【技术实现步骤摘要】
一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置
本专利技术涉及非金属晶体
,更具体地说,本专利技术涉及一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置。
技术介绍
硅材料是现代信息社会的基础,它不仅是光伏发电等产业的主要功能材料,也是半导体产业,特别是电力电子器件的基础材料。区熔法(FZ)生产单晶硅是区别于直拉炉(CZ)的一种新型的单晶生长方法,它利用高频感应加热线圈将高纯度的多晶料局部融化,熔区依靠熔硅的表面张力和加热线圈提供的磁托浮力而处于悬浮状态,然后从熔区的下方利用籽晶将熔硅拉制成单晶。由于没有坩埚污染,区熔炉生长的单晶硅纯度高,均匀性好,低微缺陷,其优良的电学性能非常适合制作高反压、大电流、大功率的电力电子器件。一般区熔单晶生产的过程是按照如下的顺序进行的:炉室清理——多晶料装炉——晶体生长——停炉冷却——取出单晶。其中炉室清理、装料等准备工作时间占整个生产周期比例较高,造成生产效率不高。同时由于区熔法生产单晶纯度、均匀性要求较高,且区熔生长法熔区呈悬浮状态,多晶硅料微小的震动都可能打破熔区的平衡状态。但是现有的固定装置无法根 ...
【技术保护点】
1.一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,包括:/n弯形圆盘(3),所述弯形圆盘(3)上设于若干弯形孔(13);/n固定柱(11),所述固定柱(11)设于所述弯形圆盘(3)顶端;/n直形圆盘(2),所述直形圆盘(2)套接于所述固定柱(11)上,所述直形圆盘(2)上设有若干直形孔(10);/n夹紧杆(4),所述夹紧杆(4)底端设有夹紧盘(5),所述夹紧杆(4)顶端依次穿过所述弯形孔(13)和直形孔(10);/n固定环(6),所述固定环固定套接于所述夹紧杆(4)上,所述固定环位于所述弯形圆盘(3)和夹紧盘(5)之间;/n固定螺母(7),所述固定螺母(7)套接于所述 ...
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,包括:
弯形圆盘(3),所述弯形圆盘(3)上设于若干弯形孔(13);
固定柱(11),所述固定柱(11)设于所述弯形圆盘(3)顶端;
直形圆盘(2),所述直形圆盘(2)套接于所述固定柱(11)上,所述直形圆盘(2)上设有若干直形孔(10);
夹紧杆(4),所述夹紧杆(4)底端设有夹紧盘(5),所述夹紧杆(4)顶端依次穿过所述弯形孔(13)和直形孔(10);
固定环(6),所述固定环固定套接于所述夹紧杆(4)上,所述固定环位于所述弯形圆盘(3)和夹紧盘(5)之间;
固定螺母(7),所述固定螺母(7)套接于所述夹紧杆(4)上,所述固定螺母(7)与所述夹紧杆(4)之间通过螺纹连接,所述固定螺母(7)位于所述直形圆盘(2)的上方。
2.根据权利要求1所述的一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,
固定球(12),所述固定球(12)设于所述固定柱(11)顶端;
所述夹紧杆(4)上还设有水平装置,所述水平装置包括:
水平圆盘(1),所述水平圆盘(1)平行设于所述直形圆盘(2)的上方,所述固定柱(11)穿过所述水平圆盘(1);
调节螺杆(8),所述调节螺杆(8)一端与调节螺母(9)通过螺纹连接,所述调节螺杆(8)的另一端穿过所述水平圆盘(1)。
3.根据权利要求1所述的一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,
所述直形圆盘(2)顶端还设有辅助固定装置,所述辅助固定装置包括:
壳体(14),所述壳体(14)设于所述直形圆盘(2)顶端;
传动腔(16),所述传动腔(16)设于所述壳体(14)内;
刻度腔(15),所述刻度腔(15)设于所述壳体(14)内,所述刻度腔(15)位于所述传动腔(16)的上方;
固定腔(17),所述固定腔(17)设于所述壳体(14)内,所述固定腔(17)位于所述传动腔(16)的一侧;
第一转动轮(21),所述第一转动轮(21)套接于所述固定柱(11)上,所述第一转动轮(21)位于所述刻度腔(15)内;
第一转动杆(23),所述第一转动杆(23)的两端分别于所述刻度腔(15)的内壁顶端和内壁底端转动连接;
第二转动轮(24),所述第二转动轮(24)套接于所述第一转动杆(26)上,所述第一转动轮(21)与所述第二转动轮(24)之间通过刻度带(22)传动连接;
第一锥齿轮(18),所述第一锥齿轮(18)套接于所述固定柱(11)上,所述第一锥齿轮(18)位于所述传动腔(16)内;
第二转动杆(20),所述第二转动杆(20)的一端伸入所述传动腔(16)内与第二锥齿轮(19)连接,所述第二锥齿轮(19)与所述第一锥齿轮(18)啮合连接,所述第二转动杆(20)的另一端伸入所述固定腔(17)内与固定轮(25)连接;
固定板(29),所述固定板(29)滑动连接于所述固定腔(17)的内侧壁上,所述固定板(29)上设有凹槽(37),两个所述固定板(29)的凹槽(37)相对对称设置,相邻两个所述固定板(29)之间通过若干第一弹簧(31)连接;
固定框(26),所述固定框(26)设于所述固定板(29)的一端,相邻两个所述固定框(26)对称设置;
固定垫(28),所述固定垫(28)设于所述固定框(26)的内侧壁上,所述固定轮(25)位于所述固定垫(28)内;
第三转动杆(27),所述第三转动杆(27)的一端伸入所述凹槽(37)内与椭圆形轮(30)连接,所述第三转动杆(27)的另一端与所述固定腔(17)的内侧壁转动连接;
技术研发人员:赵亮,陈立民,王存,崔凯,崔磊,
申请(专利权)人:曲靖阳光能源硅材料有限公司,
类型:发明
国别省市:云南;53
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