【技术实现步骤摘要】
一种保护多层压电陶瓷片表面电极的烧结方法
本专利技术涉及压电陶瓷片的制备领域，尤其涉及多层压电陶瓷片的制备工艺。
技术介绍
近年来，多层压电器件已广泛应用于半导体、汽车、智能手机以及航空航天等领域，例如汽车发动机用压电喷油嘴及智能手机用压电屏幕发声器。压电陶瓷属于多层压电器件的核心元件。银电极作为多层压电陶瓷片的内外电极导电和粘接的关键部件。表面电极通常在产品烧结完成后，通过丝网印刷的方式印刷上去，这种方式称为后涂电极方式。后涂电极方式主要存在以下问题：1）适用于表面全涂电极图案，在制作非全涂电极图案，且图案形状较为复杂时，由于压电陶瓷烧结后会产生一定量收缩，各个产品存在收缩不均匀性，在确定丝网印刷图案尺寸时比较困难；2）后涂电极方式的银浆会选择比内电极烧结温度低的银浆，与内电极的导电性存在差异；3）后涂电极需要增加丝网印刷、银浆烘干、银电极烧结等工艺步骤，成本和制作周期增加。（一）解决的技术问题本专利选用烧结温度950℃的银浆做为内外电极，在丝网印刷单层陶瓷片电极时将表面电极同时丝印，多层压电陶瓷片...
【技术保护点】
1.一种保护多层压电陶瓷片表面电极的烧结方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：/n步骤一、埋烧陶瓷粉制备；/n步骤二、将配好比例的压电陶瓷粉铺在干净的承烧板上，用氧化铝薄板压实并保持平整；/n步骤三、将多层压电陶瓷片放在上述铺好的压电陶瓷粉上；/n步骤四、将配好比例的压电陶瓷粉铺在多层压电陶瓷片上，用氧化铝薄板压实并保持平整；/n步骤五、将氧化铝薄板压在上述铺好的压电陶瓷粉上；/n步骤六、在烧结炉中按照既定烧结温度曲线对压电陶瓷片进行烧结。/n
【技术特征摘要】
1.一种保护多层压电陶瓷片表面电极的烧结方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：
步骤一、埋烧陶瓷粉制备；
步骤二、将配好比例的压电陶瓷粉铺在干净的承烧板上，用氧化铝薄板压实并保持平整；
步骤三、将多层压电陶瓷片放在上述铺好的压电陶瓷粉上；
步骤四、将配好比例的压电陶瓷粉铺在多层压电陶瓷片上，用氧化铝薄板压实并保持平整；
步骤五、将氧化铝薄板压在上述铺好的压电陶瓷粉上；
步骤六、在烧结炉中按照既定烧结温度曲线对压电陶瓷片进行烧结。
2.根据权利要求1保护多层压电陶瓷片表面电极的烧结方法，其特征在于：所述压电陶瓷粉的制备，粉...
【专利技术属性】
技术研发人员：段连威，彭大松，万宇，韩帅帅，李文文，
申请(专利权)人：中科传感技术青岛研究院，
类型：发明
国别省市：山东;37
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