一种防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室及其制作工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室及其制作工艺，属于MEMS工艺技术领域；所述防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室包括基底、墙壁、发热电阻层和喷孔板，所述基底上设置进墨通道，所述墙壁内部设置压力腔，所述压力腔底部设置发热电阻层，所述喷孔板上设置喷孔，所述压力腔分别与进墨通道和喷孔连通，所述喷孔板包括亲水性内壁和疏水性外壁，所述亲水性内壁厚度为15μm‑30μm，所述墙壁厚度为15μm‑30μm，所述疏水性外壁厚度为亲水性内壁厚度的1/2‑1/6；本发明专利技术将喷孔设计成两层，其内壁具备亲水性，与墨水产生良好的浸润性，外壁为具备疏水性的耐磨材质，与墨水产生非浸润性，避免喷孔周围残留墨水累积，从而提升打印的可靠性和打印质量。

【技术实现步骤摘要】
一种防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室及其制作工艺
本专利技术公开了一种防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室制作工艺，以及利用该工艺制造的一种防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室，属于MEMS工艺

技术介绍
打印机广泛应用于各类场合，尤其是办公场合，打印机中包括喷头。现有的喷头结构通过给电阻加热器施加电压脉冲，造成温度升高，在电阻加热器周围产生气泡，进而产生墨滴。传统喷孔通常为单一材质，例如为一层金属材料或亲水材质，也就是说其疏水性不够，打印一段时间后造成喷孔周围残留墨水累积，墨水连续喷墨时，墨水的湿气会凝聚在喷孔表面，从而造成墨滴发射角度偏移，影响打印质量甚至中断喷墨。如果喷孔为疏水材质，也就是说亲水性不够，会造成压力腔内残留空气无法有效排出，影响喷孔正常工作。传统喷墨头在使用过程中压力腔中的墨水处于负压状态，以保证在不打印的状态下墨水不会外溢，由于在实际打印过程中，压力腔内的负压具有不稳定性，当压力腔内负压的绝对值超过墨水与腔体内壁毛细现象所产生的吸引力，压力腔内的墨水会被吸回进墨通道，造成喷孔无法产生墨滴。墨滴发射频率决定于每次墨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室，包括基底(1)、墙壁(2)、发热电阻层(3)和喷孔板，所述基底(1)上设置进墨通道(4)，所述墙壁(2)内部设置压力腔(5)，所述压力腔(5)底部设置发热电阻层(3)，所述喷孔板上设置喷孔，所述压力腔(5)分别与进墨通道(4)和喷孔连通，所述喷孔板包括亲水性内壁(6)和疏水性外壁(7)，其特征在于：所述亲水性内壁(6)厚度为15μm-30μm，所述墙壁(2)厚度为15μm-30μm，所述疏水性外壁(7)厚度为亲水性内壁(6)厚度的1/2-1/6。/n

【技术特征摘要】
1.一种防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室，包括基底(1)、墙壁(2)、发热电阻层(3)和喷孔板，所述基底(1)上设置进墨通道(4)，所述墙壁(2)内部设置压力腔(5)，所述压力腔(5)底部设置发热电阻层(3)，所述喷孔板上设置喷孔，所述压力腔(5)分别与进墨通道(4)和喷孔连通，所述喷孔板包括亲水性内壁(6)和疏水性外壁(7)，其特征在于：所述亲水性内壁(6)厚度为15μm-30μm，所述墙壁(2)厚度为15μm-30μm，所述疏水性外壁(7)厚度为亲水性内壁(6)厚度的1/2-1/6。


2.根据权利要求1所述的防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室，其特征在于：所述亲水性内壁(6)厚度为15μm、20μm、25μm或30μm，所述墙壁(2)厚度为15μm、20μm、25μm或30μm。


3.根据权利要求1所述的防止墨水溢出的多层聚合物喷墨腔室，其特征在于：所述疏水性外壁(7)厚度为亲水性...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆安江，张孝宇，
申请(专利权)人：苏州印科杰特半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32