基板结构的制造方法、基板结构及显示面板技术

本发明专利技术实施例提供一种基板结构的制造方法、基板结构及显示面板，该基板结构的制造方法包括以下步骤：提供基材；在基材上方形成金属层；金属层包括第一区域和第二区域，至少对第一区域的金属层进行图案化处理；在金属层上形成保护层，保护层覆盖在金属层上；对保护层进行图案化处理，以去除第二区域的保护层，露出第二区域的金属层；对第二区域的金属层进行最终的图案化处理。本发明专利技术实施例提供的基板结构的制造方法、基板结构及显示面板中，由于对金属层进行两次蚀刻，在对保护层进行显影时第二区域的金属层保持原有图形，其边缘不会被显影液接触，避免了在此处形成底切,且无需另外增设绝缘层，节约成本的同时可以使整个显示面板的厚度较薄。

【技术实现步骤摘要】
基板结构的制造方法、基板结构及显示面板
本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种基板结构的制造方法、基板结构及显示面板。
技术介绍
在液晶显示
中，液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay，LCD)因其具有外型轻薄、耗电少以及无辐射污染等优点，目前已被广泛应用于电视、笔记本电脑、移动电话、个人数字助理等产品中。液晶面板的结构包括阵列基板(arraysubstrate)、彩色滤光基材(colorfiltersubstrate)及形成于阵列基板与彩色滤光基材之间的液晶层。其中，阵列基板上需要利用光掩模步骤的光学光刻程序来形成。图1a至图1f为一种的基板结构的制造方法各步骤下的结构示意图；图1g为图1f中I处的局部放大图。请参图1a至图1g，一种基板结构的制造方法中，包括以下步骤：提供基材91；在基材91上形成金属层93，金属层93包括铝层932和钼层934，且铝层932设置在钼层934和基材91之间；对金属层93进行蚀刻，使金属层93图案化；在蚀刻后的金属层93上形成保护层95；对保护层95进行蚀刻，露出部分金本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板结构的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：/n提供基材(11)；/n在所述基材(11)上方形成金属层(13)；/n所述金属层(13)包括第一区域和第二区域，至少对所述第一区域的所述金属层(13)进行图案化处理；/n在所述金属层(13)上形成保护层(15)，所述保护层(15)覆盖在所述金属层(13)上；/n对所述保护层(15)进行图案化处理，以去除所述第二区域的所述保护层(15)，露出所述第二区域的所述金属层(13)；/n对所述第二区域的所述金属层(13)进行最终的图案化处理。/n

【技术特征摘要】
1.一种基板结构的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供基材(11)；
在所述基材(11)上方形成金属层(13)；
所述金属层(13)包括第一区域和第二区域，至少对所述第一区域的所述金属层(13)进行图案化处理；
在所述金属层(13)上形成保护层(15)，所述保护层(15)覆盖在所述金属层(13)上；
对所述保护层(15)进行图案化处理，以去除所述第二区域的所述保护层(15)，露出所述第二区域的所述金属层(13)；
对所述第二区域的所述金属层(13)进行最终的图案化处理。


2.如权利要求1所述的基板结构的制造方法，其特征在于，所述基板结构的制造方法还包括：
在所述保护层(15)上形成电极层(17)，所述电极层(17)覆盖于所述第一区域的所述保护层(15)上以及所述第二区域的所述金属层(13)上。


3.如权利要求1所述的基板结构的制造方法，其特征在于，对所述第一区域的金属层(13)进行图案化处理的同时，还包括对所述第二区域的所述金属层(13)进行图案化处理，在所述第二区域形成预处理图案；在对所述第二区域的所述金属层(13)进行最终的图案化处理的过程中，包括对所述预处理图案进行图案化处理，得到目标图案。


4.如权利要求1所述的基板结构的制造方法，其特征在于，对所述第一区域的所述金属层(13)进行图案化处理的同时，还包括对所述第二区域的所述金属层(13)进行图案化处理，在所述第二区域形成辅助图案。


5.如权利要求1所述的基板结构的制造方法，其特征在于，所述金属层(13)至少包括第一金属层(132)和第二金属层(134)，所述第一金属层(132)位于所述基材(11)和所述第二金属层(134)之间，所述第一金属层(132)和所述第二金属层(134)的材料不同。


6.如权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张庭瑜，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32