构刚性连接，当探针抵接于待检测的材料后如果受力继续移动，会导致驱使探针移动的力直接作用于待检测的材料，容易刮伤待检测的材料，设计不合理。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种探针机构和可变温真空探针平台，解决现有技术中探针容易刮伤待检测的材料的技术问题。为达到上述技术目的，本专利技术的技术方案提供一种探针机构，包括：探针组件，包括固定部、探针及第一弹性部，所述探针沿自身轴向可滑动连接于所述固定部，所述第一弹性部连接于所述固定部和探针，用于给所述探针相对所述固定部的移动提供弹性阻尼。进一步的，所述探针机构还包括三维移动组件，所述三维移动组件连接于所述固定部，用于驱动所述固定部、探针及第一弹性部沿三维方向移动。进一步的，所述探针机构还包括连接组件，所述连接组件包括连接块，所述连接块连接于所述三维移动组件，所述固定部可拆卸连接于所述连接块。本专利技术还涉及一种可变温真空探针平台，其包括多个上述的探针机构进一步的，所述可变温真空探针平台还包括真空机构、样品支撑机构及加热制冷机构，所述真空机构包括真空筒，所述真空筒内设有真空腔，所述样品支撑机构包括样品支撑台，所述样品支撑台内置于所述真空腔，多个所述探针机构沿所述真空筒的周向间隔设置，所述加热制冷机构包括制冷组件和加热组件，所述制冷组件的制冷端内置于所述真空腔并连接于所述样品支撑台，用于对所述样品支撑台上的样品进行制冷，所述加热组件内置于所述真空腔，用于对所述样品支撑台上的样品进行加热。进一步的，所述样品支撑台远离所述制冷组件的制冷端的一侧开设有容纳槽，所述加热组件包括电热丝，所述电热丝内置于所述容纳槽。进一步的，所述真空筒的端部开口，所述真空机构还包括盖板和透光板，所述盖板相对所述真空筒的开口设置并连接于所述真空筒，所述盖板开设有观察孔，所述透光板相对所述观察孔设置并可拆卸连接于所述盖板。进一步的，所述可变温真空探针平台还包括显微镜机构，所述显微镜机构包括显微镜，所述显微镜相对所述透光板设置。进一步的，所述真空筒还开设有与所述真空腔相连通的多个固定孔，所述探针机构与所述固定孔一一对应设置，所述探针内置于所述真空腔，所述连接组件还包括过渡块和连接杆，所述过渡块连接于所述连接块，所述连接杆的一端连接于所述过渡块、另一端沿轴向开设有阶梯孔，所述阶梯孔贯穿所述连接杆且其小径段相对大径段靠近所述连接块贯穿所述连接杆，所述固定部呈阶梯状，所述固定部的小径段可滑动插设于所述阶梯孔的大径段。进一步的，所述连接杆的另一端的周向的外壁开设有至少一个第一限位孔，所述第一限位孔与所述阶梯孔相连通，所述固定部相对所述第一限位孔开设有第二限位孔，所述连接组件还包括顶针、第二弹性部及限位部，所述顶针呈阶梯状，所述顶针的小径段可滑动插设于所述阶梯孔的小径段，所述顶针的大径段可滑动内置于所述阶梯孔的大径段，所述第二弹性部内置于所述阶梯孔的大径段，所述第二弹性部的一端连接于所述阶梯孔的大径段的底部内壁、另一端连接于所述顶针的大径段，用于推动所述顶针的大径段抵接于所述固定部的小径段，所述限位部插设于所述第一限位孔和第二限位孔，用于限制所述固定部相对所述连接杆的滑动。与现有技术相比，本专利技术的有益效果包括：通过设置第一弹性部，当探针抵接于待检测的样品后继续移动时，探针相对固定部滑动并挤压第一弹性部，避免探针直接刚性接触待检测的样品，避免探针划伤待检测的样品，当探针与待检测的样品分离时，探针在第一弹性部的作用下复位。附图说明图1是本专利技术所述的可变温真空探针平台的结构示意图；图2是本专利技术所述的可变温真空探针平台另一视角的结构示意图；图3是本专利技术所述的可变温真空探针平台隐藏显微镜机构后的结构示意图；图4是本专利技术所述的可变温真空探针平台中真空机构、显微镜机构、样品支撑机构、探针机构及加热制冷机构结构示意图；图5是本专利技术所述的可变温真空探针平台中真空机构、显微镜机构、样品支撑机构、探针机构及加热制冷机构隐藏盖板后的结构示意图；图6是本专利技术所述的可变温真空探针平台中真空机构、显微镜机构、样品支撑机构、探针机构及加热制冷机构另一视角的结构示意图；图7是沿图6中A—A线的剖视图；图8是图7中B处的局部放大示意图；图9是图7中C处的局部放大示意图；图10是本专利技术所述的可变温真空探针平台中样品支撑机构、热制冷机构及待测的样品的结构示意图；图11是本专利技术所述的可变温真空探针平台中三维移动组件的结构示意图；图12是本专利技术所述的可变温真空探针平台中三维移动组件另一视角的结构示意图；图13是沿图12中D—D线的剖视图；图14是图13中E处的局部放大示意图；图15是本专利技术所述的可变温真空探针平台中连接部、固定部及连接螺钉的剖视图；图16是本专利技术所述的可变温真空探针平台中样品支撑机构、加热组件及样品的爆炸图。具体实施方式下面结合附图来具体描述本专利技术的优选实施例，其中，附图构成本申请一部分，并与本专利技术的实施例一起用于阐释本专利技术的原理，并非用于限定本专利技术的范围。本专利技术提供了一种可变温真空探针平台，如图1和图2所示，包括固定机构1、真空机构2、显微镜机构3、样品支撑机构4、多个探针机构5及加热制冷机构6，固定机构1包括第一壳体11、第二壳体12、两个U型支架13，第一壳体11的内部空心且顶部开口，第二壳体12的内部空心且底部开口，第二壳体12的顶部开设有第一安装孔，第二壳体12的开口端相对第一壳体11的开口端设置并可拆卸连接于第一壳体11，两个U型支架13分别设置于第一壳体11的两侧并相互平行设置，U型支架13的两端均连接于第一壳体11。真空机构2包括真空筒21，真空筒21内置于第一壳体11和第二壳体12围成的空腔内，真空筒21内设有真空腔。于本实施例中，真空筒21的周向的外壁开设有连通孔，真空机构2还包括管接头22，管接头22相对连通孔设置并连接于真空筒21。于本实施例中，真空筒21的内部空心且两端开口，真空筒21的一开口端相对第一安装孔设置，真空机构2还包括盖板23和第一密封圈24，盖板23设置于第二壳体12的上方并相对真空筒21的开口设置，盖板23通过螺钉可拆卸连接于真空筒21，第一密封圈24设置于盖板23与真空筒21之间并分别抵接于盖板23和真空筒21。于本实施例中，盖板23开设有观察孔，真空机构2还包括透光板25，透光板25相对观察孔设置并可拆卸连接于盖板23。通过设置观察孔，便于观察探针512与待测的样品7之间的距离，便于观察本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针机构，其特征在于，包括：/n探针组件，包括固定部、探针及第一弹性部，所述探针沿自身轴向可滑动连接于所述固定部，所述第一弹性部连接于所述固定部和探针，用于给所述探针相对所述固定部的移动提供弹性阻尼。/n

【技术特征摘要】
1.一种探针机构，其特征在于，包括：
探针组件，包括固定部、探针及第一弹性部，所述探针沿自身轴向可滑动连接于所述固定部，所述第一弹性部连接于所述固定部和探针，用于给所述探针相对所述固定部的移动提供弹性阻尼。


2.根据权利要求1所述的探针机构，其特征在于，所述探针机构还包括三维移动组件，所述三维移动组件连接于所述固定部，用于驱动所述固定部、探针及第一弹性部沿三维方向移动。


3.根据权利要求2所述的探针机构，其特征在于，所述探针机构还包括连接组件，所述连接组件包括连接块，所述连接块连接于所述三维移动组件，所述固定部可拆卸连接于所述连接块。


4.一种可变温真空探针平台，其特征在于，包括多个权利要求1至3中任一项所述的探针机构。


5.根据权利要求4所述的可变温真空探针平台，其特征在于，所述可变温真空探针平台还包括真空机构、样品支撑机构及加热制冷机构，所述真空机构包括真空筒，所述真空筒内设有真空腔，所述样品支撑机构包括样品支撑台，所述样品支撑台内置于所述真空腔，多个所述探针机构沿所述真空筒的周向间隔设置，所述加热制冷机构包括制冷组件和加热组件，所述制冷组件的制冷端内置于所述真空腔并连接于所述样品支撑台，用于对所述样品支撑台上的样品进行制冷，所述加热组件内置于所述真空腔，用于对所述样品支撑台上的样品进行加热。


6.根据权利要求5所述的可变温真空探针平台，其特征在于，所述样品支撑台远离所述制冷组件的制冷端的一侧开设有容纳槽，所述加热组件包括电热丝，所述电热丝内置于所述容纳槽。


7.根据权利要求5所述的可变温真空探针平台，其特征在于，所述真空筒的端部开...

【专利技术属性】
技术研发人员：方辉，
申请(专利权)人：武汉佰力博科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42