【技术实现步骤摘要】
一种保护多层压电陶瓷片表面电极的烧结方法
本专利技术涉及压电陶瓷片的制备领域,尤其涉及多层压电陶瓷片的制备工艺。
技术介绍
近年来,多层压电器件已广泛应用于半导体、汽车、智能手机以及航空航天等领域,例如汽车发动机用压电喷油嘴及智能手机用压电屏幕发声器。压电陶瓷属于多层压电器件的核心元件。银电极作为多层压电陶瓷片的内外电极导电和粘接的关键部件。表面电极通常在产品烧结完成后,通过丝网印刷的方式印刷上去,这种方式称为后涂电极方式。后涂电极方式主要存在以下问题:1)适用于表面全涂电极图案,在制作非全涂电极图案,且图案形状较为复杂时,由于压电陶瓷烧结后会产生一定量收缩,各个产品存在收缩不均匀性,在确定丝网印刷图案尺寸时比较困难;2)后涂电极方式的银浆会选择比内电极烧结温度低的银浆,与内电极的导电性存在差异;3)后涂电极需要增加丝网印刷、银浆烘干、银电极烧结等工艺步骤,成本和制作周期增加。(一)解决的技术问题本专利选用烧结温度950℃的银浆做为内外电极,在丝网印刷单层陶瓷片电极时将表面电极同时丝印,多层压电陶瓷片通过埋粉烧结和压烧方式一次烧结而成,避免了后涂电极工艺,减少工艺流程降低制作周期和制作成本。(二)技术方案为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案予以实现:一种保护多层压电陶瓷片表面电极的烧结方法,具体包括以下步骤:步骤一、埋烧陶瓷粉制备,粉体是由不同粒径的压电陶瓷粉混料制成,并在烧结炉中烧结5次后使用;步骤二、将配好比例的压电陶瓷粉铺在干净的承烧板上,用氧化铝薄 ...
【技术保护点】
1.一种保护多层压电陶瓷片表面电极的烧结方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:/n步骤一、埋烧陶瓷粉制备;/n步骤二、将配好比例的压电陶瓷粉铺在干净的承烧板上,用氧化铝薄板压实并保持平整;/n步骤三、将多层压电陶瓷片放在上述铺好的压电陶瓷粉上;/n步骤四、将配好比例的压电陶瓷粉铺在多层压电陶瓷片上,用氧化铝薄板压实并保持平整;/n步骤五、将氧化铝薄板压在上述铺好的压电陶瓷粉上;/n步骤六、在烧结炉中按照既定烧结温度曲线对压电陶瓷片进行烧结。/n
【技术特征摘要】
1.一种保护多层压电陶瓷片表面电极的烧结方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:
步骤一、埋烧陶瓷粉制备;
步骤二、将配好比例的压电陶瓷粉铺在干净的承烧板上,用氧化铝薄板压实并保持平整;
步骤三、将多层压电陶瓷片放在上述铺好的压电陶瓷粉上;
步骤四、将配好比例的压电陶瓷粉铺在多层压电陶瓷片上,用氧化铝薄板压实并保持平整;
步骤五、将氧化铝薄板压在上述铺好的压电陶瓷粉上;
步骤六、在烧结炉中按照既定烧结温度曲线对压电陶瓷片进行烧结。
2.根据权利要求1保护多层压电陶瓷片表面电极的烧结方法,其特征在于:所述压电陶瓷粉的制备,粉...
【专利技术属性】
技术研发人员:段连威,彭大松,万宇,韩帅帅,李文文,
申请(专利权)人:中科传感技术青岛研究院,
类型:发明
国别省市:山东;37
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